MOCVD Susceptor ምንድን ነው?

የMOCVDዘዴ በአሁኑ ጊዜ በኢንዱስትሪው ውስጥ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ነጠላ ክሪስታላይን ስስ ፊልሞችን ለማሳደግ ከሚጠቀሙት በጣም የተረጋጋ ሂደቶች ውስጥ አንዱ ነው ፣ ለምሳሌ ነጠላ-ደረጃ InGaN epilayers ፣ III-N ማቴሪያሎች እና ሴሚኮንዳክተር ፊልሞች ባለብዙ ኳንተም የውሃ ጉድጓዶች ያሉበት እና በ ውስጥ ትልቅ ጠቀሜታ አለው። ሴሚኮንዳክተር እና ኦፕቶኤሌክትሮኒካዊ መሳሪያዎችን ማምረት.

የየሲሲ ሽፋን MOCVD susceptorበሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የተሸፈነ ልዩ የዋፈር መያዣ ነውepitaxial በብረታ ብረት ኦርጋኒክ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (MOCVD) ሂደት ውስጥ እድገት.

የሲሲ ሽፋን በጣም ጥሩ የኬሚካላዊ መከላከያ እና የሙቀት መረጋጋት አለው, ይህም ለኤምኦሲቪዲ ተጠርጣሪዎች የኤፒታክሲያል የእድገት ሂደቶችን ለመጠየቅ ተስማሚ ምርጫ ያደርገዋል.

የMOCVD ሂደት ዋና አካል ተንጠልጣይ ሲሆን ይህም የተመረቱ ቀጭን ፊልሞች ተመሳሳይነት እና ጥራት ለማረጋገጥ ቁልፍ አካል ነው።

ተጠርጣሪ ምንድን ነው? ተጠርጣሪው በ MOCVD ሂደት ውስጥ ቀጭን ፊልም የተቀመጠበትን ንጣፍ ለመደገፍ እና ለማሞቅ የሚያገለግል ልዩ አካል ነው። የኤሌክትሮማግኔቲክ ኃይልን በመምጠጥ ወደ ሙቀት መለወጥ እና ሙቀቱን በንዑስ ፕላስተር ላይ በእኩል ማከፋፈልን ጨምሮ በርካታ ተግባራት አሉት። ይህ ወጥ የሆነ ማሞቂያ ለትክክለኛ ውፍረት እና ቅንብር አንድ አይነት ቀጭን ፊልሞችን ለማደግ አስፈላጊ ነው.

ተጎጂዎች ዓይነቶች:
1. ግራፋይት ተንጠልጣይ፡- የግራፋይት ጥርጣሬዎች ብዙውን ጊዜ በመከላከያ ንብርብር ተሸፍነዋል።ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ)በከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና መረጋጋት የሚታወቀው. የየሲሲ ሽፋንበከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ዝገትን እና መበላሸትን የሚቋቋም ጠንካራ ፣ ተከላካይ ንጣፍ ይሰጣል።

2. የሲሊኮን ካርቦዳይድ (ሲሲ) ተጠቂዎች፡- እነዚህ ተጠርጣሪዎች ሙሉ በሙሉ ከሲሲ የተሠሩ እና በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት እና የመቋቋም ችሎታ ያላቸው ናቸው። የሲሲ ሱሰሮች በተለይ ለከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች እና ለቆሸሸ አካባቢዎች ተስማሚ ናቸው.

ተጠርጣሪዎች በMOCVD ውስጥ እንዴት እንደሚሠሩ፡-

በMOCVD ሂደት ውስጥ ቀዳሚዎች ወደ ምላሽ ክፍሉ ውስጥ እንዲገቡ ይደረጋሉ እና በስብስብ ላይ ቀጭን ፊልም ለመመስረት ምላሽ ይሰጣሉ. ተንሳፋፊው ንጣፉ በእኩል መጠን እንዲሞቅ በማረጋገጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል, ይህም በመላው የከርሰ ምድር ወለል ላይ ተከታታይ የፊልም ባህሪያትን ለማግኘት በጣም አስፈላጊ ነው. የሱሲው ቁሳቁስ እና ዲዛይን እንደ የሙቀት መጠን እና የኬሚካል ተኳሃኝነት ያሉ ልዩ ልዩ መስፈርቶችን ለማሟላት በጥንቃቄ የተመረጡ ናቸው.

ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ተባዮች የመጠቀም ጥቅሞች-
• የተሻሻለ የፊልም ጥራት፡- ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭትን በማቅረብ ተጎጂው ተከታታይ ውፍረት እና ቅንብር ያላቸው ፊልሞችን ለማግኘት ይረዳል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አፈጻጸም ወሳኝ ነው።
• የተሻሻለ የሂደት ቅልጥፍና፡ ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ተጠርጣሪዎች የጉዳት እድሎችን በመቀነስ እና ጥቅም ላይ የሚውሉ ፊልሞችን ምርት በመጨመር የMOCVD ሂደትን አጠቃላይ ውጤታማነት ይጨምራሉ።
• የህይወት ዘመን እና አስተማማኝነት፡- እንደ ሲሲ ካሉ ዘላቂ ቁሶች የተሰሩ ተጠርጣሪዎች የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ያረጋግጣሉ እና የጥገና ወጪን ይቀንሳሉ።

ተጠርጣሪው በMOCVD ሂደት ውስጥ ወሳኝ አካል ነው እና በቀጥታ ቀጭን የፊልም ማስቀመጫ ጥራት እና ቅልጥፍናን ይነካል. ስለሚገኙ መጠኖች፣ የMOCVD ተጠርጣሪዎች እና ዋጋዎች የበለጠ መረጃ ለማግኘት እባክዎ እኛን ለማነጋገር አያመንቱ። የእኛ መሐንዲሶች ተስማሚ በሆኑ ቁሳቁሶች ላይ ለመምከር እና ሁሉንም ጥያቄዎችዎን ለመመለስ ደስተኞች ይሆናሉ.

ስልክ: + 86-13373889683
WhatsApp: + 86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com