ሰሚሴራ10x10 ሚሜ ፖላር ያልሆነ ኤም-አውሮፕላን የአልሙኒየም ንጣፍየላቁ የኦፕቲካል አፕሊኬሽኖች ትክክለኛ መስፈርቶችን ለማሟላት በጥንቃቄ የተነደፈ ነው። ይህ ንዑሳን ክፍል እንደ ኤልኢዲ እና ሌዘር ዳዮዶች ባሉ መሳሪያዎች ላይ የፖላራይዜሽን ተፅእኖን ለመቀነስ ወሳኝ የሆነ የፖላር ያልሆነ ኤም-አውሮፕላን አቅጣጫን ያሳያል፣ ይህም ወደ የላቀ አፈጻጸም እና ቅልጥፍና ይመራል።
የ10x10 ሚሜ ፖላር ያልሆነ ኤም-አውሮፕላን የአልሙኒየም ንጣፍአነስተኛ ጉድለት እፍጋቶችን እና የላቀ መዋቅራዊ ታማኝነትን በማረጋገጥ በልዩ ክሪስታላይን ጥራት የተሰራ ነው። ይህ ለቀጣይ ትውልድ ኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች እድገት አስፈላጊ የሆኑትን ከፍተኛ ጥራት ላለው III-nitride ፊልሞች ኤፒታክሲያል እድገት ተስማሚ ምርጫ ያደርገዋል.
የሴሚሴራ ትክክለኛነት ምህንድስና እያንዳንዱን ያረጋግጣል10x10 ሚሜ ፖላር ያልሆነ ኤም-አውሮፕላን የአልሙኒየም ንጣፍወጥ የሆነ ውፍረት እና የገጽታ ጠፍጣፋነት ያቀርባል፣ እነዚህም ወጥ የሆነ የፊልም ማስቀመጫ እና የመሳሪያ ማምረቻ ወሳኝ ናቸው። በተጨማሪም የከርሰ ምድር መጠኑ ለምርምር እና ለምርት አካባቢዎች ተስማሚ ያደርገዋል፣ ይህም በተለያዩ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ተለዋዋጭ አጠቃቀምን ይፈቅዳል። እጅግ በጣም ጥሩ በሆነ የሙቀት እና ኬሚካላዊ መረጋጋት, ይህ ንጣፎች እጅግ በጣም ጥሩ የኦፕቲካል ቴክኖሎጂዎችን ለማልማት አስተማማኝ መሠረት ይሰጣል.
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| መካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
