የሴሚሴራ 4 ኢንች ከፍተኛ ንፅህና ከፊል-ኢንሱሌቲንግ (HPSI) ሲሲ ባለ ሁለት ጎን የተወለወለ የዋፈር ንኡስ መሥሪያ ቤቶች የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ትክክለኛ ፍላጎቶችን ለማሟላት የተነደፉ ናቸው። እነዚህ ንጣፎች ለየት ባለ ጠፍጣፋነት እና ንፅህና የተነደፉ ናቸው ፣ ይህም ለኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ጥሩ መድረክን ይሰጣሉ ።
እነዚህ የ HPSI SiC ዋፍሮች በላቀ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያት ተለይተው ይታወቃሉ, ይህም ለከፍተኛ ድግግሞሽ እና ከፍተኛ ኃይል አፕሊኬሽኖች በጣም ጥሩ ምርጫ ያደርጋቸዋል. ባለ ሁለት ጎን የማጥራት ሂደት የመሣሪያውን አፈጻጸም እና ረጅም ጊዜ ለማዳበር ወሳኝ የሆነውን ዝቅተኛውን የገጽታ ውፍረት ያረጋግጣል።
የሴሚሴራ ሲሲ ዋይፈሮች ከፍተኛ ንፅህና ጉድለቶችን እና ቆሻሻዎችን ይቀንሳል፣ ይህም ወደ ከፍተኛ የምርት መጠን እና የመሣሪያ አስተማማኝነት ያስከትላል። እነዚህ ንጣፎች ለብዙ አፕሊኬሽኖች ማለትም ለማይክሮዌቭ መሳሪያዎች፣ ሃይል ኤሌክትሮኒክስ እና ኤልኢዲ ቴክኖሎጂዎችን ጨምሮ ለትክክለኛነቱ እና ለረጅም ጊዜ የሚቆይበት ጊዜ አስፈላጊ ናቸው።
በፈጠራ እና በጥራት ላይ በማተኮር ሴሚሴራ የዘመናዊ ኤሌክትሮኒክስ ጥብቅ መስፈርቶችን የሚያሟሉ ዋፍሮችን ለማምረት የላቀ የማምረቻ ቴክኒኮችን ይጠቀማል። ባለ ሁለት ጎን ማቅለጫው የሜካኒካል ጥንካሬን ብቻ ሳይሆን ከሌሎች ሴሚኮንዳክተሮች ቁሳቁሶች ጋር በተሻለ ሁኔታ እንዲዋሃድ ያደርጋል.
የሴሚሴራ 4 ኢንች ከፍተኛ ንፅህና ከፊል-ኢንሱሌቲንግ HPSI ሲሲሲ ባለ ሁለት ጎን የተወለወለ የዋፈር ንኡስ ንጣፎችን በመምረጥ አምራቾች የተሻሻለ የሙቀት አስተዳደር እና የኤሌክትሪክ ማገጃ ጥቅማ ጥቅሞችን በመጠቀም የበለጠ ቀልጣፋ እና ኃይለኛ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን ለመፍጠር መንገዱን ይከፍታል። ሴሚሴራ ለጥራት እና ለቴክኖሎጂ እድገት ባለው ቁርጠኝነት ኢንዱስትሪውን መምራቱን ቀጥሏል።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| መካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
