የጅምላ CVD SiC ቀለበት

አጭር መግለጫ፡-

የጅምላ CVD ሲሲ ቀለበቶች የሲሊኮን ምንጭ ጋዝ (እንደ ሲሊኮን ሃይድሬድ ያሉ) እና የካርቦን ምንጭ ጋዝ (እንደ ሚቴን ያሉ) እንደ ጥሬ ዕቃዎች ይጠቀማሉ፣ ከፍተኛ መጠን ያለው የሲሲ ቁሳቁሶችን በንዑስ ፕላስተር ወይም በሻጋታ ላይ ለማስቀመጥ በከፍተኛ ሙቀት ምላሽ ይሰጣሉ። ይህ ሂደት SiC ወጥ በሆነ መልኩ በአንድ ትልቅ ቦታ ላይ እንዲቀመጥ ያስችለዋል፣ ይህም ጠንካራ እና ተከታታይ የቀለበት መዋቅር ይፈጥራል።

ኢሜይል ይላኩልን።

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

ለምን የሲሊኮን ካርቦይድ Etching ቀለበት ነው?

አርቲፒCVD SiC ቀለበቶችበከፍተኛ ሙቀት እና በቆሸሸ አካባቢዎች ውስጥ በኢንዱስትሪ እና በሳይንሳዊ መስኮች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ. በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ፣ ትክክለኛ ማሽነሪ እና የኬሚካል ኢንዱስትሪ ውስጥ ትልቅ ሚና ይጫወታል። የተወሰኑ መተግበሪያዎች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

1. ሴሚኮንዳክተር ማምረት;RTP CVD SiC ቀለበቶችሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ለማሞቅ እና ለማቀዝቀዝ, የተረጋጋ የሙቀት መቆጣጠሪያን በማቅረብ እና የሂደቱን ትክክለኛነት እና ወጥነት ማረጋገጥ ይቻላል.

2. ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ: እጅግ በጣም ጥሩ በሆነ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም, RTPCVD SiC ቀለበቶችለሌዘር, ለፋይበር ኦፕቲክ የመገናኛ መሳሪያዎች እና ለኦፕቲካል አካላት እንደ ድጋፍ እና ሙቀት ማስተላለፊያ ቁሳቁሶች መጠቀም ይቻላል.

3. የትክክለኛነት ማሽነሪዎች፡ RTP CVD SiC rings ለትክክለኛ መሳሪያዎች እና መሳሪያዎች በከፍተኛ ሙቀት እና ጎጂ አካባቢዎች ውስጥ እንደ ከፍተኛ የሙቀት ምድጃዎች, የቫኩም መሳሪያዎች እና የኬሚካል ማጠናከሪያዎች መጠቀም ይቻላል.

4. የኬሚካል ኢንዱስትሪ፡-በዝገት መቋቋም እና በኬሚካላዊ መረጋጋት ምክንያት፣ RTP CVD SiC ቀለበቶች በኬሚካላዊ ምላሾች እና በካታሊቲክ ሂደቶች ውስጥ በመያዣዎች፣ በቧንቧዎች እና በሪአክተሮች ውስጥ ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ።

Epi ስርዓት

RTP ስርዓት

የሲቪዲ ስርዓት

የምርት አፈጻጸም፡-

1. ከ 28nm በታች ያለውን ሂደት ማሟላት

2. የሱፐር ዝገት መቋቋም

3. እጅግ በጣም ንጹህ አፈፃፀም

4. ልዕለ ጥንካሬ

5. ከፍተኛ እፍጋት

6. ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም

7. መቋቋምን ይልበሱ

የምርት ማመልከቻ፡-

የሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁሶች ከፍተኛ ጥንካሬ, የመልበስ መከላከያ, የዝገት መቋቋም እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት ባህሪያት አላቸው. እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ አጠቃላይ አፈፃፀም ያላቸው ምርቶች በደረቅ ማሳከክ እና በ TF / Diffusion ሂደቶች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ።