ሴሚሴራ በማቅረቡ ኩራት ይሰማዋል።Ga2O3Substrate፣ ኤሌክትሮኒክስ እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክስን ለመለወጥ ዝግጁ የሆነ እጅግ በጣም ጥሩ ቁሳቁስ።ጋሊየም ኦክሳይድ (ጋ2O3) substratesለከፍተኛ ኃይል እና ለከፍተኛ ድግግሞሽ መሳሪያዎች ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
ቁልፍ ባህሪዎች
• እጅግ በጣም ሰፊ ባንድጋፕ፡ ጋ2O3 እንደ ሲሊከን እና ጋኤን ካሉ ባህላዊ ቁሶች ጋር ሲወዳደር ከፍተኛ ቮልቴጅን እና የሙቀት መጠንን የመቆጣጠር ችሎታውን በከፍተኛ ሁኔታ ያሳደገው በግምት 4.8 eV የሆነ የባንድጋፕ ያቀርባል።
• ከፍተኛ ብልሽት ቮልቴጅ፡- ልዩ በሆነ የብልሽት መስክ፣ የGa2O3Substrateከፍተኛ ቅልጥፍናን እና አስተማማኝነትን የሚያረጋግጥ ከፍተኛ-ቮልቴጅ አሠራር ለሚፈልጉ መሳሪያዎች ፍጹም ነው.
• የሙቀት መረጋጋት፡ የቁሱ የላቀ የሙቀት መረጋጋት እጅግ በጣም አስቸጋሪ በሆኑ ሁኔታዎች ውስጥ እንኳን አፈጻጸምን በማስቀጠል ለትግበራዎች ተስማሚ ያደርገዋል።
• ሁለገብ አፕሊኬሽኖች፡ ለከፍተኛ ቅልጥፍና ባላቸው ሃይል ትራንዚስተሮች፣ UV optoelectronic መሳሪያዎች እና ሌሎችም ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ፣ ለላቁ የኤሌክትሮኒክስ ስርዓቶች ጠንካራ መሰረት ይሰጣል።
የሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂን ከሴሚሴራ ጋር ይለማመዱGa2O3Substrate. እያደገ የመጣውን የከፍተኛ ሃይል እና ከፍተኛ-ድግግሞሽ ኤሌክትሮኒክስ ፍላጎቶችን ለማሟላት የተነደፈ ይህ ንኡስ አካል ለአፈፃፀም እና ዘላቂነት አዲስ መስፈርት ያዘጋጃል። በጣም ፈታኝ ለሆኑ መተግበሪያዎችዎ ፈጠራ መፍትሄዎችን ለማቅረብ Semiceraን ይመኑ።
እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
ክሪስታል መለኪያዎች | |||
ፖሊታይፕ | 4H | ||
የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
ሜካኒካል መለኪያዎች | |||
ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
ውፍረት | 350± 25 μm | ||
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
መዋቅር | |||
የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
የፊት ጥራት | |||
ፊት ለፊት | Si | ||
የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
የኋላ ጥራት | |||
የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
ጠርዝ | |||
ጠርዝ | ቻምፈር | ||
ማሸግ | |||
ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
*ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። |