ቺፕ ለመፍጠር ከተካተቱት ሁሉም ሂደቶች የመጨረሻው እጣ ፈንታዋፈርበግለሰብ ዳይ ተቆርጦ በትናንሽ እና የታሸጉ ሣጥኖች ውስጥ ጥቂት ፒን ብቻ የተጋለጡ። ቺፑ የሚገመገመው በገደቡ፣በመቋቋም፣በአሁኑ እና በቮልቴጅ እሴቶቹ ላይ ነው፣ነገር ግን ማንም ሰው መልኩን አይመለከትም። በማምረት ሂደት ውስጥ, አስፈላጊውን እቅድ ለማውጣት, በተለይም ለእያንዳንዱ የፎቶሊተግራፊ ደረጃ, ቫፈርን በተደጋጋሚ እናጸዳለን. የዋፈርገጽ እጅግ በጣም ጠፍጣፋ መሆን አለበት ምክንያቱም ቺፕ የማምረት ሂደቱ እየቀነሰ ሲሄድ የፎቶሊተግራፊ ማሽን መነፅር የሌንስ የቁጥር ክፍተትን (NA) በመጨመር የናኖሜትር መለኪያን ማግኘት ያስፈልገዋል። ሆኖም ይህ በአንድ ጊዜ የትኩረት ጥልቀትን ይቀንሳል (DoF)። የትኩረት ጥልቀት የሚያመለክተው የኦፕቲካል ስርዓቱ ትኩረትን የሚጠብቅበትን ጥልቀት ነው. የፎቶሊቶግራፊ ምስል ግልጽ እና በትኩረት መቆየቱን ለማረጋገጥ, የገጽታ ልዩነቶችዋፈርበትኩረት ጥልቀት ውስጥ መውደቅ አለበት.
በቀላል አነጋገር፣ የፎቶሊቶግራፊ ማሽን የምስል ትክክለኛነትን ለማሻሻል የማተኮር ችሎታን ይከፍላል። ለምሳሌ፣ አዲሱ ትውልድ EUV ፎቶሊቶግራፊ ማሽኖች የቁጥር ክፍተት 0.55 ነው፣ ነገር ግን አቀባዊ የትኩረት ጥልቀት 45 ናኖሜትሮች ብቻ ነው፣ በፎቶሊተግራፊ ወቅት በጣም ትንሽ የሆነ የምስል ወሰን ያለው። ከሆነዋፈርጠፍጣፋ ያልሆነ፣ ያልተስተካከለ ውፍረት ወይም የገጽታ ግርዶሽ ያለው፣ በፎቶሊተግራፊ ወቅት በከፍተኛ እና ዝቅተኛ ቦታዎች ላይ ችግር ይፈጥራል።
ለስላሳ የሚያስፈልገው ሂደት የፎቶሊቶግራፊ ብቻ አይደለም።ዋፈርላዩን። ሌሎች ብዙ የቺፕ ማምረቻ ሂደቶች እንዲሁ የቫፈር ፖሊሽን ያስፈልጋቸዋል። ለምሳሌ፣ ከእርጥብ ማሳከክ በኋላ፣ ለቀጣይ ሽፋን እና አቀማመጥ ሸካራውን ወለል ለማለስለስ መወልወል ያስፈልጋል። ጥልቀት ከሌለው ቦይ መነጠል (STI) በኋላ፣ ከመጠን በላይ የሆነውን ሲሊኮን ዳይኦክሳይድን ለማለስለስ እና የጉድጓዱን ሙሌት ለማጠናቀቅ ማፅዳት ያስፈልጋል። ከብረት ከተቀማጭ በኋላ, ከመጠን በላይ የብረት ሽፋኖችን ለማስወገድ እና የመሳሪያውን አጭር ዑደት ለመከላከል ማቅለም ያስፈልጋል.
ስለዚህ የቺፕ መወለድ የቫፈርን ሸካራነት እና የገጽታ ልዩነቶችን ለመቀነስ እና ከመጠን በላይ ቁሳቁሶችን ለማስወገድ ብዙ የማጥራት እርምጃዎችን ያካትታል። በተጨማሪም፣ በዋፈር ላይ በተለያዩ የሂደት ችግሮች ምክንያት የሚመጡ የገጽታ ጉድለቶች ብዙ ጊዜ የሚታዩት ከእያንዳንዱ የማጥራት ደረጃ በኋላ ብቻ ነው። ስለዚህ፣ የጽዳት ኃላፊነት ያለባቸው መሐንዲሶች ትልቅ ኃላፊነት አለባቸው። እነሱ በቺፕ ማምረቻ ሂደት ውስጥ ማዕከላዊ ምስሎች ናቸው እና ብዙውን ጊዜ በምርት ስብሰባዎች ውስጥ ተጠያቂ ናቸው ። በቺፕ ማምረቻ ውስጥ እንደ ዋና የማጥራት ዘዴዎች በሁለቱም እርጥብ ማሳከክ እና አካላዊ ውፅዓት ብቁ መሆን አለባቸው።
የዋፈር ማቅለሚያ ዘዴዎች ምንድ ናቸው?
በፖሊሺንግ ፈሳሽ እና በሲሊኮን ዋፈር ወለል መካከል ባለው መስተጋብር መርሆዎች ላይ በመመርኮዝ የማጥራት ሂደቶች በሦስት ዋና ዋና ምድቦች ሊከፈሉ ይችላሉ-
1. ሜካኒካል የፖሊንግ ዘዴ፡-
የሜካኒካል ማበጠር ለስላሳ ወለል ለመድረስ የተወለወለውን ወለል በመቁረጥ እና በፕላስቲክ መበላሸት ያስወግዳል። የተለመዱ መሳሪያዎች በዋናነት በእጅ የሚሰሩ የዘይት ድንጋዮች, የሱፍ ጎማዎች እና የአሸዋ ወረቀት ያካትታሉ. እንደ የሚሽከረከሩ አካላት ላይ ያሉ ልዩ ክፍሎች መታጠፊያዎችን እና ሌሎች ረዳት መሳሪያዎችን መጠቀም ይችላሉ። ከፍተኛ ጥራት ያላቸው መስፈርቶች ላሏቸው ወለሎች፣ እጅግ በጣም ጥሩ የማጥራት ዘዴዎችን መጠቀም ይቻላል። እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ ማጽጃ በልዩ ሁኔታ የተሰሩ የማጥቂያ መሳሪያዎችን ይጠቀማል ፣ እነሱም ብስባሽ በያዘ የሚያብረቀርቅ ፈሳሽ ፣ በስራው ላይ ባለው ወለል ላይ በጥብቅ ተጭነዋል እና በከፍተኛ ፍጥነት ይሽከረከራሉ። ይህ ዘዴ የ Ra0.008μm የገጽታ ሸካራነት ማሳካት ይችላል፣ ይህም ከሁሉም የጽዳት ዘዴዎች መካከል ከፍተኛው ነው። ይህ ዘዴ ለኦፕቲካል ሌንስ ሻጋታዎች በብዛት ጥቅም ላይ ይውላል.
2. የኬሚካል መጥረጊያ ዘዴ፡-
የኬሚካል ማቅለጫ በኬሚካላዊ ማእከላዊው ውስጥ ባለው ቁስ አካል ላይ የሚገኙትን ጥቃቅን ፕሮቲዮሽኖች በቅድመ-መሟሟት ያካትታል, በዚህም ምክንያት ለስላሳ ገጽታ. የዚህ ዘዴ ዋና ጥቅሞች ውስብስብ መሣሪያዎችን አለመፈለግ ፣ ውስብስብ ቅርፅ ያላቸውን የስራ ክፍሎች የማጥራት ችሎታ እና ብዙ የስራ ክፍሎችን በአንድ ጊዜ በከፍተኛ ብቃት የማጥራት ችሎታ ናቸው። የኬሚካል ማቅለሚያ ዋናው ጉዳይ የማጣራት ፈሳሽ መፈጠር ነው. በኬሚካላዊ ማጣሪያ የተገኘው የገጽታ ሸካራነት ብዙ አሥር ማይሚሜትሮች ነው።
3. የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊንግ (ሲኤምፒ) ዘዴ፡-
እያንዳንዳቸው የመጀመሪያዎቹ ሁለት የማጥራት ዘዴዎች ልዩ ጥቅሞች አሏቸው. እነዚህን ሁለት ዘዴዎች በማጣመር በሂደቱ ውስጥ ተጨማሪ ውጤቶችን ሊያገኙ ይችላሉ. ኬሚካላዊ ሜካኒካል ማቅለሚያ ሜካኒካል ግጭት እና የኬሚካል ዝገት ሂደቶችን ያጣምራል። በሲኤምፒ (CMP) ጊዜ፣ በፖሊሺንግ ፈሳሽ ውስጥ ያሉት ኬሚካላዊ ሪአጀንቶች የተጣራውን የከርሰ ምድር ንጥረ ነገር ኦክሳይድ በማድረግ ለስላሳ ኦክሳይድ ሽፋን ይፈጥራሉ። ይህ የኦክሳይድ ንብርብር በሜካኒካዊ ግጭት ይወገዳል. ይህንን ኦክሲዴሽን እና ሜካኒካል የማስወገድ ሂደትን መድገም ውጤታማ የጽዳት ስራን ያገኛል።
በኬሚካል ሜካኒካል ፖሊንግ (ሲኤምፒ) ላይ ያሉ ወቅታዊ ተግዳሮቶች እና ጉዳዮች፦
CMP በቴክኖሎጂ፣ በኢኮኖሚክስ እና በአካባቢያዊ ዘላቂነት ዙሪያ በርካታ ተግዳሮቶችን እና ጉዳዮችን አጋጥሞታል።
1) የሂደት ወጥነት፡ በሲኤምፒ ሂደት ውስጥ ከፍተኛ ወጥነት ያለው ስኬት ማግኘት ፈታኝ ነው። በተመሳሳዩ የማምረቻ መስመር ውስጥ እንኳን፣ በተለያዩ ባች ወይም መሳሪያዎች መካከል ያሉ የሂደት መለኪያዎች ጥቃቅን ልዩነቶች የመጨረሻውን ምርት ወጥነት ላይ ተጽዕኖ ሊያሳድሩ ይችላሉ።
2) ከአዳዲስ ቁሶች ጋር መላመድ፡- አዳዲስ ቁሳቁሶች ብቅ እያሉ ሲቀጥሉ፣የሲኤምፒ ቴክኖሎጂ ከባህሪያቸው ጋር መላመድ አለበት። አንዳንድ የላቁ ቁሶች ከባህላዊ የሲኤምፒ ሂደቶች ጋር ላይጣጣሙ ይችሉ ይሆናል፣ይህም የበለጠ የሚለምደዉ የሚያብረቀርቅ ፈሳሾች እና መጥረጊያዎች መፈልፈልን ይፈልጋሉ።
3) የመጠን ተፅእኖዎች፡- ሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ልኬቶች እየቀነሱ ሲሄዱ፣ በመጠን ተፅእኖዎች የተከሰቱ ጉዳዮች የበለጠ ጉልህ ይሆናሉ። አነስ ያሉ ልኬቶች ከፍ ያለ የገጽታ ጠፍጣፋ ያስፈልጋቸዋል፣ ይህም ይበልጥ ትክክለኛ የሲኤምፒ ሂደቶችን ይፈልጋል።
4) የቁሳቁስ ማስወገጃ ተመን ቁጥጥር፡- በአንዳንድ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ለተለያዩ እቃዎች የቁሳቁስ ማስወገጃ መጠን ትክክለኛ ቁጥጥር ወሳኝ ነው። ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን መሳሪያዎች ለማምረት በሲኤምፒ ወቅት በተለያዩ ንብርብሮች ላይ ወጥነት ያለው የማስወገጃ ዋጋ ማረጋገጥ አስፈላጊ ነው።
5) የአካባቢ ወዳጃዊነት፡ በሲኤምፒ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የሚያብረቀርቁ ፈሳሾች እና ቆሻሻዎች በአካባቢ ላይ ጎጂ የሆኑ ንጥረ ነገሮችን ሊይዙ ይችላሉ። የበለጠ ለአካባቢ ተስማሚ እና ዘላቂ የCMP ሂደቶች እና ቁሳቁሶች ምርምር እና ልማት አስፈላጊ ተግዳሮቶች ናቸው።
6) ኢንተለጀንስ እና አውቶሜሽን፡ የCMP ስርዓቶች የማሰብ ችሎታ እና አውቶሜሽን ደረጃ ቀስ በቀስ እየተሻሻለ ቢሆንም፣ አሁንም ውስብስብ እና ተለዋዋጭ የምርት አካባቢዎችን መቋቋም አለባቸው። የምርት ቅልጥፍናን ለማሻሻል ከፍተኛ አውቶሜሽን እና የማሰብ ችሎታ ያለው ክትትል ማድረግ ትኩረት ሊሰጠው የሚገባ ፈተና ነው።
7) የዋጋ ቁጥጥር፡- ሲኤምፒ ከፍተኛ መሳሪያዎችን እና የቁሳቁስ ወጪዎችን ያካትታል። የገበያውን ተወዳዳሪነት ለመጠበቅ የምርት ወጪን ለመቀነስ በሚጥሩበት ወቅት አምራቾች የሂደቱን አፈጻጸም ማሻሻል አለባቸው።
የልጥፍ ሰዓት፡- ሰኔ-05-2024