የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን መግቢያ
የኛ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ) የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን በጣም ረጅም ጊዜ የሚቆይ እና የሚለበስ ንብርብር ነው, ከፍተኛ ዝገት እና የሙቀት መቋቋም ለሚፈልጉ አካባቢዎች ተስማሚ ነው.የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋንበሲቪዲ ሂደት ውስጥ በተለያዩ ንጣፎች ላይ በቀጭን ንብርብሮች ላይ ይተገበራል ፣ ይህም የላቀ የአፈፃፀም ባህሪዎችን ይሰጣል።
ቁልፍ ባህሪያት
● - ልዩ ንፅህናእጅግ በጣም ንፁህ ቅንብርን መኩራት99.99995%፣ የእኛየሲሲ ሽፋንጥንቃቄ በተሞላበት ሴሚኮንዳክተር ስራዎች ውስጥ የብክለት ስጋቶችን ይቀንሳል።
● - የላቀ መቋቋምለኬሚካላዊ እና ፕላዝማ ቅንጅቶች ፈታኝ እንዲሆን ለሁለቱም ለመልበስ እና ለመበስበስ ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ያሳያል።
● - ከፍተኛ የሙቀት መጠንበአስደናቂ የሙቀት ባህሪያት ምክንያት በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አስተማማኝ አፈፃፀምን ያረጋግጣል.
● - ልኬት መረጋጋትለዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ምስጋና ይግባውና በተለያዩ የሙቀት መጠኖች ውስጥ መዋቅራዊ ታማኝነትን ይጠብቃል።
● - የተሻሻለ ጠንካራነት: በጠንካራነት ደረጃ40 ጂፒኤ, የእኛ የሲሲ ሽፋን ከፍተኛ ተጽዕኖ እና መበላሸትን ይቋቋማል.
● - ለስላሳ ወለል አጨራረስቅንጣት ማመንጨትን በመቀነስ እና የአሰራር ቅልጥፍናን በማጎልበት እንደ መስታወት አይነት አጨራረስ ያቀርባል።
መተግበሪያዎች
ሰሚሴራ የሲሲ ሽፋኖችሴሚኮንዳክተር ማምረቻ በተለያዩ ደረጃዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል ፣ ከእነዚህም መካከል-
● -የ LED ቺፕ ማምረት
● -የፖሊሲሊኮን ምርት
● -ሴሚኮንዳክተር ክሪስታል እድገት
● -ሲሊኮን እና ሲሲ ኤፒታክሲ
● -የሙቀት ኦክሳይድ እና ስርጭት (TO&D)
ከከፍተኛ-ጥንካሬ አይስታቲክ ግራፋይት፣ ከካርቦን ፋይበር-የተጠናከረ ካርቦን እና 4N recrystalized silicon carbide፣ ለፈሳሽ-አልጋ ሬአክተሮች የተበጀ በሲሲ-የተሸፈኑ ክፍሎችን እናቀርባለን።STC-TCS መቀየሪያዎች፣ የCZ ዩኒት አንጸባራቂዎች፣ የሲሲ ዋፈር ጀልባ፣ የሲክዋፈር መቅዘፊያ፣ የሲሲ ዋፈር ቱቦ እና በPECVD፣ በሲሊኮን ኤፒታክሲ፣ በMOCVD ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ ዋፈር ተሸካሚዎች.
ጥቅሞች
● - የተራዘመ የህይወት ዘመንአጠቃላይ የምርት ቅልጥፍናን በማጎልበት የመሳሪያውን ጊዜ እና የጥገና ወጪዎችን በእጅጉ ይቀንሳል።
● - የተሻሻለ ጥራትለሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ አስፈላጊ የሆኑ ከፍተኛ-ንፅህና ወለሎችን ያሳካል፣ በዚህም የምርት ጥራትን ይጨምራል።
● - ውጤታማነት ይጨምራልየሙቀት እና የሲቪዲ ሂደቶችን ያሻሽላል ፣ በዚህም ምክንያት አጭር ዑደት ጊዜ እና ከፍተኛ ምርት።
ቴክኒካዊ ዝርዝሮች
● - መዋቅርFCC β ደረጃ polycrystal, በዋናነት (111) ተኮር
● - እፍጋት: 3.21 ግ/ሴሜ³
● - ግትርነት: 2500 Vicks ጠንካራነት (500 ግ ጭነት)
● - ስብራት ጥንካሬ: 3.0 MPa ·1/2
● -የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት (100-600 ° ሴ): 4.3 x 10-6k-1
● -ላስቲክ ሞዱሉስ(1300 ℃):435 ጂፒኤ
● -የተለመደው የፊልም ውፍረት:100 ሚ.ሜ
● - የገጽታ ሸካራነት:2-10 µm
የንጽህና መረጃ (በ Glow Discharge Mass Spectroscopy የሚለካ)
| ንጥረ ነገር | ፒፒኤም | ንጥረ ነገር | ፒፒኤም |
| Li | <0.001 | Cu | <0.01 |
| Be | <0.001 | Zn | <0.05 |
| አል | <0.04 | Ga | <0.01 |
| P | <0.01 | Ge | <0.05 |
| S | <0.04 | As | <0.005 |
| K | <0.05 | In | <0.01 |
| Ca | <0.05 | Sn | <0.01 |
| Ti | <0.005 | Sb | <0.01 |
| V | <0.001 | W | <0.05 |
| Cr | <0.05 | Te | <0.01 |
| Mn | <0.005 | Pb | <0.01 |
| Fe | <0.05 | Bi | <0.05 |
| Ni | <0.01 |
|
