ሰማያዊ/አረንጓዴ ኤልኢዲ ኤፒታክሲ ከሴሚሴራ ከፍተኛ አፈጻጸም ላለው የ LED ማምረቻ ጥሩ መፍትሄዎችን ይሰጣል። የላቀ የኤፒታክሲያል እድገት ሂደቶችን ለመደገፍ የተነደፈው የሴሚሴራ ሰማያዊ/አረንጓዴ ኤልኢዲ ኤፒታክሲ ቴክኖሎጂ ለተለያዩ ኦፕቶኤሌክትሮኒክ አፕሊኬሽኖች ወሳኝ የሆነውን ሰማያዊ እና አረንጓዴ ኤልኢዲዎችን ለማምረት ቅልጥፍናን እና ትክክለኛነትን ያሳድጋል። ዘመናዊውን ሲ ኤፒታክሲ እና ሲሲ ኤፒታክሲን በመጠቀም ይህ መፍትሄ እጅግ በጣም ጥሩ ጥራት እና ዘላቂነት ያረጋግጣል።
በማምረት ሂደት ውስጥ፣ MOCVD Susceptor ወሳኝ ሚና ይጫወታል፣ እንደ PSS Etching Carrier፣ ICP Etching Carrier፣ እና RTP Carrier ካሉ አካላት ጋር፣ ይህም የኤፒታክሲያል የእድገት አካባቢን የሚያመቻቹ። የሴሚሴራ ሰማያዊ/አረንጓዴ ኤልኢዲ ኤፒታክሲ ለ LED Epitaxial Susceptor፣ Barrel Susceptor እና Monocrystalline Silicon የተረጋጋ ድጋፍ ለመስጠት የተነደፈ ሲሆን ይህም ወጥነት ያለው ከፍተኛ ጥራት ያለው ውጤት ማምጣትን ያረጋግጣል።
ይህ ኤፒታክሲ ሂደት የፎቶቮልታይክ ክፍሎችን ለመፍጠር በጣም አስፈላጊ ነው እና እንደ ጋኤን በሲሲ ኤፒታክሲ ያሉ መተግበሪያዎችን ይደግፋል፣ አጠቃላይ ሴሚኮንዳክተር ቅልጥፍናን ያሻሽላል። በ Pancake Susceptor ውቅር ውስጥም ሆነ በሌሎች የላቁ ማዋቀሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለ ሴሚሴራ ሰማያዊ/አረንጓዴ ኤልኢዲ ኤፒታክሲ መፍትሄዎች አስተማማኝ አፈጻጸም ይሰጣሉ፣ ይህም አምራቾች ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የ LED ክፍሎች ፍላጎት እንዲያሟሉ ይረዳቸዋል።
ዋና ዋና ባህሪያት:
1. ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ መቋቋም;
የሙቀት መጠኑ እስከ 1600 C ሲደርስ የኦክሳይድ መከላከያው አሁንም በጣም ጥሩ ነው.
2. ከፍተኛ ንፅህና፡- በከፍተኛ የሙቀት ክሎሪን ሁኔታ በኬሚካል ትነት ክምችት የተሰራ።
3. የአፈር መሸርሸር መቋቋም: ከፍተኛ ጥንካሬ, የታመቀ ገጽ, ጥቃቅን ቅንጣቶች.
4. የዝገት መቋቋም: አሲድ, አልካሊ, ጨው እና ኦርጋኒክ reagents.
ዋና ዋና ዝርዝሮችCVD-SIC ሽፋን
| የሲሲ-ሲቪዲ ባህሪያት | ||
| ክሪስታል መዋቅር | FCC β ደረጃ | |
| ጥግግት | ግ/ሴሜ ³ | 3.21 |
| ጥንካሬ | Vickers ጠንካራነት | 2500 |
| የእህል መጠን | μm | 2 ~ 10 |
| የኬሚካል ንፅህና | % | 99.99995 |
| የሙቀት አቅም | J·kg-1 · K-1 | 640 |
| Sublimation የሙቀት | ℃ | 2700 |
| Felexural ጥንካሬ | MPa (RT 4-ነጥብ) | 415 |
| የወጣት ሞዱሉስ | ጂፒኤ (4pt መታጠፍ፣ 1300 ℃) | 430 |
| የሙቀት መስፋፋት (ሲቲኢ) | 10-6ኬ-1 | 4.5 |
| የሙቀት መቆጣጠሪያ | (ወ/ኤምኬ) | 300 |
