ሴሚኮንዳክተር የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዲስኮች ማሰስ፡ የአፈጻጸም ጥቅሞች እና የመተግበሪያ ተስፋዎች

በዛሬው የኤሌክትሮኒክስ ቴክኖሎጂ መስክ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ. ከነሱ መካከል እ.ኤ.አ.ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ)እንደ ሰፊ ባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ፣ እንደ ከፍተኛ ብልሽት የኤሌክትሪክ መስክ ፣ ከፍተኛ ሙሌት ፍጥነት ፣ ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ ፣ ወዘተ ያሉ ጥሩ የአፈፃፀም ጥቅሞች ያሉት ፣ ቀስ በቀስ የተመራማሪዎች እና መሐንዲሶች ትኩረት እየሆነ ነው። የየሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዲስክ, እንደ አንድ አስፈላጊ አካል, ትልቅ የመተግበር አቅም አሳይቷል.

ኤፒታክሲያል ዲስክ አፈጻጸም፡ ሙሉ ጥቅሞች
1. እጅግ በጣም ከፍተኛ ብልሽት የኤሌክትሪክ መስክ: ከባህላዊ የሲሊኮን ቁሳቁሶች ጋር ሲነፃፀር, የኤሌክትሪክ መስክ መበላሸቱሲሊከን ካርበይድከ 10 ጊዜ በላይ ነው. ይህ ማለት በተመሳሳዩ የቮልቴጅ ሁኔታዎች ውስጥ የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን በመጠቀምየሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዲስኮችከፍተኛ ሞገዶችን መቋቋም ይችላል, በዚህም ከፍተኛ-ቮልቴጅ, ከፍተኛ ድግግሞሽ, ከፍተኛ ኃይል ያለው የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን ይፈጥራል.
2. ከፍተኛ-ፍጥነት ሙሌት ፍጥነት: የ ሙሌት ፍጥነትሲሊከን ካርበይድከሲሊኮን ከ 2 እጥፍ ይበልጣል. በከፍተኛ ሙቀት እና በከፍተኛ ፍጥነት የሚሰራ, የየሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዲስክበተሻለ ሁኔታ ይሰራል, ይህም የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎችን መረጋጋት እና አስተማማኝነት በእጅጉ ያሻሽላል.
3. ከፍተኛ ቅልጥፍና ያለው የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity): የሲሊኮን ካርቦይድ የሙቀት መጠን ከሲሊኮን ከ 3 እጥፍ ይበልጣል. ይህ ባህሪ የኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎች ቀጣይነት ባለው ከፍተኛ ሃይል በሚሰራበት ጊዜ ሙቀትን በተሻለ ሁኔታ እንዲለቁ ያስችላቸዋል, በዚህም ከመጠን በላይ ሙቀትን ይከላከላል እና የመሳሪያውን ደህንነት ያሻሽላል.
4. እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካላዊ መረጋጋት: እንደ ከፍተኛ ሙቀት, ከፍተኛ ጫና እና ኃይለኛ ጨረሮች ባሉ ከባድ አካባቢዎች, የሲሊኮን ካርቦይድ አፈፃፀም አሁንም እንደበፊቱ የተረጋጋ ነው. ይህ ባህሪ የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዲስክ ውስብስብ አካባቢዎችን በሚመለከት እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም እንዲኖር ያስችለዋል.
二, የማምረት ሂደት: በጥንቃቄ የተቀረጸ
የሲአይሲ ኤፒታክሲያል ዲስክን ለማምረት ዋና ሂደቶች አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD), የኬሚካል ትነት ክምችት (ሲቪዲ) እና ኤፒታክሲያል እድገትን ያካትታሉ. እያንዳንዳቸው እነዚህ ሂደቶች የራሳቸው ባህሪያት አሏቸው እና ምርጡን ውጤት ለማግኘት የተለያዩ መለኪያዎችን በትክክል መቆጣጠር ያስፈልጋቸዋል.
1. የ PVD ሂደት፡- በትነት ወይም በመትፋት እና በሌሎች ዘዴዎች፣የሲሲ ኢላማው ፊልም ለመመስረት በመሬት ላይ ተቀምጧል። በዚህ ዘዴ የሚዘጋጀው ፊልም ከፍተኛ ንፅህና እና ጥሩ ክሪስታሊቲ አለው, ነገር ግን የምርት ፍጥነት በአንጻራዊነት ቀርፋፋ ነው.
2. የሲቪዲ ሂደት፡- የሲሊኮን ካርቦዳይድ ምንጭ ጋዝን በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ በመክተፍ ቀጭን ፊልም ለመፍጠር በንጥረቱ ላይ ይቀመጣል። በዚህ ዘዴ የሚዘጋጀው ፊልም ውፍረት እና ተመሳሳይነት ቁጥጥር የሚደረግበት ነው, ነገር ግን ንጽህና እና ክሪስታሊን ደካማ ናቸው.
3. ኤፒታክሲያል እድገት፡ የሲሲ ኤፒታክሲያል ንብርብር በሞኖክሪስታሊን ሲሊከን ወይም በሌላ ሞኖክሪስታሊን ቁሶች ላይ በኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ ዘዴ ማደግ። በዚህ ዘዴ የሚዘጋጀው ኤፒታክሲያል ንብርብር ጥሩ ማዛመጃ እና እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም ካለው የንጥረ ነገር ቁሳቁስ ጋር ነው, ነገር ግን ዋጋው በአንጻራዊነት ከፍተኛ ነው.
三፣ የመተግበሪያ ተስፋ፡ የወደፊቱን አብራ
የኃይል ኤሌክትሮኒክስ ቴክኖሎጂ ቀጣይነት ያለው እድገት እና ለከፍተኛ አፈፃፀም እና ከፍተኛ አስተማማኝነት የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ፍላጎት እየጨመረ በመምጣቱ ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዲስክ በሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ማምረቻ ውስጥ ሰፊ የመተግበሪያ ተስፋ አለው። እንደ ኃይል ኤሌክትሮኒካዊ ማብሪያ / ማጥፊያዎች ፣ ኢንቮይተሮች ፣ ሬክቲፋተሮች ፣ ወዘተ ያሉ ከፍተኛ ድግግሞሽ ከፍተኛ ኃይል ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን ለማምረት በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል ።
በልዩ የአፈፃፀም ጥቅሞቹ እና የማምረቻው ሂደት ቀጣይነት ያለው መሻሻል, የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ዲስክ ቀስ በቀስ በሴሚኮንዳክተር መስክ ውስጥ ያለውን ከፍተኛ አቅም እያሳየ ነው. በሳይንስ እና ቴክኖሎጂ ወደፊት የበለጠ ጠቃሚ ሚና ይጫወታል ብለን የምናምንበት ምክንያት አለን።