የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ለማዘጋጀት ዘዴ

በአሁኑ ጊዜ የዝግጅት ዘዴዎችየሲሲ ሽፋንበዋናነት ጄል-ሶል ዘዴን፣ የመክተት ዘዴን፣ የብሩሽ ሽፋን ዘዴን፣ ፕላዝማን የሚረጭ ዘዴ፣ የኬሚካላዊ ጋዝ ምላሽ ዘዴ (CVR) እና የኬሚካል የእንፋሎት ማስቀመጫ ዘዴ (CVD) ያካትታሉ።

የመክተት ዘዴ፡

ዘዴው ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ጠንካራ የክፍል ደረጃ ማቀነባበር ሲሆን በዋናነት የሲ ዱቄት እና ሲ ዱቄት ድብልቅ እንደ መክተቻ ዱቄት ይጠቀማል ፣ የግራፋይት ማትሪክስ በመክተቻ ዱቄት ውስጥ ይቀመጣል ፣ እና ከፍተኛ የሙቀት መጠኑ በማይነቃነቅ ጋዝ ውስጥ ይከናወናል። , እና በመጨረሻምየሲሲ ሽፋንበግራፍ ማትሪክስ ወለል ላይ ይገኛል. ሂደቱ ቀላል ነው እና በሽፋኑ እና በንጣፉ መካከል ያለው ጥምረት ጥሩ ነው, ነገር ግን በወፍራው አቅጣጫ ላይ ያለው የሽፋን ተመሳሳይነት ደካማ ነው, ይህም ብዙ ቀዳዳዎችን ለማምረት እና ወደ ደካማ የኦክስዲሽን መከላከያ ይመራል.

 

የብሩሽ ሽፋን ዘዴ;

የብሩሽ መሸፈኛ ዘዴ በዋናነት በግራፍ ማትሪክስ ላይ ያለውን ፈሳሽ ጥሬ እቃ መቦረሽ እና ከዚያም ሽፋኑን ለማዘጋጀት ጥሬ እቃውን በተወሰነ የሙቀት መጠን ማከም ነው. ሂደቱ ቀላል እና ዋጋው ዝቅተኛ ነው, ነገር ግን በብሩሽ ማቅለሚያ ዘዴ የሚዘጋጀው ሽፋን ከንጣፉ ጋር በማጣመር ደካማ ነው, የሽፋኑ ተመሳሳይነት ደካማ ነው, ሽፋኑ ቀጭን እና የኦክሳይድ መከላከያው ዝቅተኛ ነው, እና ሌሎች ዘዴዎችን ለመርዳት ያስፈልጋሉ. ነው።

 

ፕላዝማ የሚረጭ ዘዴ;

የፕላዝማ የመርጨት ዘዴ በዋናነት የቀለጠ ወይም ከፊል የቀለጡ ጥሬ ዕቃዎችን በግራፍ ማትሪክስ ወለል ላይ በፕላዝማ ሽጉጥ በመርጨት እና ከዚያም በማጠናከር እና በማያያዝ ሽፋን መፍጠር ነው። ዘዴው ለመሥራት ቀላል እና በአንጻራዊነት ጥቅጥቅ ያለ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ማዘጋጀት ይችላል, ነገር ግን በስልቱ የሚዘጋጀው የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ብዙውን ጊዜ በጣም ደካማ እና ወደ ደካማ የኦክሳይድ መከላከያነት ይመራል, ስለዚህ በአጠቃላይ ለማሻሻል የሲሲ ድብልቅ ሽፋን ለማዘጋጀት ጥቅም ላይ ይውላል. የሽፋኑ ጥራት.

 

ጄል-ሶል ዘዴ;

የጄል-ሶል ዘዴ በዋናነት አንድ ወጥ እና ግልጽ የሆነ የሶል መፍትሄ በማትሪክስ ላይ ያለውን ወለል የሚሸፍን, ወደ ጄል በማድረቅ እና ከዚያም ሽፋን ለማግኘት ማቅለጥ ነው. ይህ ዘዴ ለመሥራት ቀላል እና ዋጋው ዝቅተኛ ነው, ነገር ግን የሚመረተው ሽፋን አንዳንድ ድክመቶች እንደ ዝቅተኛ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም እና ቀላል መሰንጠቅ, ስለዚህ በስፋት ጥቅም ላይ ሊውል አይችልም.

 

የኬሚካል ጋዝ ምላሽ (ሲቪአር)

CVR በዋናነት ያመነጫል።የሲሲ ሽፋንበከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የሲኦ እንፋሎትን ለመፍጠር Si እና SiO2 ዱቄትን በመጠቀም እና ተከታታይ ኬሚካዊ ግብረመልሶች በሲ ቁስ አካል ላይ ይከሰታሉ። የየሲሲ ሽፋንበዚህ ዘዴ የተዘጋጀው ከሥነ-ስርጭቱ ጋር በቅርበት የተሳሰረ ነው, ነገር ግን የምላሽ ሙቀት ከፍ ያለ እና ዋጋው ከፍ ያለ ነው.

 

የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (ሲቪዲ)

በአሁኑ ጊዜ ሲቪዲ ለማዘጋጀት ዋናው ቴክኖሎጂ ነውየሲሲ ሽፋንበ substrate ወለል ላይ. ዋናው ሂደት ጋዝ ዙር reactant ቁሳዊ ያለውን substrate ወለል ላይ ተከታታይ አካላዊ እና ኬሚካላዊ ምላሽ ነው, እና በመጨረሻም SiC ሽፋን substrate ወለል ላይ ተቀማጭ በማድረግ የተዘጋጀ ነው. በሲቪዲ ቴክኖሎጂ የሚዘጋጀው የሲሲ ሽፋን ከንጣፉ ወለል ጋር በቅርበት የተሳሰረ ነው, ይህም የንጥረትን የኦክሳይድ መቋቋም እና የንጥረትን መከላከያን በተሳካ ሁኔታ ማሻሻል ይችላል, ነገር ግን የዚህ ዘዴ የማስቀመጫ ጊዜ ረዘም ያለ ነው, እና የምላሽ ጋዝ የተወሰነ መርዛማ አለው. ጋዝ.