የዋፈር ተሸካሚ መግቢያ
የምርት CATAGORY
▶Wafer Carrier System ለPECVD እና TALOX ሂደት
• PECVD እና TALOX ግራፋይት ጀልባ (M4~M12)
• አቀባዊ ኤስኤም-ጀልባ (M4፣ M6)
• ተከላ እና ሻወር ግራፋይት ክፍል (M4~M6)
• ሲ/ሲ ትሪ እና የሴራሚክ ሽፋን
• ብረት RIE-Tray እና የሴራሚክ ሽፋን
• የቫኩም ማተም፡ ኦ-ሪንግ እና ኤስኪው-ሪንግ
▶የጽሑፍ ጽሑፍ እና እርጥብ ማሳከክ የማስተላለፊያ ሂደት
• LSC H- Carrier ወይም ካሴት (M4~M12)
• LSC V-ድምጸ ተያያዥ ሞደም ወይም ካሴት (M4~M12)
• ASC ተሸካሚ ወይም ካሴት (M4፣ M6)
• W/F ተሸካሚ እና ማከማቻ ሳጥን (M4~M12)
• የመጓጓዣ ጎማ (ሮለር) ተከታታይ
▶የፀሐይ ሴል ተሸካሚ እና ብረት ተሸካሚ
• TRC ተሸካሚ ወይም ካሴት (M4~M12)
• መጽሔት (ከBELT ጋር)
ግራፊት ጀልባ (ኤች-አይነት)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ግራፊት ጀልባ (ኤች-አይነት)
21P6-240CT WF M4~M12)
ግራፊት ጀልባ (ኤች-አይነት)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ግራፊት ጀልባ (ኤች-አይነት)
22P/7-294TP (ደብሊው ኤፍ ኤም 4 ~ ኤም 12)
ግራፊት ጀልባ (ኤች-አይነት)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF ተሸካሚ እና ማከማቻ ሳጥን (~M12)
ሲ/ሲ ትሪ ወይም ተሸካሚ(M4~M10)
ሲ/ሲ ትሪ ወይም ተሸካሚ(M4~M10)
ቀጥ ያለ ጀልባ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-ተሸካሚ(~M12)
ASC ተሸካሚ (~M6)
TRC ተሸካሚ(~M12)
TRC ተሸካሚ(~M12)
ግራፋይት-ጀልባ(M12)
Wafer Carrier System ለPECVD ሂደት
▶ ግራፋይት ጀልባ (ሲቲ-ንድፍ) M10/M12 ሂደት
• ልዩ ንድፍ ጽንሰ-ሐሳብ
▶ ግራፋይት ጀልባ (CT-Designed) M4/M6 ሂደት
▶ የጀልባ መለዋወጫ ክፍሎች
▶ ቀጥ ያለ ጀልባ-161.7 ሚሜ ዋፈር
▶ ቀጥ ያለ ጀልባ-166 ሚሜ ዋፈር
▶ ቀጥ ያለ ጀልባ-161.7 ሚሜ፣ 166 ሚሜ ዋፈር
የፀሐይ ሴል ተሸካሚ እና ብረት TRC ተሸካሚ
ዓይነት: አውቶማቲክ
የዋፈር መጠን፡ ① 156×156ሚሜ ② 156.75×156.75ሚሜ
③161.7x161.7ሚሜ④166x166ሚሜ
⑤ 180×180ሚሜ ⑥ 210×210ሚሜ
አጠቃቀም፡ ተሸካሚ (ካሴት)
አቅም: 100 ሉህ
ፒች፡ 4.76ሚሜ/5.953ሚሜ/6.35ሚሜ
ልኬት፡ በግምት 559×220×220ሚሜ
በግምት 712×260×260ሚሜ
ጥቅም: ከባቢ አየር
ቁሳቁስ: ነበልባል ፣ የጎን ባር-አልሙኒየም (አኖዲዲንግ)
የጎን ሰሌዳ-ፖም (አንቲስታቲክ)
የታችኛው ባር-EPDM/PU/VITON (ASE) ሽፋን
TRC-ሜታል ተሸካሚ (U'SER LINE)
TRC-ሜታል ተሸካሚ (U'SER LINE)
TRC-ሜታል ተሸካሚ (U'SER LINE)
የሻወር ሳህን እና ተከላ፣ ተሸካሚ
