የ SIC ሽፋን ዝግጅት ሂደት

በአሁኑ ጊዜ የዝግጅት ዘዴዎችየሲሲ ሽፋንበዋናነት ጄል-ሶል ዘዴን፣ የመክተት ዘዴን፣ የብሩሽ ሽፋን ዘዴን፣ ፕላዝማን የሚረጭ ዘዴ፣ የኬሚካል ትነት ምላሽ ዘዴ (CVR) እና የኬሚካል የእንፋሎት ማስቀመጫ ዘዴ (CVD) ያካትታሉ።

የመክተት ዘዴ
ይህ ዘዴ ከፍተኛ ሙቀት ያለው ጠንካራ-ደረጃ sintering አይነት ነው, ይህም በዋናነት Si powder እና C ዱቄት እንደ መክተቻ ዱቄት ይጠቀማል, ቦታዎችግራፋይት ማትሪክስበመክተቻው ዱቄት ውስጥ, እና በማይነቃነቅ ጋዝ ውስጥ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የሲንሰሮች, እና በመጨረሻም ያገኛልየሲሲ ሽፋንበግራፍ ማትሪክስ ወለል ላይ. ይህ ዘዴ በሂደቱ ውስጥ ቀላል ነው, እና ሽፋኑ እና ማትሪክስ በጥሩ ሁኔታ የተሳሰሩ ናቸው, ነገር ግን በወፍራው አቅጣጫ ላይ ያለው የሽፋን ተመሳሳይነት ደካማ ነው, እና ብዙ ቀዳዳዎችን ለማምረት ቀላል ነው, ይህም ደካማ የኦክሳይድ መከላከያን ያስከትላል.

ብሩሽ ሽፋን ዘዴ
የብሩሽ መሸፈኛ ዘዴ በዋነኛነት ፈሳሹን ጥሬ እቃ በግራፋይት ማትሪክስ ወለል ላይ ይቦረሽራል፣ ከዚያም ሽፋኑን ለማዘጋጀት ጥሬ እቃውን በተወሰነ የሙቀት መጠን ያጠናክራል። ይህ ዘዴ በሂደት ቀላል እና ዋጋው ዝቅተኛ ነው, ነገር ግን በብሩሽ ማቅለጫ ዘዴ የሚዘጋጀው ሽፋን ከማትሪክስ ጋር ደካማ ትስስር, ደካማ ሽፋን ተመሳሳይነት, ቀጭን ሽፋን እና ዝቅተኛ የኦክሳይድ መከላከያ እና ሌሎች የእርዳታ ዘዴዎችን ይፈልጋል.

ፕላዝማ የሚረጭ ዘዴ
ፕላዝማ የሚረጭበት ዘዴ በዋናነት የፕላዝማ ሽጉጥ የሚጠቀመው ቀልጠው ወይም ከፊል የቀለጠ ጥሬ ዕቃዎችን በግራፋይት ንኡስ ክፍል ላይ ለመርጨት እና ከዚያም በማጠናከር እና በማያያዝ ሽፋን ይፈጥራል። ይህ ዘዴ ለመሥራት ቀላል እና በአንጻራዊነት ጥቅጥቅ ያለ ማዘጋጀት ይችላልየሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን፣ ግን የየሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋንበዚህ ዘዴ የሚዘጋጀው ብዙውን ጊዜ ጠንካራ የኦክስዲሽን መከላከያ እንዲኖረው በጣም ደካማ ነው, ስለዚህ በአጠቃላይ የሽፋኑን ጥራት ለማሻሻል የ SiC ድብልቅ ሽፋኖችን ለማዘጋጀት ጥቅም ላይ ይውላል.

ጄል-ሶል ዘዴ
የጄል-ሶል ዘዴ በዋናነት አንድ ወጥ እና ግልጽ የሆነ የሶል መፍትሄ በማዘጋጀት የንጥረቱን ወለል ለመሸፈን ፣ ወደ ጄል ያደርቃል እና ከዚያም ሽፋን ለማግኘት ያጥሉት። ይህ ዘዴ ለመሥራት ቀላል እና አነስተኛ ዋጋ ያለው ነው, ነገር ግን የተዘጋጀው ሽፋን እንደ ዝቅተኛ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም እና ቀላል ስንጥቅ ያሉ ጉዳቶች አሉት, እና በስፋት ጥቅም ላይ ሊውል አይችልም.

ኬሚካዊ የእንፋሎት ምላሽ ዘዴ (CVR)
ሲቪአር በዋናነት ሲ እና ሲኦ2 ዱቄት በከፍተኛ ሙቀት በመጠቀም የሲኦ ትነት ያመነጫል፣ እና የሲሲ ሽፋን ለመፍጠር ተከታታይ ኬሚካላዊ ግብረመልሶች በሲ ቁስ አካል ላይ ይከሰታሉ። በዚህ ዘዴ የሚዘጋጀው የሲሲ ሽፋን ከንጣፉ ጋር በጥብቅ የተያያዘ ነው, ነገር ግን የምላሽ ሙቀት ከፍተኛ ነው እና ዋጋውም ከፍተኛ ነው.