MOCVD Susceptor ምንድን ነው?

የብረት-ኦርጋኒክ ኬሚካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (MOCVD) በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ቀጫጭን ፊልሞች በንጥረ ነገሮች ላይ በሚቀመጡበት ወሳኝ ሂደት ነው። የMOCVD ሂደት ቁልፍ አካል ተጠቂ ነው፣ የተመረቱትን ፊልሞች ተመሳሳይነት እና ጥራት ለማረጋገጥ ወሳኝ ሚና የሚጫወተው ወሳኝ አካል ነው።

Susceptor ምንድን ነው? ተንጠልጣይ በMOCVD ሂደት ውስጥ ቀጭን ፊልሞች የሚቀመጡበትን ንጣፍ ለመደገፍ እና ለማሞቅ የሚያገለግል ልዩ አካል ነው። የኤሌክትሮማግኔቲክ ኃይልን በመምጠጥ ፣ ወደ ሙቀት መለወጥ እና ይህንን ሙቀትን በንዑስ ፕላስቲቱ ውስጥ በተመሳሳይ መልኩ ማሰራጨትን ጨምሮ በርካታ ተግባራትን ያገለግላል። ይህ ወጥ የሆነ ማሞቂያ ለትክክለኛ ውፍረት እና ቅንብር ተመሳሳይ የሆኑ ፊልሞችን ለማደግ አስፈላጊ ነው.

የነቀርሳ ዓይነቶች:
1. ግራፋይት ሱስሴፕተሮች፡- በተለምዶ በመከላከያ ንብርብር ተሸፍኗል፣ ለምሳሌሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ), ግራፋይት ጥርጣሬዎች በከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና መረጋጋት ይታወቃሉ. የየሲሲ ሽፋንበከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ዝገትን እና መበላሸትን የሚቋቋም ጠንካራ ፣ ተከላካይ ንጣፍ ይሰጣል።

2. የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ጠርሙሶችእነዚህ ሙሉ በሙሉ ከሲሲ የተሰሩ ናቸው, ይህም እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት እና የመልበስ እና የመቀደድ መቋቋምን ያቀርባል.የሲሲ ተጠቂዎችበተለይ ለከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች እና ለቆሸሸ አካባቢዎች ተስማሚ ናቸው.
እንዴትተጠቂዎችበMOCVD ውስጥ መሥራት፡-

በMOCVD ሂደት ውስጥ ቀዳሚዎች ወደ ሬአክተር ክፍል ውስጥ እንዲገቡ ይደረጋሉ, እነሱ መበስበስ እና ምላሽ በሚሰጡበት ቦታ ላይ ቀጭን ፊልም ይፈጥራሉ. ተንሳፋፊው ንጣፉ አንድ ወጥ በሆነ መልኩ እንዲሞቅ በማድረግ ወሳኝ ሚና ይጫወታል ይህም በጠቅላላው የከርሰ ምድር ወለል ላይ ወጥ የሆነ የፊልም ባህሪያትን ለማግኘት በጣም አስፈላጊ ነው። የተጠረጠረው ቁሳቁስ እና ዲዛይን እንደ የሙቀት መጠን እና የኬሚካል ተኳኋኝነት ካሉት የማስቀመጫ ሂደት ልዩ መስፈርቶች ጋር ለማዛመድ በጥንቃቄ የተመረጡ ናቸው።
የመጠቀም ጥቅሞችከፍተኛ-ጥራት Susceptors:
• የተሻሻለ የፊልም ጥራት፡- ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭትን በማቅረብ ተጠርጣሪዎች ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች አፈፃፀም ወሳኝ የሆነውን ተከታታይ ውፍረት እና ቅንብር ያላቸውን ፊልሞች ለማሳካት ይረዳሉ።
• የሂደት ቅልጥፍናን መጨመር፡- ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ተጠርጣሪዎች የጉዳት እድሎችን በመቀነስ እና ጥቅም ላይ የሚውሉ ፊልሞችን ምርት በመጨመር የMOCVD ሂደትን አጠቃላይ ውጤታማነት ያሻሽላሉ።
• ረጅም ጊዜ የመቆየት እና አስተማማኝነት፡- እንደ ሲሲ ካሉ ዘላቂ ቁሶች የተሰሩ ተንጠልጣይ የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት እና የጥገና ወጪዎችን ይቀንሳል።

ማጠቃለያ፡ ተጠርጣሪው በMOCVD ሂደት ውስጥ በጣም አስፈላጊ አካል ነው፣ ይህም በቀጭኑ የፊልም ማስቀመጫ ጥራት እና ቅልጥፍና ላይ በቀጥታ ይጎዳል። ትክክለኛውን የሱሴስተር ቁሳቁስ እና ዲዛይን በመምረጥ ሴሚኮንዳክተር አምራቾች ሂደታቸውን ማመቻቸት ይችላሉ, በዚህም ምክንያት የተሻለ የመሳሪያ አፈፃፀም እና አነስተኛ የምርት ወጪዎች. ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የኤሌክትሮኒክስ መሳሪያዎች ፍላጎት እያደገ ሲሄድ ከፍተኛ ጥራት ያለው MOCVD susc አስፈላጊነት