የአቶሚክ ንብርብር ክምችት (ALD) ሁለት ወይም ከዚያ በላይ ቀዳሚ ሞለኪውሎችን በአማራጭ በመርፌ ቀጭን ፊልሞችን በንብርብር የሚያሳድግ የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ቴክኖሎጂ ነው። ኤኤልዲ የከፍተኛ ቁጥጥር እና ተመሳሳይነት ጥቅሞች አሉት, እና በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች, ኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች, የኃይል ማከማቻ መሳሪያዎች እና ሌሎች መስኮች በስፋት ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል. የ ALD መሰረታዊ መርሆች የቅድሚያ ማስታወቂያ፣ የገጽታ ምላሽ እና ከምርት መወገድን ያካትታሉ፣ እና ባለብዙ ንብርብር ቁሶች እነዚህን እርምጃዎች በአንድ ዑደት ውስጥ በመድገም ሊፈጠሩ ይችላሉ። ኤኤልዲ የከፍተኛ ቁጥጥር፣ ወጥነት ያለው እና ቀዳዳ የሌለው መዋቅር ባህሪያት እና ጥቅሞች አሉት፣ እና ለተለያዩ የከርሰ ምድር ቁሶች እና የተለያዩ ቁሶች ለማስቀመጥ ሊያገለግል ይችላል።
ALD የሚከተሉት ባህሪያት እና ጥቅሞች አሉት:
1. ከፍተኛ ቁጥጥር;ኤኤልዲ የንብርብር-በ-ንብርብር የእድገት ሂደት ስለሆነ የእያንዳንዱ ንብርብር ውፍረት እና ስብጥር በትክክል መቆጣጠር ይቻላል።
2. ወጥነት፡ኤኤልዲ በሌሎች የማስቀመጫ ቴክኖሎጂዎች ላይ ሊከሰቱ የሚችሉትን አለመመጣጠን በማስወገድ በጠቅላላው የከርሰ ምድር ወለል ላይ ቁሳቁሶችን አንድ ወጥ በሆነ መልኩ ማስቀመጥ ይችላል።
3. ቀዳዳ የሌለው መዋቅር፡-ALD በነጠላ አቶሞች ወይም በነጠላ ሞለኪውሎች አሃዶች ውስጥ ስለሚቀመጥ፣ የሚወጣው ፊልም አብዛኛውን ጊዜ ጥቅጥቅ ያለ፣ ቀዳዳ የሌለው መዋቅር አለው።
4. ጥሩ የሽፋን አፈጻጸም;ኤኤልዲ እንደ ናኖፖሬድ ድርድሮች፣ ከፍተኛ የፖሮሲት ቁሶች፣ ወዘተ ያሉ የከፍተኛ ምጥጥነ ገጽታ አወቃቀሮችን በብቃት ሊሸፍን ይችላል።
5. የመጠን አቅም፡-ኤኤልዲ ብረቶችን ፣ ሴሚኮንዳክተሮችን ፣ መስታወትን ፣ ወዘተ ጨምሮ ለተለያዩ የከርሰ ምድር ቁሳቁሶች ሊያገለግል ይችላል።
6. ሁለገብነት፡-የተለያዩ የቅድሚያ ሞለኪውሎችን በመምረጥ በ ALD ሂደት ውስጥ እንደ ብረት ኦክሳይዶች, ሰልፋይዶች, ናይትሬድ ወዘተ የመሳሰሉ የተለያዩ ቁሳቁሶች ሊቀመጡ ይችላሉ.
