የሴሚሴራ 6 ኢንች ከፊል ኢንሱላር HPSI SiC Wafers የተነደፉት የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት ነው። ልዩ በሆነ ንጽህና እና ወጥነት, እነዚህ ዋፍሮች ከፍተኛ ቅልጥፍና ያላቸው የኤሌክትሮኒክስ ክፍሎችን ለማዘጋጀት እንደ አስተማማኝ መሠረት ሆነው ያገለግላሉ.
እነዚህ የ HPSI SiC ዋፍሮች የኃይል መሳሪያዎችን እና የከፍተኛ ድግግሞሽ ወረዳዎችን አፈፃፀም ለማመቻቸት ወሳኝ በሆኑት የላቀ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና የኤሌክትሪክ መከላከያ ይታወቃሉ። ከፊል-መከላከያ ባህሪያት የኤሌክትሪክ ጣልቃገብነትን ለመቀነስ እና የመሳሪያውን ውጤታማነት ከፍ ለማድረግ ይረዳሉ.
በሴሚሴራ የተቀጠረው ከፍተኛ ጥራት ያለው የማምረት ሂደት እያንዳንዱ ዋፈር አንድ ወጥ የሆነ ውፍረት እና አነስተኛ የገጽታ ጉድለቶች እንዳሉት ያረጋግጣል። ይህ ትክክለኛነት እንደ የሬድዮ ፍሪኩዌንሲ መሳሪያዎች፣ የሃይል ኢንቬንተሮች እና የ LED ስርዓቶች ላሉ የላቁ አፕሊኬሽኖች አፈጻጸም እና ዘላቂነት ቁልፍ ነገሮች አስፈላጊ ነው።
ዘመናዊ የማምረቻ ቴክኒኮችን በመጠቀም ሴሚሴራ የኢንደስትሪ ደረጃዎችን የሚያሟሉ ብቻ ሳይሆን የሚበልጡ ዋፍሮችን ያቀርባል። ባለ 6-ኢንች መጠን በሴሚኮንዳክተር ሴክተር ውስጥ ሁለቱንም የምርምር እና የንግድ አፕሊኬሽኖች በማስተናገድ ምርትን ከፍ ለማድረግ ተለዋዋጭነትን ይሰጣል።
የሴሚሴራ 6 ኢንች ከፊል-ኢንሱላር HPSI SiC Wafers መምረጥ ማለት ወጥነት ያለው ጥራት እና አፈጻጸም በሚያቀርብ ምርት ላይ ኢንቨስት ማድረግ ማለት ነው። እነዚህ ዋፈርዎች የሴሚሴራ ቁርጠኝነት አካል ናቸው ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂን በፈጠራ ቁሶች እና በትኩረት የዕደ ጥበብ ችሎታን ለማሳደግ።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| ሜካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
