ታንታለም ካርቦራይድ (ታሲ)የታንታለም እና የካርቦን ሁለትዮሽ ውህድ ከኬሚካላዊ ፎርሙላ TaC x ጋር፣ x ብዙውን ጊዜ በ 0.4 እና 1 መካከል ይለያያል። እነሱ እጅግ በጣም ጠንካራ፣ ተሰባሪ፣ ብረታ ብረትን የመቋቋም ችሎታ ያላቸው የሴራሚክ ቁሶች ናቸው። ቡናማ-ግራጫ ዱቄቶች ናቸው እና አብዛኛውን ጊዜ በማሽኮርመም ይሠራሉ.
ታንታለም ካርበይድአስፈላጊ የብረት ሴራሚክ ቁሳቁስ ነው. የታንታለም ካርበይድ አንድ በጣም አስፈላጊ አጠቃቀም የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ነው።
የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን የምርት ባህሪያት
ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ: የ መቅለጥ ነጥብታንታለም ካርበይድከፍ ያለ ነው።3880 ° ሴ, ይህም በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ እንዲረጋጋ ያደርገዋል እና ለማቅለጥ ወይም ለማሽቆልቆል ቀላል አይደለም.
የሥራ ሁኔታ;በአጠቃላይ የታንታለም ካርቦይድ (ታሲ) መደበኛ የሥራ ሁኔታ 2200 ° ሴ ነው. እጅግ በጣም ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥቡን ከግምት ውስጥ በማስገባት TaC የተነደፈው መዋቅራዊ አቋሙን ሳያጣ እንዲህ ያለውን ከፍተኛ የሙቀት መጠን ለመቋቋም ነው.
ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም: እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ አለው (Mohs hardness 9-10 ያህል ነው) እና መበላሸትን እና ጭረቶችን በተሳካ ሁኔታ መቋቋም ይችላል.
የኬሚካል መረጋጋትለአብዛኞቹ አሲዶች እና አልካላይስ ጥሩ ኬሚካላዊ መረጋጋት አለው እና ዝገትን እና ኬሚካዊ ግብረመልሶችን መቋቋም ይችላል።
የሙቀት መቆጣጠሪያጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) ሙቀትን በተሳካ ሁኔታ እንዲሰራጭ እና እንዲሰራ ያስችለዋል, ይህም የሙቀት ማከማቸት በእቃው ላይ ያለውን ተጽእኖ ይቀንሳል.
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የመተግበሪያ ሁኔታዎች እና ጥቅሞች
MOCVD መሣሪያዎችበ MOCVD (የኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ) መሳሪያዎች ውስጥ,የታንታለም ካርበይድ ሽፋኖችየምላሽ ክፍልን እና ሌሎች ከፍተኛ ሙቀት ያላቸውን ክፍሎች ለመጠበቅ, በተቀማጭ ዕቃዎች ላይ ያለውን የአፈር መሸርሸር ለመቀነስ እና የመሳሪያውን የአገልግሎት ዘመን ለማራዘም ያገለግላሉ.
ጥቅማ ጥቅሞች: የመሳሪያውን ከፍተኛ ሙቀት መቋቋም, የጥገና ድግግሞሽ እና ወጪዎችን ይቀንሱ እና የምርት ውጤታማነትን ያሻሽሉ.
የዋፈር ማቀነባበሪያ: በዋፈር ማቀነባበሪያ እና ማስተላለፊያ ስርዓቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን የመሳሪያውን የመልበስ መቋቋም እና የዝገት መቋቋምን ይጨምራል.
ጥቅማ ጥቅሞች፡ በአለባበስ ወይም በመበላሸት ምክንያት የሚመጡ የምርት ጥራት ችግሮችን ይቀንሱ፣ እና የዋፈር ማቀነባበሪያውን መረጋጋት እና ወጥነት ያረጋግጡ።
ሴሚኮንዳክተር ሂደት መሳሪያዎችበሴሚኮንዳክተር ሂደት መሳሪያዎች, እንደ ion implanters እና etchers, የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን የመሳሪያዎችን ዘላቂነት ሊያሻሽል ይችላል.
ጥቅማ ጥቅሞች፡ የመሳሪያዎችን የአገልግሎት ዘመን ማራዘም፣ የእረፍት ጊዜን እና የመተካት ወጪዎችን መቀነስ እና የምርት ቅልጥፍናን ማሻሻል።
ከፍተኛ ሙቀት ቦታዎችበከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ባሉ የኤሌክትሮኒክስ ክፍሎች እና መሳሪያዎች ውስጥ የታንታለም ካርቦይድ ሽፋን ቁሳቁሶችን ከከፍተኛ ሙቀት ለመከላከል ጥቅም ላይ ይውላል.
ጥቅማ ጥቅሞች-በከፍተኛ የሙቀት ሁኔታዎች ውስጥ የኤሌክትሮኒካዊ ክፍሎችን መረጋጋት እና አስተማማኝነት ያረጋግጡ.
የወደፊት የእድገት አዝማሚያዎች
የቁሳቁስ ማሻሻል: በቁሳዊ ሳይንስ ልማት ፣ አቀነባበር እና አቀማመጥ ቴክኖሎጂየታንታለም ካርበይድ ሽፋኖችአፈፃፀሙን ለማሻሻል እና ወጪዎችን ለመቀነስ መሻሻል ይቀጥላል. ለምሳሌ, የበለጠ ረጅም ጊዜ የሚቆይ እና አነስተኛ ዋጋ ያላቸው የሽፋን ቁሳቁሶች ሊፈጠሩ ይችላሉ.
የማስቀመጫ ቴክኖሎጂየታንታለም ካርቦይድ ሽፋንን ጥራት እና አፈፃፀም ለማመቻቸት እንደ የተሻሻሉ የ PVD እና CVD ቴክኖሎጂዎች ያሉ ይበልጥ ቀልጣፋ እና ትክክለኛ የማስቀመጫ ቴክኖሎጂዎች ሊኖሩ ይችላሉ።
አዲስ የመተግበሪያ ቦታዎችየመተግበሪያ ቦታዎች የየታንታለም ካርበይድ ሽፋኖችከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን ቁሳቁሶች ፍላጎት ለማሟላት እንደ ኤሮስፔስ፣ ኢነርጂ እና አውቶሞቲቭ ኢንዱስትሪዎች ወደ ብዙ ከፍተኛ የቴክኖሎጂ እና የኢንዱስትሪ መስኮች ይሰፋል።
የልጥፍ ሰዓት፡- ኦገስት-08-2024