በከባቢ አየር ግፊት ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁስ አወቃቀር እና ባህሪዎች

【 ማጠቃለያ መግለጫ】 በዘመናዊው ሲ ፣ኤን ፣ቢ እና ሌሎች ኦክሳይድ ያልሆኑ ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ተከላካይ ጥሬ ዕቃዎች ፣የከባቢ አየር ግፊት ተበላሽቷልሲሊከን ካርበይድሰፊ እና ኢኮኖሚያዊ ነው, እና ኤሚሪ ወይም ተከላካይ አሸዋ ሊባል ይችላል. ንፁህሲሊከን ካርበይድቀለም የሌለው ግልጽ ክሪስታል ነው. ስለዚህ የቁሳቁስ መዋቅር እና ባህሪያት ምንድን ናቸውሲሊከን ካርበይድ?

 

የከባቢ አየር ግፊት የቁሳቁስ መዋቅርሲሊከን ካርበይድ:

የከባቢ አየር ግፊት ተበላሽቷል።ሲሊከን ካርበይድበኢንዱስትሪ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ቀላል ቢጫ, አረንጓዴ, ሰማያዊ እና ጥቁር እንደ ርኩስ አይነት እና ይዘት ነው, እና ንፅህናው የተለያየ እና ግልጽነት የተለያየ ነው. የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታል መዋቅር በስድስት-ቃል ወይም የአልማዝ ቅርጽ ያለው ፕሉቶኒየም እና ኪዩቢክ ፕሉቶኒየም-ሲክ ይከፈላል. ፕሉቶኒየም-ሲክ በተለያዩ የካርቦን እና የሲሊኮን አተሞች በክሪስታል መዋቅር ውስጥ የተለያዩ የተበላሹ ለውጦችን ይፈጥራል እና ከ 70 በላይ የተበላሹ ዓይነቶች ተገኝተዋል። ቤታ-SIC ከ 2100 በላይ ወደ አልፋ-SIC ይቀየራል. የሲሊኮን ካርቦዳይድ የኢንዱስትሪ ሂደት ከፍተኛ ጥራት ባለው ኳርትዝ አሸዋ እና በፔትሮሊየም ኮክ በተቃውሞ ምድጃ ውስጥ ተጣርቶ ነው. የተጣሩ የሲሊኮን ካርቦይድ ብሎኮች የተፈጨ፣ የአሲድ-ቤዝ ጽዳት፣ መግነጢሳዊ መለያየት፣ የማጣሪያ ወይም የውሃ ምርጫ የተለያዩ የቅንጣት መጠን ያላቸውን ምርቶች ለማምረት ነው።

 

የከባቢ አየር ግፊት ቁሳዊ ባህሪያትየተጣራ ሲሊኮን ካርቦይድ:

የሲሊኮን ካርቦይድ ጥሩ የኬሚካል መረጋጋት ፣ የሙቀት አማቂነት ፣ የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ፣ የመቋቋም ችሎታ አለው ፣ ስለሆነም ከመጥፎ አጠቃቀም በተጨማሪ ብዙ አጠቃቀሞች አሉ-ለምሳሌ ፣ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ዱቄት በተርባይን ኢምፔለር ወይም በሲሊንደሩ ማገጃ ውስጠኛ ግድግዳ ላይ ተሸፍኗል ። ልዩ ሂደት, የመልበስ መከላከያን ለማሻሻል እና ከ 1 እስከ 2 ጊዜ ህይወትን ሊያራዝም ይችላል. ሙቀትን መቋቋም የሚችል, አነስተኛ መጠን, ቀላል ክብደት, ከፍተኛ ደረጃ ያላቸው የማጣቀሻ ቁሳቁሶች ከፍተኛ ጥንካሬ, የኃይል ቆጣቢነት በጣም ጥሩ ነው. ዝቅተኛ ደረጃ የሲሊኮን ካርቦራይድ (85% ሲሲ ጨምሮ) የአረብ ብረትን ጥራት ለማሻሻል የአረብ ብረት ስራ ፍጥነትን ለመጨመር እና የኬሚካል ስብጥርን በቀላሉ ለመቆጣጠር በጣም ጥሩ ዲኦክሳይድ ነው. በተጨማሪም, የከባቢ አየር ግፊት sintered ሲሊከን carbide ደግሞ በስፋት ሲሊከን ካርበን ዘንጎች መካከል የኤሌክትሪክ ክፍሎች ማምረት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል.

ሲሊኮን ካርቦይድ በጣም ከባድ ነው. የሞርስ ጥንካሬ 9.5 ነው ፣ ከአለም ጠንካራ አልማዝ (10) ቀጥሎ ሁለተኛ ነው ፣ ሴሚኮንዳክተር እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂ ኃይል ያለው ፣ ኦክሳይድን በከፍተኛ ሙቀት መቋቋም ይችላል። ሲሊኮን ካርቦይድ ቢያንስ 70 ክሪስታሎች አሉት. ፕሉቶኒየም-ሲሊኮን ካርቦዳይድ ከ 2000 በላይ በሆነ የሙቀት መጠን የሚፈጠር እና ባለ ስድስት ጎን ክሪስታል መዋቅር ያለው የተለመደ ኢሶመር ነው (እንደ ዉርትዚት)። በከባቢ አየር ግፊት ውስጥ የተዘበራረቀ የሲሊኮን ካርቦይድ

 

አተገባበር የሲሊከን ካርበይድሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ

የሲሊኮን ካርቦይድ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ሰንሰለት በዋናነት የሲሊኮን ካርቦይድ ከፍተኛ-ንፅህና ዱቄት ፣ ነጠላ ክሪስታል ንጣፍ ፣ ኤፒታክሲያል ሉህ ፣ የኃይል አካላት ፣ የሞዱል ማሸጊያ እና ተርሚናል መተግበሪያዎችን ያጠቃልላል።

1. ነጠላ ክሪስታል substrate ነጠላ ክሪስታል substrate ሴሚኮንዳክተር ደጋፊ ቁሳዊ, conductive ቁሳዊ እና epitaxial እድገት substrate ነው. በአሁኑ ጊዜ የሲሲ ነጠላ ክሪስታል የእድገት ዘዴዎች አካላዊ የእንፋሎት ማስተላለፊያ ዘዴ (የፒቪቲ ዘዴ), የፈሳሽ ደረጃ ዘዴ (ኤልፒኢ ዘዴ) እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ ዘዴ (ኤችቲሲቪዲ ዘዴ) ያካትታሉ. በከባቢ አየር ግፊት ውስጥ የተዘበራረቀ የሲሊኮን ካርቦይድ

2. ኤፒታክሲያል ሉህ የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ሉህ, የሲሊኮን ካርቦይድ ሉህ, ነጠላ ክሪስታል ፊልም (ኤፒታክሲያል ንብርብር) ለሲሊኮን ካርቦይድ ንጣፍ የተወሰኑ መስፈርቶች ካለው የንጥረ-ነገር ክሪስታል ጋር ተመሳሳይ አቅጣጫ. በተግባራዊ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ሰፊ ባንድ ክፍተት ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ሁሉም ማለት ይቻላል የሚመረቱት በ epitaxial ንብርብር ውስጥ ነው ፣ እና የሲሊኮን ቺፕ ራሱ የ GaN epitaxial ንጣፍ ንጣፍን ጨምሮ እንደ ንጣፍ ብቻ ጥቅም ላይ ይውላል።

3. ከፍተኛ-ንፅህና የሲሊኮን ካርቦዳይድ ዱቄት ከፍተኛ-ንፅህና የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት በ PVT ዘዴ ለሲሊኮን ካርቦይድ ነጠላ ክሪስታል እድገት የሚሆን ጥሬ እቃ ነው, እና የምርቱ ንፅህና በቀጥታ የሲሊኮን ካርቦይድ ነጠላ ክሪስታል የእድገት ጥራት እና የኤሌክትሪክ ባህሪያት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል.

4. የኃይል መሳሪያው ከሲሊኮን ካርቦይድ ማቴሪያል የተሰራ ሰፊ ባንድ ሃይል ነው, እሱም ከፍተኛ ሙቀት, ከፍተኛ ድግግሞሽ እና ከፍተኛ ብቃት ያለው ባህሪያት አለው. በመሳሪያው አሠራር መሠረት የሲሲው የኃይል አቅርቦት መሳሪያው በዋናነት የኃይል ዳይኦድ እና የኃይል ማብሪያ ቱቦን ያካትታል.

5. ተርሚናል በሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴሚኮንዳክተሮች ከጋሊየም ናይትራይድ ሴሚኮንዳክተሮች ጋር ማሟያ የመሆን ጥቅም አላቸው። በከፍተኛ የልወጣ ቅልጥፍና፣ በዝቅተኛ የማሞቂያ ባህሪያት፣ ቀላል ክብደት እና ሌሎች የሲሲ መሳሪያዎች ጥቅሞች ምክንያት የታችኛው ኢንዱስትሪ ፍላጎት እየጨመረ እና የ SiO2 መሳሪያዎችን የመተካት አዝማሚያ አለ።