ሰሚሴራ ከፍተኛ ንፅህናየሲሊኮን ካርቦይድ መቅዘፊያየዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር የማምረቻ ሂደቶችን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት በጥንቃቄ የተነደፈ ነው። ይህSiC Cantilever መቅዘፊያከፍተኛ ሙቀት ባለባቸው አካባቢዎች የላቀ ነው፣ ወደር የለሽ የሙቀት መረጋጋት እና የሜካኒካል ጥንካሬን ይሰጣል። የ SiC Cantilever መዋቅር በተለያዩ ሂደቶች ውስጥ አስተማማኝ የዋፈር አያያዝን በማረጋገጥ እጅግ አስቸጋሪ ሁኔታዎችን ለመቋቋም ተገንብቷል።
ከ ቁልፍ ፈጠራዎች አንዱSiC መቅዘፊያወደ ነባር ስርዓቶች በቀላሉ እንዲዋሃድ የሚያስችል ክብደቱ ቀላል ግን ጠንካራ ንድፍ ነው። ከፍተኛ የሙቀት አማቂነት (thermal conductivity) ወሳኝ በሆኑት እንደ መፈልፈፍ እና ማስቀመጥ ባሉበት ወቅት የዋፈር መረጋጋትን ለመጠበቅ ይረዳል፣የዋፈር ጉዳት ስጋትን ይቀንሳል እና ከፍተኛ የምርት ምርትን ያረጋግጣል። ከፍተኛ መጠን ያለው የሲሊኮን ካርቦዳይድ በመቅዘፊያው ግንባታ ላይ መጠቀሙ የመልበስ እና የመቀደድ የመቋቋም አቅምን ያሳድጋል፣ ይህም የተራዘመ የስራ ጊዜን ይሰጣል እና በተደጋጋሚ የመተካት ፍላጎትን ይቀንሳል።
ሰሚሴራ ለፈጠራ ከፍተኛ ትኩረት ይሰጣል፣ ሀSiC Cantilever መቅዘፊያየኢንዱስትሪ መስፈርቶችን የሚያሟላ ብቻ ሳይሆን የሚበልጠው። ይህ መቅዘፊያ ለተለያዩ ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች፣ ከማስቀመጥ እስከ ማሳከክ ድረስ፣ ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ወሳኝ በሆኑበት ላይ ጥቅም ላይ እንዲውል የተመቻቸ ነው። ይህንን ዘመናዊ ቴክኖሎጂ በማዋሃድ አምራቾች የተሻሻለ ቅልጥፍናን፣ የጥገና ወጪን መቀነስ እና ተከታታይ የምርት ጥራትን መጠበቅ ይችላሉ።
የ Recrystalized ሲሊኮን ካርቦይድ አካላዊ ባህሪያት | |
ንብረት | የተለመደ እሴት |
የሥራ ሙቀት (° ሴ) | 1600°ሴ (ከኦክሲጅን ጋር)፣ 1700°C (አካባቢን የሚቀንስ) |
የሲሲ ይዘት | > 99.96% |
ነፃ የሲ ይዘት | <0.1% |
የጅምላ እፍጋት | 2.60-2.70 ግ / ሴ.ሜ3 |
ግልጽ porosity | < 16% |
የመጨመቂያ ጥንካሬ | > 600 MPa |
ቀዝቃዛ መታጠፍ ጥንካሬ | 80-90 MPa (20°ሴ) |
ትኩስ መታጠፍ ጥንካሬ | 90-100 MPa (1400°ሴ) |
የሙቀት መስፋፋት @1500°C | 4.70 10-6/° ሴ |
Thermal conductivity @1200°C | 23 ወ/ሜ•ኬ |
የመለጠጥ ሞጁሎች | 240 ጂፒኤ |
የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም | እጅግ በጣም ጥሩ |