በሴሚኮንዳክተር መስክ ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ አተገባበር

ሴሚኮንዳክተሮች

የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ የኢንዱስትሪ ህግን የሚከተል "አንድ የቴክኖሎጂ ትውልድ, አንድ ሂደትን እና አንድ መሳሪያን" እና የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ማሻሻል እና መድገም በአብዛኛው የተመካው በትክክለኛ ክፍሎች የቴክኖሎጂ ግኝቶች ላይ ነው. ከነሱ መካከል ፣ ትክክለኛ የሴራሚክ ክፍሎች እንደ ኬሚካዊ የእንፋሎት ክምችት ፣ የአካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ ፣ ion መትከል እና ማሳከክ ባሉ ተከታታይ ዋና ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አገናኞች ውስጥ በጣም ተወካይ የሆኑት ሴሚኮንዳክተር ትክክለኛነት ክፍሎች ቁሳቁሶች ናቸው ። እንደ ተሸካሚዎች፣ የመመሪያ ሀዲዶች፣ ሽፋኖች፣ ኤሌክትሮስታቲክ ቻኮች፣ የሜካኒካል አያያዝ ክንዶች፣ ወዘተ. በተለይም በመሳሪያው ክፍተት ውስጥ የድጋፍ፣ የጥበቃ እና የማስቀየር ሚና ይጫወታል።

ከ 2023 ጀምሮ ኔዘርላንድስ እና ጃፓን በተከታታይ አዳዲስ ደንቦችን ወይም የቁጥጥር ድንጋጌዎችን አውጥተዋል, ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሊቶግራፊ ማሽኖችን ጨምሮ የኤክስፖርት ፍቃድ ደንቦችን በመጨመር የሴሚኮንዳክተር ፀረ-ግሎባላይዜሽን አዝማሚያ ቀስ በቀስ ብቅ አለ. የአቅርቦት ሰንሰለት ገለልተኛ ቁጥጥር አስፈላጊነት ከጊዜ ወደ ጊዜ እየጨመረ መጥቷል. ሴሚኮንዳክተር መሣሪያዎች ክፍሎች ለትርጉም ፍላጎት ጋር መጋፈጥ, የአገር ውስጥ ኩባንያዎች በንቃት የኢንዱስትሪ ልማት በማስተዋወቅ ላይ ናቸው. Zhongci ኤሌክትሮኒክስ የአገር ውስጥ ሴሚኮንዳክተር መሣሪያዎች ኢንዱስትሪ ያለውን "bottleneck" ችግር በመፍታት, እንደ ማሞቂያ ሳህኖች እና electrostatic chucks እንደ ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ትክክለኛነት ክፍሎች መካከል ለትርጉም ተገነዘብኩ አድርጓል; የሲሲ ኮይድ ግራፋይት መሠረቶች እና የሲሲ ኢቲንግ ቀለበቶች ግንባር ቀደም አቅራቢ Dezhi New Materials የ100 ሚሊዮን ዩዋን ወዘተ ፋይናንስ በተሳካ ሁኔታ አጠናቋል።
ከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሊኮን ናይትራይድ የሴራሚክ ንጣፎች;

የሲሊኮን ናይትራይድ የሴራሚክ ንጣፎች በዋናነት በሃይል አሃዶች፣ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች እና የንፁህ ኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች (ኢቪ) እና ድብልቅ ኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች (HEVs) ኢንቬንተሮች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ እና ትልቅ የገበያ አቅም እና የመተግበር ተስፋ አላቸው።

በአሁኑ ጊዜ ለንግድ አፕሊኬሽኖች ከፍተኛ ሙቀት ያለው የሲሊኮን ናይትራይድ የሴራሚክ ንጣፍ ቁሳቁሶች የሙቀት አማቂ ≥85 W / (m·K) ፣ የታጠፈ ጥንካሬ ≥650MPa እና የስብራት ጥንካሬ 5 ~ 7MPa·m1/2 ያስፈልጋቸዋል። ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ ሲሊኮን ናይትራይድ የሴራሚክ ንጣፎችን በብዛት የማምረት አቅም ያላቸው ኩባንያዎች በዋናነት ቶሺባ ግሩፕ፣ ሂታቺ ብረቶች፣ ጃፓን ኤሌክትሪክ ኬሚካል፣ ጃፓን ማሩዋ እና ጃፓን ጥሩ ሴራሚክስ ናቸው።

በሲሊኮን ናይትራይድ የሴራሚክ ንጣፍ ቁሶች ላይ የተደረገ የአገር ውስጥ ጥናት መጠነኛ መሻሻል አሳይቷል። በሲኖማ ከፍተኛ ቴክ ኒትሪድ ሴራሚክስ Co., Ltd. የቤጂንግ ቅርንጫፍ በቴፕ ቀረጻ ሂደት የተዘጋጀው የሲሊኮን ናይትራይድ የሴራሚክ ንጣፍ የሙቀት መጠን 100 ዋ / (m·K) ነው። ቤጂንግ ሲኖማ አርቲፊሻል ክሪስታል ሪሰርች ኢንስቲትዩት ኮ የማጣቀሚያ ዘዴን እና ሂደቱን በማመቻቸት.