SEMICERA isostatic PECVD ግራፋይት ጀልባ በPECVD (ፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት) ሂደት ውስጥ ለ wafer ድጋፍ ተብሎ የተነደፈ ከፍተኛ-ንፅህና፣ ከፍተኛ መጠን ያለው ግራፋይት ምርት ነው። ሴሚሴራ የግራፋይት ጀልባ እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም ፣የዝገት መቋቋም ፣የልኬት መረጋጋት እና ጥሩ የሙቀት አማቂነት ያለው መሆኑን ለማረጋገጥ የላቀ የአይሶስታቲክ ፕሬስ ቴክኖሎጂን ይጠቀማል ይህም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ የማይጠቅም ፍጆታ ነው።
SEMICERA isostatic PECVD ግራፋይት ጀልባ የሚከተሉትን ጥቅሞች አሉት።
▪ ከፍተኛ ንፅህና፡- የግራፋይት ቁሳቁስ ከፍተኛ ንፅህና ያለው እና ዝቅተኛ ርኩስ ይዘት ያለው የዋፈር ወለል እንዳይበከል ነው።
▪ ከፍተኛ ጥግግት፡- ከፍተኛ ጥግግት፣ ከፍተኛ የሜካኒካል ጥንካሬ፣ ከፍተኛ ሙቀትን እና ከፍተኛ የቫኩም አካባቢን መቋቋም ይችላል።
▪ ጥሩ የልኬት መረጋጋት፡ የሂደቱ መረጋጋትን ለማረጋገጥ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አነስተኛ መጠን ያለው ለውጥ።
▪ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያነት፡- የዋፈር ሙቀትን ለመከላከል ሙቀትን በብቃት ያስተላልፉ።
▪ ጠንካራ የዝገት መቋቋም፡- በተለያዩ የሚበላሹ ጋዞች እና ፕላዝማ የሚመጡ የአፈር መሸርሸርን መቋቋም ይችላል።
የአፈጻጸም መለኪያ | ሰሚሴራ | SGL R6510 | የአፈጻጸም መለኪያ |
የጅምላ እፍጋት (ግ/ሴሜ 3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
የመታጠፍ ጥንካሬ (MPa) | 63 | 60 | 49 |
የመጨመቂያ ጥንካሬ (MPa) | 135 | 130 | 103 |
የባህር ዳርቻ ጠንካራነት (HS) | 70 | 64 | 60 |
የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ (10-6/ኪ) | 85 | 105 | 130 |
የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ (10-6/ኪ) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
የመቋቋም ችሎታ (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
እኛን የመምረጥ ጥቅሞች:
▪ የቁሳቁስ ምርጫ፡- ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የግራፍ እቃዎች የምርት ጥራትን ለማረጋገጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ።
▪ የማቀነባበር ቴክኖሎጂ፡- አይሶስታቲክ ፕሬስ የምርት መጠጋጋትን እና ተመሳሳይነትን ለማረጋገጥ ይጠቅማል።
▪ መጠን ማበጀት፡- የተለያየ መጠንና ቅርጽ ያላቸው ግራፋይት ጀልባዎች እንደ ደንበኛ ፍላጎት ሊበጁ ይችላሉ።
▪ የገጽታ አያያዝ፡- የተለያዩ የሂደት መስፈርቶችን ለማሟላት እንደ ሲሊከን ካርቦይድ፣ ቦሮን ናይትራይድ፣ ወዘተ የመሳሰሉ የተለያዩ የገጽታ ሕክምና ዘዴዎች ተሰጥተዋል።