በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የሲሲ ፓድል

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስክ, እ.ኤ.አSiC መቅዘፊያበተለይም በ epitaxial እድገት ሂደት ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል. ውስጥ ጥቅም ላይ እንደ ቁልፍ አካልMOCVD(የብረት ኦርጋኒክ ኬሚካል የእንፋሎት ክምችት) ስርዓቶች፣የሲሲ ፓድሎችከፍተኛ ሙቀትን እና ኬሚካላዊ አስቸጋሪ አካባቢዎችን ለመቋቋም የተነደፉ ናቸው, ይህም ለላቀ ማምረት አስፈላጊ ያደርጋቸዋል. በሴሚሴራ ከፍተኛ አፈፃፀም በማምረት ላይ እንጠቀማለን።የሲሲ ፓድሎችለሁለቱም የተነደፈሲ ኤፒታክሲእናሲሲ ኤፒታክሲ, ልዩ ጥንካሬ እና የሙቀት መረጋጋት ያቀርባል.

የሲሲ ፓድሎች አጠቃቀም በተለይ እንደ ኤፒታክሲያል እድገት ባሉ ሂደቶች ውስጥ በጣም የተስፋፋ ሲሆን ንጣፉ ትክክለኛ የሙቀት እና ኬሚካላዊ ሁኔታዎችን ይፈልጋል። የእኛ ሴሚሴራ ምርቶች ሀ በሚያስፈልጋቸው አካባቢዎች ውስጥ ጥሩ አፈጻጸምን ያረጋግጣሉMOCVD Susceptor, ከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ ንብርብሮች በንጣፎች ላይ የሚቀመጡበት. ይህ ለማሻሻል አስተዋጽኦ ያደርጋልዋፈርበሴሚኮንዳክተር ምርት ውስጥ ጥራት ያለው እና ከፍተኛ የመሳሪያ ብቃት.

ሰሚሴራየሲሲ ፓድሎችለ ብቻ የተነደፉ አይደሉምሲ ኤፒታክሲግን ለብዙ ሌሎች ወሳኝ መተግበሪያዎችም የተዘጋጀ። ለምሳሌ፣ እነሱ ከ PSS Etching Carriers ጋር ተኳሃኝ ናቸው፣ በ LED ዋይፎች ውስጥ አስፈላጊ ናቸው፣ እናICP ማሳከክ ተሸካሚዎችቫፈርን ለመቅረጽ ትክክለኛ ion ቁጥጥር አስፈላጊ በሚሆንበት ጊዜ። እነዚህ መቅዘፊያዎች ለመሳሰሉት ስርዓቶች ወሳኝ ናቸው።RTP ተሸካሚዎች(ፈጣን ቴርማል ፕሮሰሲንግ), ፈጣን የሙቀት ሽግግር አስፈላጊነት እና ከፍተኛ የሙቀት መቆጣጠሪያ አስፈላጊ ነው.

በተጨማሪም, SiC Paddles እንደ LED Epitaxial Susceptors ሆነው ያገለግላሉ, ይህም ከፍተኛ ቅልጥፍና ያለው የ LED ዋፍሎችን እድገትን ያመቻቻል. የተለያዩ የሙቀት እና የአካባቢ ጭንቀቶችን የማስተናገድ ችሎታ በተለያዩ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ላይ በጣም ሁለገብ ያደርጋቸዋል።

በአጠቃላይ ሴሚሴራ የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስፈርቶችን የሚያሟሉ የሲሲ ፓድሎችን ለማቅረብ ቁርጠኛ ነው። ከሲሲ ኤፒታክሲ እስከ MOCVD Susceptors፣ የእኛ መፍትሔዎች የተሻሻለ አስተማማኝነትን እና አፈጻጸምን ያረጋግጣሉ፣ ይህም የኢንዱስትሪውን ከፍተኛ ፍላጎት ያሟላል።