የተለመዱ የ TaC የተሸፈኑ ግራፋይት ክፍሎች የዝግጅት ዘዴ

ክፍል/1
የሲቪዲ (የኬሚካል የእንፋሎት ማስቀመጫ) ዘዴ፡
በ900-2300℃፣ TaClን በመጠቀም₅እና CnHm እንደ ታንታለም እና የካርቦን ምንጮች፣ H₂ እንደ ከባቢ አየር መቀነስ፣ የአር₂as ተሸካሚ ጋዝ፣ የምላሽ ማስቀመጫ ፊልም። የተዘጋጀው ሽፋን የታመቀ, ተመሳሳይ እና ከፍተኛ ንፅህና ነው. ይሁን እንጂ እንደ ውስብስብ ሂደት, ውድ ዋጋ, አስቸጋሪ የአየር ፍሰት ቁጥጥር እና ዝቅተኛ የማስቀመጫ ቅልጥፍና የመሳሰሉ አንዳንድ ችግሮች አሉ.
ክፍል/2
የጭስ ማውጫ ዘዴ;
የካርቦን ምንጭ፣ ታንታለም ምንጭ፣ ዲስፐርሰንት እና ማያያዣ ያለው ዝቃጭ በግራፋይት ላይ ተሸፍኖ ከደረቀ በኋላ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ተጣብቋል። የተዘጋጀው ሽፋን ያለ መደበኛ አቅጣጫ ያድጋል, አነስተኛ ዋጋ ያለው እና ለትልቅ ምርት ተስማሚ ነው. በትልቁ ግራፋይት ላይ አንድ ወጥ እና ሙሉ ሽፋን ለማግኘት ፣ የድጋፍ ጉድለቶችን ለማስወገድ እና የሽፋን ትስስር ኃይልን ለማሻሻል መፈተሽ ይቀራል።
ክፍል/3
ፕላዝማ የሚረጭ ዘዴ;
የTaC ዱቄት በፕላዝማ ቅስት በከፍተኛ ሙቀት ይቀልጣል፣ በከፍተኛ ፍጥነት ባለው ጄት ወደ ከፍተኛ የሙቀት ጠብታዎች ተደርገዋል እና በግራፋይት ቁሳቁስ ወለል ላይ ይረጫል። በቫኪዩም ባልሆነው ስር የኦክሳይድ ንብርብር ለመፍጠር ቀላል ነው, እና የኃይል ፍጆታው ትልቅ ነው.

 

ምስል. በGaN epitaxial አድጓል MOCVD መሣሪያ (Veeco P75) ውስጥ ከተጠቀሙ በኋላ Wafer ትሪ። በግራ በኩል ያለው በ TaC የተሸፈነ ሲሆን በቀኝ በኩል ያለው ደግሞ በሲሲ የተሸፈነ ነው.

TaC የተሸፈነግራፋይት ክፍሎችን መፍታት ያስፈልጋል

ክፍል/1
አስገዳጅ ኃይል;
በ TaC እና በካርቦን ቁሳቁሶች መካከል ያለው የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት እና ሌሎች አካላዊ ባህሪያት የተለያዩ ናቸው, የሽፋኑ የመገጣጠም ጥንካሬ ዝቅተኛ ነው, ስንጥቆችን, ቀዳዳዎችን እና የሙቀት ጭንቀትን ለማስወገድ አስቸጋሪ ነው, እና ሽፋኑ ብስባሽ እና ብስባሽ በያዘው ትክክለኛ ከባቢ አየር ውስጥ በቀላሉ ለመላጠ ቀላል ነው. ተደጋጋሚ የመጨመር እና የማቀዝቀዝ ሂደት.
ክፍል/2
ንጽህና፡
የ TaC ሽፋንበከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ያሉ ቆሻሻዎችን እና ብክለትን ለማስወገድ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና መሆን አለበት ፣ እና በውጤታማነት የይዘት ደረጃዎች እና የነፃ ካርቦን እና ውስጣዊ ቆሻሻዎች ላይ ላዩን እና ሙሉ ሽፋን ላይ ያለውን የባህሪይ ደረጃዎች ስምምነት ላይ መድረስ ያስፈልጋል።
ክፍል/3
መረጋጋት፡
ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም እና ከ 2300 ℃ በላይ የኬሚካላዊ ከባቢ አየር መቋቋም የሽፋኑን መረጋጋት ለመፈተሽ በጣም አስፈላጊዎቹ አመልካቾች ናቸው. የፒንሆሎች፣ ስንጥቆች፣ የጎደሉ ማዕዘኖች እና ነጠላ አቅጣጫ የእህል ድንበሮች በቀላሉ የሚበላሹ ጋዞች ወደ ግራፋይት ውስጥ ዘልቀው እንዲገቡ ለማድረግ ቀላል ሲሆን ይህም የሽፋን መከላከያ ውድቀትን ያስከትላል።
ክፍል/4
የኦክሳይድ መቋቋም;
TaC ከ 500 ℃ በላይ በሚሆንበት ጊዜ ወደ Ta2O5 ኦክሳይድ ይጀምራል ፣ እና የሙቀት መጠን እና የኦክስጂን ትኩረትን በመጨመር የኦክሳይድ መጠኑ በከፍተኛ ሁኔታ ይጨምራል። የላይኛው ኦክሳይድ የሚጀምረው ከጥራጥሬ ድንበሮች እና ከትንሽ እህሎች ነው, እና ቀስ በቀስ አምድ ክሪስታሎች እና የተሰበሩ ክሪስታሎች ይፈጥራል, በዚህም ምክንያት ብዙ ክፍተቶች እና ጉድጓዶች, እና ሽፋኑ እስኪነቀል ድረስ የኦክስጂን ሰርጎ መግባት እየጠነከረ ይሄዳል. የተፈጠረው የኦክሳይድ ንብርብር ደካማ የሙቀት አማቂነት እና በመልክ የተለያዩ ቀለሞች አሉት።
ክፍል/5
ወጥነት እና ሸካራነት;
የሽፋኑ ወለል ያልተስተካከለ ስርጭት ወደ አካባቢያዊ የሙቀት ጭንቀት ትኩረትን ያስከትላል ፣ ይህም የመሰባበር እና የመጥፋት አደጋን ይጨምራል። በተጨማሪም የወለል ንጣፉ በቀጥታ በሽፋኑ እና በውጫዊው አካባቢ መካከል ያለውን መስተጋብር ይነካል ፣ እና በጣም ከፍተኛ ሻካራነት በቀላሉ ከዋፈር እና ያልተስተካከለ የሙቀት መስክ ጋር ግጭትን ያስከትላል።
ክፍል/6
የእህል መጠን:
ተመሳሳይነት ያለው የእህል መጠን የሽፋኑን መረጋጋት ይረዳል. የእህል መጠኑ ትንሽ ከሆነ, ማሰሪያው ጥብቅ አይደለም, እና በቀላሉ ኦክሳይድ እና መበስበስ ቀላል ነው, በዚህም ምክንያት ብዙ ቁጥር ያላቸው ስንጥቆች እና ቀዳዳዎች በጥራጥሬ ጠርዝ ላይ, ይህም የሽፋኑን የመከላከያ አፈፃፀም ይቀንሳል. የእህል መጠኑ በጣም ትልቅ ከሆነ, በአንፃራዊነት ሸካራ ነው, እና ሽፋኑ በሙቀት ውጥረት ውስጥ በቀላሉ ለመቦርቦር ቀላል ነው.