በ LED ኢንዱስትሪ ውስጥ ለ ICP ማሳከክ ሂደቶች የሲሲ ፒን ትሪዎች

አጭር መግለጫ፡-

በ LED ኢንዱስትሪ ውስጥ ለአይሲፒ ማሳከክ ሂደቶች የሴሚሴራ ሲሲ ፒን ትሪዎች በተለይ በማሳያ አፕሊኬሽኖች ላይ ቅልጥፍናን እና ትክክለኛነትን ለማሳደግ የተነደፉ ናቸው። ከፍተኛ ጥራት ካለው የሲሊኮን ካርቦይድ የተሰሩ እነዚህ የፒን ትሪዎች እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት, የኬሚካል መከላከያ እና የሜካኒካል ጥንካሬ ይሰጣሉ. ለኤልኢዲ የማምረቻ ሂደት አስፈላጊ ሁኔታዎች ተስማሚ የሆነ የሴሚሴራ ሲሲ ፒን ትሪዎች አንድ ወጥ የሆነ ማሳከክን ያረጋግጣሉ፣ ብክለትን ይቀንሳሉ እና አጠቃላይ የሂደቱን አስተማማኝነት ያሻሽላሉ፣ ይህም ከፍተኛ ጥራት ላለው የ LED ምርት አስተዋፅኦ ያደርጋል።


የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

የምርት መግለጫ

ድርጅታችን በግራፋይት ፣ ሴራሚክስ እና ሌሎች ቁሳቁሶች ላይ የሲሲ ሽፋን ሂደትን በሲቪዲ ዘዴ ያቀርባል ፣ ስለሆነም ካርቦን እና ሲሊኮን የያዙ ልዩ ጋዞች በከፍተኛ የሙቀት መጠን ምላሽ እንዲሰጡ ከፍተኛ ንፅህናን SiC ሞለኪውሎችን ፣ በተሸፈኑ ቁሳቁሶች ላይ የተከማቹ ሞለኪውሎች ፣ የ SIC መከላከያ ንብርብር መፍጠር.

ዋና ዋና ባህሪያት:

1. ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ መቋቋም;

የሙቀት መጠኑ እስከ 1600 C ሲደርስ የኦክሳይድ መከላከያው አሁንም በጣም ጥሩ ነው.

2. ከፍተኛ ንፅህና፡- በከፍተኛ የሙቀት ክሎሪን ሁኔታ በኬሚካል ትነት ክምችት የተሰራ።

3. የአፈር መሸርሸር መቋቋም: ከፍተኛ ጥንካሬ, የታመቀ ገጽ, ጥቃቅን ቅንጣቶች.

4. የዝገት መቋቋም: አሲድ, አልካሊ, ጨው እና ኦርጋኒክ reagents.

ሲሊኮን ካርቦይድ ኢተድ ዲስክ (2)

የ CVD-SIC ሽፋን ዋና ዝርዝሮች

SiC-CVD ንብረቶች

ክሪስታል መዋቅር

FCC β ደረጃ

ጥግግት

ግ/ሴሜ ³

3.21

ጥንካሬ

Vickers ጠንካራነት

2500

የእህል መጠን

μm

2 ~ 10

የኬሚካል ንፅህና

%

99.99995

የሙቀት አቅም

J·kg-1 · K-1

640

Sublimation የሙቀት

2700

Felexural ጥንካሬ

MPa (RT 4-ነጥብ)

415

የወጣት ሞዱሉስ

ጂፒኤ (4pt መታጠፍ፣ 1300 ℃)

430

የሙቀት መስፋፋት (ሲቲኢ)

10-6ኬ-1

4.5

የሙቀት መቆጣጠሪያ

(ወ/ኤምኬ)

300

Semicera የስራ ቦታ
ሴሚሴራ የስራ ቦታ 2
የመሳሪያ ማሽን
የ CNN ማቀነባበር, የኬሚካል ማጽዳት, የሲቪዲ ሽፋን
አገልግሎታችን

  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡-