ጠንካራ የሲቪዲ ሲሊኮን ካርቢይድ ክፍሎች ለ RTP/EPI ቀለበቶች እና ቤዝ እና ፕላዝማ aetch cavity ክፍሎች በከፍተኛ ስርዓት በሚፈለገው የሙቀት መጠን (> 1500 ℃) ለሚሰሩ እንደ ቀዳሚ ምርጫ ይታወቃሉ ፣ የንጽህና መስፈርቶች በተለይ ከፍተኛ ናቸው (> 99.9995%) እና በተለይም የኬሚካሎችን የመቋቋም አቅም ከፍተኛ በሚሆንበት ጊዜ አፈፃፀሙ ጥሩ ነው. እነዚህ ቁሳቁሶች በእህል ጠርዝ ላይ ሁለተኛ ደረጃዎችን አያካትቱም, ስለዚህ ክፍሎቻቸው ከሌሎቹ ቁሳቁሶች ያነሱ ቅንጣቶችን ያመነጫሉ. በተጨማሪም እነዚህ ክፍሎች ትኩስ HF/HCl በትንሽ መበስበስን በመጠቀም ማጽዳት ይቻላል, ይህም አነስተኛ ቅንጣቶችን እና ረጅም የአገልግሎት ዘመንን ያስከትላል.
