መግለጫ
የMOCVD Susceptor for Epitaxial Growth በሴሚሴራ፣ ለላቁ ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች የኤፒታክሲያል እድገት ሂደትን ለማመቻቸት የተነደፈ መሪ መፍትሄ። የሴሚሴራ MOCVD Susceptor የሙቀት መጠንን እና የቁሳቁስን አቀማመጥ በትክክል መቆጣጠርን ያረጋግጣል፣ ይህም ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን Si Epitaxy እና SiC Epitaxy ለማግኘት ተመራጭ ያደርገዋል። ጠንካራ ግንባታው እና ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያው ተፈላጊ አካባቢዎችን የማያቋርጥ አፈፃፀም ያስችለዋል ፣ ይህም ለኤፒታክሲያል እድገት ስርዓቶች አስፈላጊ የሆነውን አስተማማኝነት ያረጋግጣል።
ይህ MOCVD Susceptor ከተለያዩ ኤፒታክሲያል አፕሊኬሽኖች ጋር ተኳሃኝ ነው፣የሞኖክሪስታሊን ሲሊኮን ምርት እና የጋኤን እድገትን በሲሲ ኢፒታክሲ ላይ ጨምሮ ከፍተኛ ደረጃ ውጤቶችን ለሚፈልጉ አምራቾች አስፈላጊ አካል ያደርገዋል። በተጨማሪም፣ ከPSS Etching Carrier፣ ICP Etching Carrier፣ እና RTP Carrier ስርዓቶች ጋር ያለችግር ይሰራል፣ የሂደቱን ቅልጥፍና እና ምርትን ያሳድጋል። ተጠርጣሪው ለ LED Epitaxial Susceptor አፕሊኬሽኖች እና ሌሎች የላቀ ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደቶች ተስማሚ ነው.
ሁለገብ በሆነው ዲዛይኑ፣ ሴሚሴራ የMOCVD susceptor በፓንኬክ ሱስሴፕተር እና በርሜል ሱስሴፕተር ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ሊስተካከል ይችላል፣ ይህም በተለያዩ የምርት ማቀነባበሪያዎች ውስጥ ተለዋዋጭነትን ይሰጣል። የፎቶቮልታይክ ክፍሎች ውህደት አተገባበሩን የበለጠ ያሰፋዋል, ይህም ለሴሚኮንዳክተር እና ለፀሃይ ኢንዱስትሪዎች ተስማሚ ያደርገዋል. ይህ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው መፍትሔ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት እና ዘላቂነት ያቀርባል, በ epitaxial እድገት ሂደቶች ውስጥ የረጅም ጊዜ ቅልጥፍናን ያረጋግጣል.
ዋና ዋና ባህሪያት
1. ከፍተኛ ንፅህና ሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት
2. የላቀ የሙቀት መቋቋም እና የሙቀት ተመሳሳይነት
3. ለስላሳ ሽፋን የተሸፈነ ጥሩ የሲሲ ክሪስታል
4. በኬሚካል ማጽዳት ላይ ከፍተኛ ጥንካሬ
የCVD-SIC ሽፋን ዋና ዝርዝሮች፡-
ሲሲ-ሲቪዲ | ||
ጥግግት | (ግ/ሲሲ) | 3.21 |
ተለዋዋጭ ጥንካሬ | (ኤምፓ) | 470 |
የሙቀት መስፋፋት | (10-6/ኪ) | 4 |
የሙቀት መቆጣጠሪያ | (ወ/ኤምኬ) | 300 |
ማሸግ እና ማጓጓዣ
የአቅርቦት ችሎታ፡
10000 ቁራጭ/በወር
ማሸግ እና ማድረስ፡
ማሸግ: መደበኛ እና ጠንካራ ማሸግ
ፖሊ ቦርሳ + ሣጥን + ካርቶን + ፓሌት
ወደብ፡
ኒንቦ/ሼንዘን/ሻንጋይ
የመምራት ጊዜ፥
ብዛት (ቁራጮች) | 1 - 1000 | > 1000 |
እ.ኤ.አ. ጊዜ (ቀናት) | 30 | ለመደራደር |