-
ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደት - Etch ቴክኖሎጂ
ዋፈርን ወደ ሴሚኮንዳክተር ለመቀየር በመቶዎች የሚቆጠሩ ሂደቶች ያስፈልጋሉ። በጣም አስፈላጊ ከሆኑት ሂደቶች ውስጥ አንዱ ማሳከክ ነው - ማለትም ፣ በ wafer ላይ ጥሩ የወረዳ ቅጦችን መቅረጽ። የማሳከክ ሂደት ስኬት የሚወሰነው በተዘጋጀው የስርጭት ክልል ውስጥ የተለያዩ ተለዋዋጮችን በማስተዳደር ላይ ነው፣ እና እያንዳንዱ ኢቲንግ...ተጨማሪ ያንብቡ -
በፕላዝማ ማሳጠፊያ መሳሪያዎች ውስጥ ለትኩረት ቀለበቶች ተስማሚ ቁሳቁስ፡ ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ)
በፕላዝማ ኢቲንግ መሳሪያዎች ውስጥ, የሴራሚክ ክፍሎች የትኩረት ቀለበትን ጨምሮ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ. በቫፈር ዙሪያ የተቀመጠው እና ከሱ ጋር በቀጥታ የሚገናኘው የትኩረት ቀለበት, ፕላዝማውን ወደ ቀለበቱ ላይ በማተኮር በቮልቴጅ ላይ በማተኮር አስፈላጊ ነው. ይህ ሁኔታን ያሻሽላል ...ተጨማሪ ያንብቡ -
የመስመር መጨረሻ (FEOL)፡ መሰረቱን መጣል
የማምረቻው መስመር ፊት ለፊት ያለው ጫፍ መሰረቱን እንደ መጣል እና የቤቱን ግድግዳዎች እንደ መገንባት ነው. በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ, ይህ ደረጃ በሲሊኮን ዋፈር ላይ መሰረታዊ መዋቅሮችን እና ትራንዚስተሮችን መፍጠርን ያካትታል. የFEOL ቁልፍ ደረጃዎች፡-...ተጨማሪ ያንብቡ -
የሲሊኮን ካርቦይድ ነጠላ ክሪስታል ሂደት በዋፈር ወለል ጥራት ላይ ያለው ውጤት
ሴሚኮንዳክተር ሃይል መሳሪያዎች በሃይል ኤሌክትሮኒክስ ስርዓቶች ውስጥ ዋና ቦታን ይይዛሉ ፣ በተለይም እንደ አርቲፊሻል ኢንተለጀንስ ፣ 5ጂ ግንኙነቶች እና አዲስ የኢነርጂ ተሽከርካሪዎች ያሉ ቴክኖሎጂዎች ፈጣን ልማት አውድ ውስጥ ለእነሱ የአፈፃፀም መስፈርቶች ነበሩ…ተጨማሪ ያንብቡ -
ለሲሲ እድገት ቁልፍ ዋና ቁሳቁስ: የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን
በአሁኑ ጊዜ የሶስተኛው ትውልድ ሴሚኮንዳክተሮች በሲሊኮን ካርቦይድ ቁጥጥር ስር ናቸው. በመሳሪያዎቹ የዋጋ መዋቅር ውስጥ ፣ የ substrate 47% ፣ እና ኤፒታክሲ 23% ይይዛል። ሁለቱ በአንድ ላይ 70% ያህሉ ናቸው, ይህም የሲሊኮን ካርቦይድ መሳሪያ ማኑፋክቸሪንግ በጣም አስፈላጊ አካል ነው ...ተጨማሪ ያንብቡ -
የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ያላቸው ምርቶች የቁሳቁሶችን የዝገት መቋቋም እንዴት ይጨምራሉ?
የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን የቁሳቁሶችን የዝገት መቋቋም በእጅጉ የሚያሻሽል በተለምዶ ጥቅም ላይ የሚውል የገጽታ ህክምና ቴክኖሎጂ ነው። የታንታለም ካርቦዳይድ ሽፋን በተለያዩ የዝግጅት ዘዴዎች ለምሳሌ በኬሚካል ትነት ክምችት፣ በፊዚካ...ተጨማሪ ያንብቡ -
ትላንት፣ የሳይንስ እና ቴክኖሎጂ ፈጠራ ቦርድ የHuazhuo Precision ቴክኖሎጂ አይፒኦውን ማቋረጡን ማስታወቂያ አውጥቷል።
ልክ ቻይና ውስጥ የመጀመሪያው 8-ኢንች SIC የሌዘር annealing መሣሪያዎች ማድረስ አስታወቀ, ይህም ደግሞ Tsinghua ቴክኖሎጂ ነው; ለምን ቁሳቁሶቹን ራሳቸው ያወጡት? ጥቂት ቃላት ብቻ: በመጀመሪያ, ምርቶቹ በጣም የተለያዩ ናቸው! በመጀመሪያ እይታ ምን እንደሚሰሩ አላውቅም። በአሁኑ ጊዜ ኤች...ተጨማሪ ያንብቡ -
ሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን-2
የሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሽፋን 1. ለምን የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን አለ ኤፒታክሲያል ንብርብር በ epitaxial ሂደት በኩል በ wafer መሰረት የሚበቅል ልዩ ነጠላ ክሪስታል ቀጭን ፊልም ነው. የ substrate wafer እና epitaxial ስስ ፊልም በጋራ ኤፒታክሲያል wafers ይባላሉ. ከነሱ መካከል የ...ተጨማሪ ያንብቡ -
የ SIC ሽፋን ዝግጅት ሂደት
በአሁኑ ጊዜ የሲሲ ሽፋን የማዘጋጀት ዘዴዎች በዋናነት ጄል-ሶል ዘዴን, የመክተቻ ዘዴን, የብሩሽ ሽፋን ዘዴን, የፕላዝማ መርጫ ዘዴን, የኬሚካል የእንፋሎት ምላሽ ዘዴ (CVR) እና የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ ዘዴ (CVD) ያካትታሉ. የመክተት ዘዴ ይህ ዘዴ ከፍተኛ ሙቀት ያለው ጠንካራ-ደረጃ ዓይነት ነው ...ተጨማሪ ያንብቡ -
ሲቪዲ የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን-1
ሲቪዲ ሲሲ ምንድን ነው የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD) ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው ጠንካራ ቁሶችን ለማምረት የሚያገለግል የቫኩም ክምችት ሂደት ነው። ይህ ሂደት ብዙውን ጊዜ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስክ ላይ ቀጭን ፊልሞችን በቫፈርስ ላይ ለመሥራት ያገለግላል. ሲሲሲ በሲቪዲ በማዘጋጀት ሂደት ውስጥ ንጣፉ ኤክስፕረስ ነው…ተጨማሪ ያንብቡ -
በሲሲ ክሪስታል ውስጥ ያለው የመፈናቀል አወቃቀሩን በጨረር ፍለጋ ሲሙሌሽን በኤክስ ሬይ ቶፖሎጂካል ምስል በመታገዝ ትንተና
የምርምር ዳራ የሲሊኮን ካርቦዳይድ (ሲሲ) የትግበራ አስፈላጊነት፡- እንደ ሰፊ ባንድጋፕ ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ፣ ሲሊከን ካርቦይድ እጅግ በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ ባህሪያቶቹ (እንደ ትልቅ ባንድጋፕ፣ ከፍተኛ የኤሌክትሮን ሙሌት ፍጥነት እና የሙቀት አማቂነት) ከፍተኛ ትኩረትን ስቧል። እነዚህ ፕሮፖዛል...ተጨማሪ ያንብቡ -
በሲሲ ነጠላ ክሪስታል እድገት ውስጥ የዘር ክሪስታል የማዘጋጀት ሂደት 3
የእድገት ማረጋገጫ የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ዘር ክሪስታሎች የተዘጋጁት የተዘረዘረውን ሂደት ተከትሎ እና በሲሲ ክሪስታል እድገት የተረጋገጠ ነው። ጥቅም ላይ የዋለው የእድገት መድረክ በ 2200 ℃ የእድገት ሙቀት ፣ የ 200 ፓ የእድገት ግፊት እና የእድገት ግፊት ያለው በራስ-የተሰራ ሲሲ ኢንዳክሽን እድገት እቶን ነበር።ተጨማሪ ያንብቡ