የሲሊኮን ካርቦይድ ቫፈር የማምረት ሂደት

የሲሊኮን ካርቦይድ ዋፈርከፍተኛ ንፅህና ካለው የሲሊኮን ዱቄት እና ከፍተኛ ንፅህና ያለው የካርቦን ዱቄት እንደ ጥሬ እቃ የተሰራ ነው፣ እና ሲሊከን ካርቦዳይድ ክሪስታል የሚበቅለው በአካላዊ የእንፋሎት ማስተላለፊያ ዘዴ (PVT) ነው እና ወደ ውስጥ ተሰራ።የሲሊኮን ካርቦይድ ዋፈር.

① የጥሬ ዕቃ ውህደት። ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሊኮን ዱቄት እና ከፍተኛ የንፅህና የካርቦን ዱቄት በተወሰነ ሬሾ መሰረት ተቀላቅለዋል፣ እና የሲሊኮን ካርቦዳይድ ቅንጣቶች በከፍተኛ ሙቀት ከ2,000℃ በላይ ተዋህደዋል። ከተፈጨ ፣ ከጽዳት እና ሌሎች ሂደቶች በኋላ ክሪስታል እድገትን የሚያሟላ ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት ጥሬ ዕቃዎች ይዘጋጃሉ።

② ክሪስታል እድገት. ከፍተኛ ንፅህና SIC ዱቄትን እንደ ጥሬ እቃ በመጠቀም፣ ክሪስታል ያደገው በራስ-የተሰራ ክሪስታል የእድገት እቶን በመጠቀም በአካላዊ የእንፋሎት ማስተላለፊያ (PVT) ዘዴ ነው።

③ ingot ሂደት. የተገኘው የሲሊኮን ካርቦዳይድ ክሪስታል ኢንጎት በኤክስ ሬይ ነጠላ ክሪስታል ኦሬንቴተር ተመርቷል፣ ከዚያም መሬት እና ተንከባሎ፣ እና ወደ መደበኛ ዲያሜትር ሲሊኮን ካርቦዳይድ ክሪስታል ተሰራ።

④ ክሪስታል መቁረጥ. ባለብዙ መስመር መቁረጫ መሳሪያዎችን በመጠቀም, የሲሊኮን ካርቦይድ ክሪስታሎች ከ 1 ሚሊ ሜትር ያልበለጠ ውፍረት ባለው ቀጭን ቅጠሎች የተቆራረጡ ናቸው.

⑤ ቺፕ መፍጨት። ቫፈር የሚፈለገው ጠፍጣፋ እና ሻካራነት የተለያየ መጠን ያላቸው የአልማዝ መፍጨት ፈሳሾችን በመጠቀም ነው።

⑥ ቺፕ ማጥራት የተወለወለው የሲሊኮን ካርቦዳይድ ጉዳት ሳይደርስበት በሜካኒካል ማቅለሚያ እና በኬሚካል ሜካኒካል ማቅለሚያ ተገኝቷል.

⑦ ቺፕ ማወቂያ. የማይክሮቱቡል እፍጋቱን፣የክሪስታል ጥራቱን፣የገጽታውን ሸካራነት፣resistivity፣warpage፣curvatureን ለመለየት የጨረር ማይክሮስኮፕ፣ኤክስሬይ ዲፍራክቶሜትር፣የአቶሚክ ሃይል ማይክሮስኮፕ፣የማይነካ ተከላካይነት ሞካሪ፣የገጽታ ጠፍጣፋ ሞካሪ፣የገጽታ ጉድለት አጠቃላይ ሞካሪ እና ሌሎች መሳሪያዎችን እና መሳሪያዎችን ይጠቀሙ። ውፍረት ለውጥ, የወለል ጭረት እና የሲሊኮን ካርቦይድ wafer ሌሎች መለኪያዎች. በዚህ መሠረት የቺፑ ጥራት ደረጃ ይወሰናል.

⑧ ቺፕ ማጽዳት. የሲሊኮን ካርቦዳይድ ማጽጃ ወረቀት በንፁህ ውሃ እና በንፁህ ውሃ ይጸዳል ፣ ቀሪውን የሚያብረቀርቅ ፈሳሽ እና ሌላ የገጽታ ቆሻሻ በፖሊሺንግ ሉህ ላይ ያስወግዳል ፣ ከዚያም ቫፈር በጣም ከፍተኛ በሆነ ንፅህና ናይትሮጅን እና ማድረቂያ ማሽን ይንቀጠቀጣል ። ዋፈርው በንፁህ የሉህ ሳጥን ውስጥ እጅግ በጣም ንፁህ በሆነ ክፍል ውስጥ ተሸፍኗል የታችኛው ተፋሰስ ለአገልግሎት ዝግጁ የሆነ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ዋፈር።

የቺፑ መጠኑ ሰፋ ባለ መጠን ፣ተዛማጁ ክሪስታል እድገት እና ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ የበለጠ አስቸጋሪ እና የታችኛው ተፋሰስ መሳሪያዎች የማምረት ብቃት ከፍ ባለ መጠን የንጥሉ ዋጋ ይቀንሳል።