SiC Wafer ጀልባ
የሲሊኮን ካርቦይድ ዋፈር ጀልባበዋናነት በፀሐይ እና በሴሚኮንዳክተር ስርጭት ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው የዋፈር ተሸካሚ መሳሪያ ነው። እንደ የመልበስ መቋቋም, የዝገት መቋቋም, ከፍተኛ የሙቀት መጠን ተፅእኖን መቋቋም, የፕላዝማ ቦምቦችን መቋቋም, ከፍተኛ የሙቀት መጠንን የመቋቋም አቅም, ከፍተኛ የሙቀት መጠን መጨመር, ከፍተኛ ሙቀት መበታተን እና ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውሉ ማጠፍ እና መበላሸት ቀላል አይደለም. ኩባንያችን የአገልግሎት ህይወትን ለማረጋገጥ እና የተበጁ ንድፎችን ለማቅረብ ከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁስ ይጠቀማል. የተለያዩ አቀባዊ እና አግድምዋፈር ጀልባ.
SiC መቅዘፊያ
የየሲሊኮን ካርቦይድ ካንቴለር መቅዘፊያበከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የሲሊኮን ዋይፎችን በመጫን እና በማጓጓዝ ረገድ ወሳኝ ሚና በሚጫወተው የሲሊኮን ዋፍስ ሽፋን (ስርጭት) ውስጥ በዋነኝነት ጥቅም ላይ ይውላል። ዋና አካል ነው።ሴሚኮንዳክተር ዋፈርየመጫኛ ስርዓቶች እና የሚከተሉት ዋና ዋና ባህሪያት አሉት:
1. በከፍተኛ ሙቀት አካባቢዎች ውስጥ አይለወጥም እና በዋፋዎች ላይ ከፍተኛ የመጫን ኃይል አለው;
2. ለከፍተኛ ቅዝቃዜ እና ፈጣን ሙቀት መቋቋም የሚችል እና ረጅም የአገልግሎት ዘመን አለው;
3. የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ትንሽ ነው, የጥገና እና የጽዳት ዑደቱን በእጅጉ ያራዝመዋል, እና ብክለትን በእጅጉ ይቀንሳል.
የሲሲ እቶን ቱቦ
የሲሊኮን ካርቦይድ ሂደት ቱቦ, ከከፍተኛ ንፅህና ሲሲ (ሲሲ) ከብረት ብክሎች ውጭ, ዋፈርን አይበክልም, እና እንደ ሴሚኮንዳክተር እና የፎቶቮልታይክ ስርጭት, አነቃቂ እና ኦክሳይድ ሂደት ላሉ ሂደቶች ተስማሚ ነው.
ሲሲ ሮቦት ክንድ
ሲሲ ሮቦት ክንድ, በተጨማሪም wafer transfer end effector በመባል የሚታወቀው, ሴሚኮንዳክተር ዋፈርዎችን ለማጓጓዝ የሚያገለግል ሮቦት ክንድ ሲሆን በሴሚኮንዳክተር, ኦፕቶኤሌክትሮኒክ እና የፀሐይ ኃይል ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል. ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ በመጠቀም፣ ከፍተኛ ጥንካሬ ያለው፣ የመልበስ መቋቋም፣ የመሬት መንቀጥቀጥ መቋቋም፣ የረዥም ጊዜ መበላሸት ሳይኖር መጠቀም፣ ረጅም የአገልግሎት ዘመን ወዘተ፣ ብጁ አገልግሎቶችን መስጠት ይችላል።
ለክሪስታል እድገት ግራፋይት
ግራፋይት የሙቀት መከላከያ
ግራፋይት ኤሌክትሮል ቱቦ
ግራፋይት ማቀፊያ
ግራፋይት ቻክ
ሴሚኮንዳክተር ክራቭስታሎች ለማደግ ጥቅም ላይ የሚውሉ ሁሉም ሂደቶች ከፍተኛ ሙቀት ባለው እና በሚበላሹ አካባቢዎች ውስጥ ይሰራሉ። የክሪስታል እድገት እቶን ሞቃት ዞን ብዙውን ጊዜ ሙቀትን የሚቋቋም እና ዝገት በሚቋቋም ከፍተኛ ንፅህና የተስተካከለ ነው። እንደ ግራፋይት ማሞቂያዎች፣ ክሪብሌሎች፣ ሲሊንደሮች፣ ዲፍለተር፣ ቺኮች፣ ቱቦዎች፣ ቀለበቶች፣ መያዣዎች፣ ለውዝ፣ ወዘተ ያሉ የግራፋይት ክፍሎች የእኛ የተጠናቀቀው ምርት ከ 5 ፒፒኤም በታች የሆነ አመድ ይዘትን ማግኘት ይችላል።
ግራፋይት ለሴሚዶንዳክተር ኤፒታክሲ
ግራፋይት መሰረት
ግራፋይት ኤፒታክሲያል በርሜል
ሞኖክሪ ስታሊን ሲሊኮን ኤፒታክሲያል ቤዝ
MOCVD ግራፋይት ክፍሎች
ሴሚኮንዳክተር ግራፋይት ቋሚ
ኤፒታክሲያል ሂደት የሚያመለክተው የአንድ ክሪስታል ቁስ እድገትን በአንድ ክሪስታል ንጣፍ ላይ ካለው ተመሳሳይ ጥልፍልፍ አቀማመጥ ጋር ነው። ብዙ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ግራፋይት ክፍሎችን እና ግራፋይት መሰረትን ከ SIC ሽፋን ጋር ይፈልጋል። ለሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲ ጥቅም ላይ የሚውለው ከፍተኛ የንጽሕና ግራፋይት ሰፊ አፕሊኬሽኖች አሉት, ይህም በኢንዱስትሪው ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ከሚውሉ መሳሪያዎች ጋር ሊመሳሰል ይችላል, በተመሳሳይ ጊዜ, እጅግ በጣም ከፍተኛ ነው. ንፅህና ፣ ወጥ ሽፋን ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የአገልግሎት ሕይወት ፣ እና እጅግ በጣም ከፍተኛ የኬሚካል መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት።
የኢንሱሌሽን ቁሳቁስ እና ሌሎች
በሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ የሙቀት መከላከያ ቁሳቁሶች ግራፋይት ጠንካራ ስሜት ፣ ለስላሳ ስሜት ፣ ግራፋይት ፎይል ፣ የካርቦን ስብጥር ቁሳቁሶች ፣ ወዘተ ... የእኛ ጥሬ ዕቃዎች ከውጪ የሚመጡ ግራፋይት ቁሳቁሶች ናቸው ፣ እንደ ደንበኞች ዝርዝር ሊቆረጡ ይችላሉ ፣ እና እንደ ሊሸጡም ይችላሉ ሙሉ። የካርቦን ውህድ ቁሳቁስ አብዛኛውን ጊዜ ለፀሃይ ሞኖክሪስተል እና ፖሊሲሊኮን ሴል የማምረት ሂደት እንደ ተሸካሚ ሆኖ ያገለግላል።