ክሪስታል በሚጎተትበት ጊዜ የራዲያል ተከላካይ ተመሳሳይነት ቁጥጥር

የነጠላ ክሪስታሎች ራዲያል ተከላካይነት ተመሳሳይነት ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድሩ ዋና ዋና ምክንያቶች የጠንካራ ፈሳሽ በይነገጽ ጠፍጣፋ እና በክሪስታል እድገት ወቅት አነስተኛ የአውሮፕላን ተፅእኖ ናቸው።

ጠንካራ-ፈሳሽ በይነገጽ ያለውን flatness ተጽዕኖ ክሪስታል እድገት ወቅት, መቅለጥ በእኩል አወኩ ከሆነ, እኩል የመቋቋም ወለል ጠንካራ-ፈሳሽ በይነገጽ ነው (በቀለጡ ውስጥ ያለው ርኵስ ትኩረት ወደ ክሪስታል ውስጥ ርኵስ ትኩረት የተለየ ነው, ስለዚህ. ተቃውሞው የተለየ ነው, እና ተቃውሞው በጠንካራ-ፈሳሽ በይነገጽ ላይ ብቻ እኩል ነው). ንፁህነቱ K<1 ሲፈጠር, ወደ ማቅለጥ ያለው በይነገጽ ሾጣጣው ራዲያል ተከላካይ ከፍተኛ መካከለኛ እና ዝቅተኛ ጠርዝ ላይ እንዲፈጠር ያደርገዋል, ወደ ማቅለጥ የሚይዘው ግንኙነቱ ተቃራኒ ነው. የጠፍጣፋው ጠንካራ-ፈሳሽ በይነገጽ የራዲያል ተከላካይ ተመሳሳይነት የተሻለ ነው። ክሪስታል በሚጎተትበት ጊዜ የጠጣር-ፈሳሽ በይነገጽ ቅርፅ የሚወሰነው እንደ የሙቀት መስክ ስርጭት እና የክሪስታል እድገት ኦፕሬሽን መለኪያዎች ባሉ ምክንያቶች ነው። በቀጥታ በሚጎተተው ነጠላ ክሪስታል ውስጥ, ጠንካራ-ፈሳሽ ወለል ቅርጽ እንደ እቶን የሙቀት ስርጭት እና ክሪስታል ሙቀት መበታተን እንደ ምክንያቶች ጥምር ውጤት ውጤት ነው.

ክሪስታሎችን በሚጎትቱበት ጊዜ በጠንካራ ፈሳሽ በይነገጽ ላይ አራት ዋና ዋና የሙቀት ልውውጥ ዓይነቶች አሉ-

ቀልጦ በሲሊኮን ማጠናከሪያ የሚለቀቀው የደረጃ ለውጥ ድብቅ ሙቀት

የሟሟ ሙቀት ማስተላለፊያ

በክሪስታል በኩል ወደ ላይ የሙቀት ማስተላለፊያ

በክሪስታል በኩል የጨረር ሙቀት ወደ ውጪ
ድብቅ ሙቀት ለጠቅላላው በይነገጽ አንድ አይነት ነው, እና የእድገቱ መጠን ቋሚ በሚሆንበት ጊዜ መጠኑ አይለወጥም. (ፈጣን የሙቀት ማስተላለፊያ፣ ፈጣን ማቀዝቀዝ እና የማጠናከሪያ መጠን መጨመር)

እያደገ ክሪስታል ራስ ወደ ነጠላ ክሪስታል እቶን ውኃ-የቀዘቀዘ ዘር ክሪስታል በትር ቅርብ ነው ጊዜ, ክሪስታል ውስጥ ያለው የሙቀት ቅልመት ትልቅ ነው, ይህም ክሪስታል ያለውን ቁመታዊ ሙቀት conduction ላይ ላዩን ጨረር ሙቀት የበለጠ ያደርገዋል, ስለዚህ. ጠንካራ-ፈሳሽ በይነገጽ ሾጣጣ ወደ ማቅለጥ.

ክሪስታል ወደ መሃከል ሲያድግ, ቁመታዊው የሙቀት ማስተላለፊያው ከላዩ የጨረር ሙቀት ጋር እኩል ነው, ስለዚህ መገናኛው ቀጥ ያለ ነው.

በክሪስታል ጅራቱ ላይ ፣ ቁመታዊው የሙቀት ማስተላለፊያው ከወለሉ የጨረር ሙቀት ያነሰ ነው ፣ ይህም ጠንካራ-ፈሳሽ በይነገጽ ወደ ማቅለጥ እንዲገባ ያደርገዋል።
አንድ ወጥ የሆነ ራዲያል የመቋቋም ችሎታ ያለው ነጠላ ክሪስታል ለማግኘት ፣ ጠንካራ-ፈሳሽ በይነገጽ መስተካከል አለበት።
ጥቅም ላይ የሚውሉት ዘዴዎች፡- ①የሙቀት መስክ ራዲያል የሙቀት መጠንን ለመቀነስ የክሪስታል እድገት የሙቀት ስርዓትን ማስተካከል።
②የክሪስታል መጎተት ኦፕሬሽን መለኪያዎችን ያስተካክሉ። ለምሳሌ፣ ለበይነገጽ ኮንቬክስ ወደ ማቅለጥ፣ የክሪስታል ማጠናከሪያ መጠንን ለመጨመር የመጎተት ፍጥነትን ይጨምሩ። በዚህ ጊዜ በይነገጹ ላይ የሚለቀቀውን ክሪስታላይዜሽን ድብቅ ሙቀት በመጨመሩ፣በመገናኛው አጠገብ ያለው የሟሟ ሙቀት መጠን ይጨምራል፣በመገናኛው ላይ የክሪስታል ክፍል ይቀልጣል፣በይነገጽ ጠፍጣፋ ያደርገዋል። በተቃራኒው, የእድገት በይነገጽ ወደ ማቅለጫው ከተጣበቀ, የእድገቱ መጠን ሊቀንስ ይችላል, እና ማቅለጫው ተመጣጣኝ መጠንን ያጠናክራል, የእድገት በይነገጽ ጠፍጣፋ ያደርገዋል.
③ የክሪስታል ወይም የክርክርን የማዞሪያ ፍጥነት ያስተካክሉ። የክሪስታል ማሽከርከር ፍጥነት መጨመር በጠጣር-ፈሳሽ በይነገጽ ላይ ከታች ወደ ላይ የሚንቀሳቀሰውን ከፍተኛ ሙቀት ያለው ፈሳሽ ፍሰት ይጨምራል, በይነገጹ ከኮንቬክስ ወደ ኮንቬክስ ይቀየራል. በኩሬው ሽክርክሪት ምክንያት የሚፈጠረው የፈሳሽ ፍሰት አቅጣጫ ከተፈጥሯዊ ኮንቬንሽን ጋር ተመሳሳይ ነው, ውጤቱም ከክሪስታል ሽክርክሪት ጋር ሙሉ በሙሉ ተቃራኒ ነው.
④ የክርሽኑ ውስጣዊ ዲያሜትር እና የክሪስታል ዲያሜትር ሬሾን መጨመር የጠጣር-ፈሳሽ በይነገጽን ያስተካክላል, እና እንዲሁም በክሪስታል ውስጥ ያለውን የመፈናቀል ጥግግት እና የኦክስጂን ይዘትን ይቀንሳል. በአጠቃላይ, የክርሽኑ ዲያሜትር: ክሪስታል ዲያሜትር = 3 ~ 2.5: 1.
የትንሽ አውሮፕላን ተጽእኖ ተጽእኖ
በክሪስታል ውስጥ ያለው የሟሟ isotherm ውስንነት የተነሳ ክሪስታል እድገት ያለው ጠንካራ ፈሳሽ በይነገጽ ብዙውን ጊዜ ጠመዝማዛ ነው። በክሪስታል እድገት ወቅት ክሪስታል በፍጥነት ከተነሳ ፣ በ (111) ጀርመኒየም እና በሲሊኮን ነጠላ ክሪስታሎች ጠንካራ ፈሳሽ በይነገጽ ላይ ትንሽ ጠፍጣፋ አውሮፕላን ይታያል። እሱ (111) የአቶሚክ የተጠጋ አውሮፕላን ነው፣ ብዙውን ጊዜ ትንሽ አውሮፕላን ይባላል።
በትናንሽ አውሮፕላን አካባቢ ያለው የንጽሕና አተኩር ከትንሽ አውሮፕላን አካባቢ በጣም የተለየ ነው. በትናንሽ አውሮፕላኑ አካባቢ ያለው ያልተለመደ የቆሻሻ ስርጭት ክስተት አነስተኛ አውሮፕላን ውጤት ይባላል።
በትንሽ አውሮፕላኑ ተጽእኖ ምክንያት የትንሽ አውሮፕላን አካባቢ የመቋቋም አቅም ይቀንሳል, እና በአስጊ ሁኔታ ውስጥ, የንጽሕና ቧንቧ እምብርት ይታያል. በትንሽ አውሮፕላን ተጽእኖ ምክንያት የሚፈጠረውን ራዲያል ተከላካይ ኢንሆሞጂን ለማጥፋት, ጠንካራ-ፈሳሽ መገናኛን ማስተካከል ያስፈልጋል.

ለተጨማሪ ውይይት እኛን እንዲጎበኙን ከመላው አለም የመጡ ማንኛውም ደንበኞች እንኳን ደህና መጣችሁ!

https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/