በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ አዲስ አዝማሚያዎች-የመከላከያ ሽፋን ቴክኖሎጂ አተገባበር

ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ከዚህ በፊት ታይቶ የማያውቅ እድገት እያስመዘገበ ነው፣ በተለይም በዘርፉሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ)የኃይል ኤሌክትሮኒክስ. ከብዙ መጠነ-ሰፊዎች ጋርዋፈርበኤሌክትሪክ ተሽከርካሪዎች ውስጥ የሲሲ መሳሪያዎችን ፍላጎት ለማሟላት በግንባታ ላይ ወይም በማስፋፋት ላይ ያሉ ፋብሪካዎች ይህ ዕድገት ለትርፍ ዕድገት አስደናቂ እድሎችን ያቀርባል. ሆኖም፣ እንዲሁም አዳዲስ መፍትሄዎችን የሚሹ ልዩ ፈተናዎችን ያመጣል።

ዓለም አቀፋዊ የሲሲ ቺፕ ምርትን ለመጨመር ዋናው ነጥብ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የሲሲ ክሪስታሎች፣ ዌፈር እና ኤፒታክሲያል ንብርብሮችን ማምረት ነው። እዚህ,ሴሚኮንዳክተር-ደረጃ ግራፋይትቁሳቁሶች የሲሲ ክሪስታል እድገትን እና የሲሲ ኤፒታክሲያል ንብርብሮችን ማስቀመጥን በማመቻቸት ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ. የግራፋይት የሙቀት ማገጃ እና ኢንቬቴሽንነት ተመራጭ ቁስ ያደርገዋል፣ በስፋት ጥቅም ላይ የሚውለው በክሪስቴሎች፣ በእግረኞች፣ በፕላኔቶች ዲስኮች እና በሳተላይቶች በክሪስታል እድገት እና ኤፒታክሲ ሲስተም ውስጥ ነው። የሆነ ሆኖ፣ አስቸጋሪው የሂደቱ ሁኔታዎች ከፍተኛ ተግዳሮት ይፈጥራሉ፣ ይህም የግራፋይት ክፍሎች በፍጥነት እንዲበላሹ እና በመቀጠልም ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የሲሲ ክሪስታሎች እና ኤፒታክሲያል ንጣፎችን ለማምረት እንቅፋት ይሆናሉ።

የሲሊኮን ካርቦዳይድ ክሪስታሎች ማምረት ከ 2000 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ የሆነ የሙቀት መጠን እና በጣም የሚበላሹ የጋዝ ንጥረ ነገሮችን ጨምሮ እጅግ በጣም አስቸጋሪ የሂደት ሁኔታዎችን ያካትታል። ይህ ብዙውን ጊዜ ከበርካታ የሂደት ዑደቶች በኋላ የግራፋይት ክራንች ሙሉ በሙሉ መበስበስን ያስከትላል ፣ በዚህም የምርት ወጪዎችን ይጨምራል። በተጨማሪም ጨካኝ ሁኔታዎች የግራፋይት አካላትን ገጽታ ይለውጣሉ፣ ይህም የምርት ሂደቱን መድገም እና መረጋጋት ይጎዳል።

እነዚህን ተግዳሮቶች በብቃት ለመዋጋት የመከላከያ ልባስ ቴክኖሎጂ እንደ ጨዋታ መለወጫ ብቅ ብሏል። በ ላይ የተመሰረቱ መከላከያ ሽፋኖችታንታለም ካርቦራይድ (ታሲ)የግራፋይት አካላት መበላሸት እና የግራፋይት አቅርቦት እጥረት ችግሮችን ለመፍታት አስተዋውቀዋል። የTaC ቁሳቁሶች ከ 3800 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ የሆነ የማቅለጥ ሙቀት እና ልዩ ኬሚካላዊ የመቋቋም ችሎታ ያሳያሉ። የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD) ቴክኖሎጂን መጠቀም፣የ TaC ሽፋኖችእስከ 35 ሚሊ ሜትር ውፍረት ባለው ውፍረት በግራፍ አካላት ላይ ያለ ችግር ሊቀመጥ ይችላል. ይህ ተከላካይ ንብርብር የቁሳቁስ መረጋጋትን ብቻ ሳይሆን የግራፋይት ክፍሎችን ህይወት በከፍተኛ ሁኔታ ያራዝመዋል, በዚህም ምክንያት የምርት ወጪዎችን ይቀንሳል እና የአሠራር ቅልጥፍናን ያሳድጋል.

ሴሚሴራ፣ መሪ አቅራቢየ TaC ሽፋኖችሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪውን በማሻሻያ ሂደት ውስጥ ትልቅ ሚና ተጫውቷል። በቴክኖሎጂው እና ለጥራት የማይናወጥ ቁርጠኝነት ሴሚሴራ ሴሚኮንዳክተር አምራቾች ወሳኝ ፈተናዎችን እንዲያሸንፉ እና አዲስ የስኬት ከፍታዎችን እንዲያሳኩ አስችሏቸዋል። የ TaC ሽፋኖችን ወደር የለሽ አፈፃፀም እና አስተማማኝነት በማቅረብ ሴሚሴራ በዓለም ዙሪያ ላሉ ሴሚኮንዳክተር ኩባንያዎች ታማኝ አጋር በመሆን አቋሙን አረጋግጧል።

በማጠቃለያው ፣ የመከላከያ ልባስ ቴክኖሎጂ ፣ በመሳሰሉ ፈጠራዎች የተጎላበተየ TaC ሽፋኖችከሴሚሴራ ሴሚኮንዳክተር መልክዓ ምድሩን እንደገና በመቅረጽ ለቀጣይ ቀልጣፋ እና ቀጣይነት መንገዱን እየዘረጋ ነው።