የሴሚሴራ 4 ኢንች ኤን-አይነት ሲሲ ንኡስ መሥሪያ ቤቶች የሴሚኮንዳክተር ኢንደስትሪውን ትክክለኛ መመዘኛዎች ለማሟላት የተሠሩ ናቸው። እነዚህ ንጣፎች ለተለያዩ የኤሌክትሮኒክስ አፕሊኬሽኖች ከፍተኛ አፈጻጸም መሰረትን ይሰጣሉ፣ ይህም ልዩ የመተላለፊያ ይዘት እና የሙቀት ባህሪያትን ይሰጣሉ።
የእነዚህ የሲሲ ንኡስ ንጥረ ነገሮች የኤን-አይነት ዶፒንግ የኤሌትሪክ ብቃታቸውን ያሳድጋል፣ ይህም በተለይ ለከፍተኛ ሃይል እና ለከፍተኛ ድግግሞሽ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ያደርጋቸዋል። ይህ ንብረት እንደ ዳዮዶች፣ ትራንዚስተሮች እና ማጉያዎች ያሉ መሳሪያዎችን ውጤታማ በሆነ መንገድ እንዲሰራ ያስችላል፣ ይህም የኃይል ብክነትን መቀነስ ወሳኝ ነው።
ሴሚሴራ እያንዳንዱ ንጣፍ እጅግ በጣም ጥሩ ጥራት ያለው እና ተመሳሳይነት ያለው መሆኑን ለማረጋገጥ ዘመናዊ የማምረት ሂደቶችን ይጠቀማል። ይህ ትክክለኛነት በሃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ በማይክሮዌቭ መሳሪያዎች እና በከባድ ሁኔታዎች ውስጥ አስተማማኝ አፈጻጸም ለሚፈልጉ ሌሎች ቴክኖሎጂዎች አስፈላጊ ነው።
የሴሚሴራ ኤን-አይነት ሲሲ ንኡስ ንጣፎችን ወደ ምርት መስመርዎ ማካተት ማለት የላቀ የሙቀት መበታተን እና የኤሌክትሪክ መረጋጋትን ከሚሰጡ ቁሳቁሶች ተጠቃሚ መሆን ማለት ነው። እነዚህ ንጣፎች እንደ የኃይል መለወጫ ስርዓቶች እና የ RF amplifiers ያሉ ዘላቂነት እና ቅልጥፍናን የሚጠይቁ ክፍሎችን ለመፍጠር ተስማሚ ናቸው.
የሴሚሴራ 4 ኢንች ኤን-አይነት ሲሲ ንኡስ ንኡስ ክፍል በመምረጥ፣ ፈጠራ ቁሳዊ ሳይንስን በትኩረት ጥበባት በሚያጣምር ምርት ላይ ኢንቨስት እያደረጉ ነው። ሴሚሴራ ከፍተኛ አፈፃፀም እና አስተማማኝነትን በማረጋገጥ የተቆራረጡ ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂዎችን ልማት የሚደግፉ መፍትሄዎችን በማቅረብ ኢንዱስትሪውን መምራቱን ቀጥሏል።
እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
ክሪስታል መለኪያዎች | |||
ፖሊታይፕ | 4H | ||
የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
ሜካኒካል መለኪያዎች | |||
ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
ውፍረት | 350± 25 μm | ||
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
መዋቅር | |||
የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
የፊት ጥራት | |||
ፊት ለፊት | Si | ||
የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
የኋላ ጥራት | |||
የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
ጠርዝ | |||
ጠርዝ | ቻምፈር | ||
ማሸግ | |||
ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
*ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። |