ሰሚሴራየሚለውን በማቅረብ ኩራት ይሰማዋል።30 ሚሜ የአሉሚኒየም ናይትሬድ ዋፈር ንጣፍየዘመናዊ የኤሌክትሮኒክስ እና የኦፕቲካል ኤሌክትሮኒክስ አፕሊኬሽኖችን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት ከፍተኛ ደረጃ ያለው ቁሳቁስ መሐንዲስ። የአሉሚኒየም ናይትራይድ (አልኤን) ንኡስ ንጣፎች በላቁ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና በኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት የታወቁ ናቸው, ይህም ከፍተኛ አፈፃፀም ላላቸው መሳሪያዎች ተስማሚ ምርጫ ያደርጋቸዋል.
ቁልፍ ባህሪዎች
• ልዩ የሙቀት ምግባር: የ30 ሚሜ የአሉሚኒየም ናይትሬድ ዋፈር ንጣፍእስከ 170 W/mK የሚደርስ የሙቀት አማቂ አቅምን ያጎናጽፋል፣ ከሌሎቹ የከርሰ ምድር ቁሶች በከፍተኛ ደረጃ ከፍ ያለ፣ ይህም በከፍተኛ ሃይል አፕሊኬሽኖች ውስጥ ቀልጣፋ የሆነ የሙቀት መበታተንን ያረጋግጣል።
•ከፍተኛ የኤሌክትሪክ መከላከያእጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት ያለው ይህ ንጥረ ነገር የንግግር እና የሲግናል ጣልቃገብነትን ይቀንሳል, ይህም ለ RF እና ለማይክሮዌቭ መተግበሪያዎች ተስማሚ ያደርገዋል.
•መካኒካል ጥንካሬ: የ30 ሚሜ የአሉሚኒየም ናይትሬድ ዋፈር ንጣፍበጠንካራ የአሠራር ሁኔታዎች ውስጥ እንኳን ዘላቂነት እና አስተማማኝነትን የሚያረጋግጥ የላቀ የሜካኒካዊ ጥንካሬ እና መረጋጋት ይሰጣል።
•ሁለገብ መተግበሪያዎች: ይህ substrate ከፍተኛ ኃይል ላላቸው ኤልኢዲዎች፣ ሌዘር ዳዮዶች እና RF ክፍሎች ለመጠቀም ፍጹም ነው፣ ይህም በጣም ለሚፈልጉ ፕሮጀክቶችዎ ጠንካራ እና አስተማማኝ መሠረት ይሰጣል።
•ትክክለኛነት ማምረትሴሚሴራ የላቁ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን ትክክለኛ መመዘኛዎች ለማሟላት አንድ ወጥ የሆነ ውፍረት እና የገጽታ ጥራት የሚያቀርብ እያንዳንዱ የዋፈር ንጣፍ በከፍተኛ ትክክለኛነት መሰራቱን ያረጋግጣል።
በሴሚሴራዎች የመሳሪያዎችዎን ቅልጥፍና እና አስተማማኝነት ያሳድጉ30 ሚሜ የአሉሚኒየም ናይትሬድ ዋፈር ንጣፍ. የእኛ ኤሌክትሮኒክስ እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክ ሲስተሞችዎ በተቻላቸው መጠን እንዲሰሩ በማረጋገጥ የላቀ አፈጻጸም ለማቅረብ የተነደፉ ናቸው። ኢንዱስትሪውን በጥራት እና በፈጠራ ለሚመሩ ቆራጥ ቁሶች ሴሚሴራ ይመኑ።
እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
ክሪስታል መለኪያዎች | |||
ፖሊታይፕ | 4H | ||
የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
ሜካኒካል መለኪያዎች | |||
ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
ውፍረት | 350± 25 μm | ||
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
መዋቅር | |||
የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
የፊት ጥራት | |||
ፊት ለፊት | Si | ||
የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
የኋላ ጥራት | |||
የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
ጠርዝ | |||
ጠርዝ | ቻምፈር | ||
ማሸግ | |||
ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
*ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። |