የሴሚሴራ ፒ-አይነት SiC Substrate Wafer የላቀ ኤሌክትሮኒክስ እና ኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያዎችን ለማምረት ቁልፍ አካል ነው። እነዚህ ዋፍሮች በተለይ ከፍተኛ ኃይል ባለው እና ከፍተኛ ሙቀት ባለው አካባቢ ውስጥ የተሻሻለ አፈጻጸምን ለማቅረብ የተነደፉ ናቸው፣ ይህም እያደገ የመጣውን ቀልጣፋ እና ዘላቂ አካላትን ፍላጎት ይደግፋል።
በሲሲ ዋይፋችን ውስጥ ያለው የፒ-አይነት ዶፒንግ የተሻሻለ የኤሌክትሪክ እንቅስቃሴን እና የኃይል መሙያ ተንቀሳቃሽነትን ያረጋግጣል። ይህ በተለይ በኤሌክትሪክ ሃይል ኤሌክትሮኒክስ፣ ኤልኢዲ እና የፎቶቮልታይክ ህዋሶች ውስጥ ዝቅተኛ የሃይል መጥፋት እና ከፍተኛ ቅልጥፍና ወሳኝ በሆነባቸው ትግበራዎች ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
በከፍተኛ የትክክለኛነት እና የጥራት ደረጃዎች የሚመረተው የሴሚሴራ ፒ-አይነት ሲሲ ዋይፋሮች እጅግ በጣም ጥሩ የሆነ የገጽታ ተመሳሳይነት እና አነስተኛ የጉድለት ደረጃዎችን ይሰጣሉ። እነዚህ ባህሪያት ወጥነት እና አስተማማኝነት አስፈላጊ ለሆኑ እንደ ኤሮስፔስ፣ አውቶሞቲቭ እና ታዳሽ የኃይል ዘርፎች ላሉ ኢንዱስትሪዎች በጣም አስፈላጊ ናቸው።
የሴሚሴራ ለፈጠራ እና ልህቀት ያለው ቁርጠኝነት በእኛ ፒ-አይነት SiC Substrate Wafer ላይ ይታያል። እነዚህን ቫፈርዎች ወደ ምርት ሂደትዎ በማዋሃድ መሳሪያዎቸ ከሲሲ ልዩ የሙቀት እና ኤሌክትሪክ ባህሪያት ተጠቃሚ መሆናቸውን ያረጋግጣሉ፣ ይህም በአስቸጋሪ ሁኔታዎች ውስጥ ውጤታማ በሆነ መንገድ እንዲሰሩ ያስችላቸዋል።
በሴሚሴራ ፒ-አይነት SiC Substrate Wafer ላይ መዋዕለ ንዋይ ማፍሰስ ማለት ከፍተኛ ጥራት ያለው የቁስ ሳይንስን ከትልቁ ምህንድስና ጋር ያጣመረ ምርት መምረጥ ማለት ነው። ሴሚሴራ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ለስኬትዎ የሚያስፈልጉትን አስፈላጊ አካላት በማቅረብ ቀጣዩን የኤሌክትሮኒካዊ እና የኦፕቲካል ቴክኖሎጂዎችን ለመደገፍ ቁርጠኛ ነው።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| ሜካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
