የሲሊኮን ካርቦዳይድ (ሲሲ) ነጠላ ክሪስታል ቁሳቁስ ትልቅ የባንድ ክፍተት ስፋት (~ Si 3 ጊዜ) ፣ ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ (~ Si 3.3 ጊዜ ወይም GaAs 10 ጊዜ) ፣ ከፍተኛ የኤሌክትሮን ሙሌት ፍልሰት መጠን (~ Si 2.5 ጊዜ) ፣ ከፍተኛ ብልሽት ኤሌክትሪክ አለው። መስክ (~ Si 10 ጊዜ ወይም GaAs 5 ጊዜ) እና ሌሎች አስደናቂ ባህሪያት.
ሴሚሴራ ኢነርጂ ለደንበኞች ከፍተኛ ጥራት ያለው ኮንዳክቲቭ (ኮንዳክቲቭ) ፣ ከፊል-መከላከያ (ከፊል-መከላከያ) ፣ HPSI (ከፍተኛ ንፅህና ከፊል-መከላከያ) የሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ; በተጨማሪም ፣ ለደንበኞች ተመሳሳይ እና የተለያዩ የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል አንሶላዎችን መስጠት እንችላለን ። እንዲሁም የኤፒታክሲያል ሉህ በደንበኞች ልዩ ፍላጎት መሰረት ማበጀት እንችላለን፣ እና አነስተኛ የትዕዛዝ ብዛት የለም።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| ሜካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 99.5 - 100 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 32.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ አቀማመጥ | 90° CW ከዋናው ጠፍጣፋ ± 5°። የሲሊኮን ፊት ለፊት | ||
| ሁለተኛ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 18 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LTV | ≤2 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | NA |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤20 μm | ≤45 μm | ≤50 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | ≤1 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤5 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤10 ኢአ/ሴሜ 2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤2ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | NA | |
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | የውስጠኛው ቦርሳ በናይትሮጅን ተሞልቷል እና የውጪው ቦርሳ በቫኪዩም ተጥሏል. ባለብዙ-ዋፈር ካሴት፣ ኤፒ-ዝግጁ። | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
