ሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን-1

CVD SiC ምንድን ነው?

የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (ሲቪዲ) ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው ጠንካራ ቁሶችን ለማምረት የሚያገለግል የቫኩም ክምችት ሂደት ነው። ይህ ሂደት ብዙውን ጊዜ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስክ ላይ ቀጭን ፊልሞችን በቫፈርስ ላይ ለመሥራት ያገለግላል. ሲሲሲ በሲቪዲ በማዘጋጀት ሂደት ውስጥ ንጣፉ ለአንድ ወይም ከዚያ በላይ ለሚሆኑ ተለዋዋጭ ቀዳሚዎች የተጋለጠ ሲሆን ይህም የሚፈለገውን የሲሲ ክምችት ለማስቀመጥ በንጥረኛው ወለል ላይ በኬሚካላዊ ምላሽ ይሰጣል። የሲሲ ቁሳቁሶችን ለማዘጋጀት ከብዙ ዘዴዎች መካከል, በኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ የሚዘጋጁ ምርቶች ከፍተኛ ተመሳሳይነት እና ንፅህና አላቸው, እና ዘዴው ጠንካራ የሂደት ቁጥጥር አለው.

የሲቪዲ ሲሲ ቁሳቁሶች እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ፣ የኤሌክትሪክ እና የኬሚካል ባህሪዎች ልዩ ጥምረት ስላላቸው ከፍተኛ አፈፃፀም በሚጠይቁ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ለመጠቀም በጣም ተስማሚ ናቸው። የሲቪዲ ሲሲ ክፍሎች በኤክሪንግ መሳሪያዎች፣ MOCVD መሳሪያዎች፣ ሲ ኤፒታክሲያል መሳሪያዎች እና ሲሲ ኤፒታክሲያል መሳሪያዎች፣ ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች እና ሌሎች መስኮች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።

በአጠቃላይ ትልቁ የሲቪዲ ሲሲ ክፍሎች የገበያ ክፍል የመሳሪያ ክፍሎችን እየቀረጸ ነው። በክሎሪን እና ፍሎራይን የያዙ ኤክሪንግ ጋዞች ላይ ባለው ዝቅተኛ ምላሽ እና ንክኪነት ምክንያት ሲቪዲ ሲሊከን ካርቦዳይድ በፕላዝማ ኢክሪንግ መሳሪያዎች ውስጥ እንደ የትኩረት ቀለበቶች ላሉ ክፍሎች ተስማሚ ቁሳቁስ ነው።

የሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦይድ ንጥረ ነገሮች በኤክሪንግ መሳሪያዎች ውስጥ የትኩረት ቀለበቶችን ፣ የጋዝ ሻወር ራሶችን ፣ ትሪዎችን ፣ የጠርዝ ቀለበቶችን ፣ ወዘተ ያካትታሉ ። የትኩረት ቀለበቱን እንደ ምሳሌ በመውሰድ ፣ የትኩረት ቀለበቱ ከዋፋው ውጭ እና በቀጥታ ከዋፋው ጋር የተገናኘ ጠቃሚ አካል ነው። ቀለበቱ ውስጥ የሚያልፈውን ፕላዝማ ለማተኮር ቮልቴጅን ወደ ቀለበት በመተግበር ፕላዝማው የማቀነባበሪያውን ተመሳሳይነት ለማሻሻል በቫፈር ላይ ያተኩራል።

ባህላዊ ትኩረት ቀለበቶች በሲሊኮን ወይም ኳርትዝ የተሰሩ ናቸው. የተቀናጀ የወረዳ miniaturization እድገት ጋር, የተቀናጀ የወረዳ ማምረቻ ውስጥ ያለውን ፍላጎት እና አስፈላጊነት Etching ሂደቶች እየጨመረ, እና ፕላዝማ ኃይል እና ጉልበት እየጨመረ ይቀጥላል. በተለይም በ capacitively የተጣመሩ (ሲሲፒ) የፕላዝማ ኢኬቲንግ መሳሪያዎች ውስጥ የሚፈለገው የፕላዝማ ሃይል ከፍ ያለ ነው, ስለዚህ በሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁሶች የተሰሩ የትኩረት ቀለበቶች አጠቃቀም መጠን እየጨመረ ነው. የሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድ ትኩረት ቀለበት ንድፍ ንድፍ ከዚህ በታች ይታያል።