ሰሚሴራበኩራት ያቀርባልGa2O3ኤፒታክሲ, የኃይል ኤሌክትሮኒክስ እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክስ ድንበሮችን ለመግፋት የተነደፈ ዘመናዊ መፍትሄ. ይህ የላቀ ኤፒታክሲያል ቴክኖሎጂ የጋሊየም ኦክሳይድ (ጋ2O3) በሚጠይቁ አፕሊኬሽኖች ውስጥ የላቀ አፈፃፀም ለማቅረብ.
ቁልፍ ባህሪዎች
• ልዩ የሆነ ሰፊ ባንድጋፕ: Ga2O3ኤፒታክሲከፍተኛ የመፈራረስ ቮልቴጅ እና ከፍተኛ ኃይል ባለው አካባቢ ውስጥ ቀልጣፋ ክዋኔ እንዲኖር የሚያስችል እጅግ በጣም ሰፊ ባንድጋፕ ያሳያል።
•ከፍተኛ የሙቀት አማቂነት: የኤፒታክሲያል ንብርብር እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) ያቀርባል, በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ እንኳን የተረጋጋ አሠራር መኖሩን ያረጋግጣል, ይህም ለከፍተኛ ድግግሞሽ መሳሪያዎች ተስማሚ ነው.
•የላቀ የቁሳቁስ ጥራት: ከፍተኛ ጥራት ያለው ክሪስታል ጥራትን በትንሹ ጉድለቶች ያሳኩ ፣ ጥሩውን የመሳሪያውን አፈፃፀም እና ረጅም ዕድሜን ማረጋገጥ ፣ በተለይም እንደ ሃይል ትራንዚስተሮች እና ዩቪ መመርመሪያዎች ባሉ ወሳኝ መተግበሪያዎች ውስጥ።
•በመተግበሪያዎች ውስጥ ሁለገብነትለቀጣይ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አስተማማኝ መሠረት በመስጠት ለኃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ ለ RF አፕሊኬሽኖች እና ለኦፕቶኤሌክትሮኒክስ ፍጹም ተስማሚ ነው።
ያለውን አቅም እወቅGa2O3ኤፒታክሲከሴሚሴራ ፈጠራ መፍትሄዎች ጋር። የእኛ የኤፒታክሲያል ምርቶች ከፍተኛውን የጥራት እና የአፈፃፀም ደረጃዎችን እንዲያሟሉ የተነደፉ ናቸው፣ይህም መሳሪያዎ በከፍተኛ ቅልጥፍና እና አስተማማኝነት እንዲሰሩ ያስችላቸዋል። ለመቁረጥ ጫፍ ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂ Semicera ን ይምረጡ።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| መካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
