ፒኤፍኤ ካሴት

አጭር መግለጫ፡-

ፒኤፍኤ ካሴት– በሴሚሴራ ፒኤፍኤ ካሴት፣ በሴሚሴራ ፒኤፍኤ ካሴት፣ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ለደህንነቱ የተጠበቀ እና ቀልጣፋ የዋፈር አያያዝን በመጠቀም ተወዳዳሪ የሌለውን ኬሚካላዊ የመቋቋም እና ዘላቂነት ይለማመዱ።


የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

ሰሚሴራን በማቅረብ ደስተኛ ነው።ፒኤፍኤ ካሴትኬሚካላዊ የመቋቋም እና የመቆየት ችሎታ በዋነኛነት ባሉባቸው አካባቢዎች ለዋፈር አያያዝ ፕሪሚየም ምርጫ። ከከፍተኛ ንፅህና ከ Perfluoroalkoxy (PFA) ቁሳቁስ የተሰራ ይህ ካሴት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በጣም አስፈላጊ የሆኑትን ሁኔታዎችን ለመቋቋም የተነደፈ ነው ፣ ይህም የዋፋዎችዎን ደህንነት እና ታማኝነት ያረጋግጣል።

ያልተመጣጠነ የኬሚካል መቋቋምፒኤፍኤ ካሴትለተለያዩ ኬሚካሎች የላቀ የመቋቋም አቅምን ለመስጠት የተነደፈ ሲሆን ይህም ኃይለኛ አሲዶችን፣ ፈሳሾችን እና ሌሎች ጨካኝ ኬሚካሎችን ለሚያካትቱ ሂደቶች ፍጹም ምርጫ ያደርገዋል። ይህ ጠንካራ ኬሚካላዊ ተቃውሞ ካሴቴው ሳይበላሽ እና በጣም ጎጂ በሆኑ አካባቢዎች ውስጥ እንኳን የሚሰራ መሆኑን ያረጋግጣል፣ በዚህም እድሜውን ያራዝመዋል እና በተደጋጋሚ የመተካት ፍላጎት ይቀንሳል።

ከፍተኛ-ንፅህና ግንባታሰሚሴራፒኤፍኤ ካሴትየሚመረተው እጅግ በጣም ንፁህ የፒኤፍኤ ቁሳቁስ ነው፣ይህም በዋፈር ሂደት ወቅት ብክለትን ለመከላከል ወሳኝ ነው። ይህ ከፍተኛ ንፅህና ያለው ኮንስትራክሽን ቅንጣት የማመንጨት እና የኬሚካል ፈሳሽ አደጋን ይቀንሳል፣ይህም ዋፍሮችዎ ጥራታቸውን ሊጎዱ ከሚችሉ ቆሻሻዎች የተጠበቁ መሆናቸውን ያረጋግጣል።

የተሻሻለ ዘላቂነት እና አፈፃፀምለጥንካሬ የተነደፈ, የፒኤፍኤ ካሴትበከባድ የሙቀት መጠን እና በጠንካራ ማቀነባበሪያ ሁኔታዎች ውስጥ መዋቅራዊ አቋሙን ይጠብቃል። ለከፍተኛ ሙቀት የተጋለጠም ሆነ ለተደጋጋሚ አያያዝ፣ ይህ ካሴት ቅርፁን እና አፈፃፀሙን ይይዛል፣ ይህም በሚጠይቁ የአምራች አካባቢዎች የረጅም ጊዜ አስተማማኝነት ይሰጣል።

ለአስተማማኝ አያያዝ ትክክለኛነት ምህንድስናሰሚሴራ ፒኤፍኤ ካሴትደህንነቱ የተጠበቀ እና የተረጋጋ የዋፈር አያያዝን የሚያረጋግጥ ትክክለኛ ምህንድስና ያሳያል። እያንዳንዱ ማስገቢያ በጥንቃቄ የተነደፈ ቫፈርን በቦታቸው እንዲይዝ ነው, ይህም ጉዳት ሊያስከትል የሚችል ማንኛውንም እንቅስቃሴ ወይም መቀየር ይከላከላል. ይህ ትክክለኛነት ኢንጂነሪንግ ወጥነት ያለው እና ትክክለኛ የዋፈር አቀማመጥን ይደግፋል፣ ይህም ለአጠቃላይ ሂደት ቅልጥፍና አስተዋጽኦ ያደርጋል።

ሁለገብ አፕሊኬሽን ከሂደቶች በላይለላቁ ቁሳዊ ባህሪያት ምስጋና ይግባውፒኤፍኤ ካሴትበተለያዩ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ደረጃዎች ውስጥ ለመጠቀም በቂ ሁለገብ ነው። በተለይ ለእርጥብ ማሳከክ፣ ለኬሚካላዊ የእንፋሎት ክምችት (CVD) እና ሌሎች ከባድ ኬሚካላዊ አካባቢዎችን የሚያካትቱ ሂደቶችን በጣም ተስማሚ ነው። የእሱ መላመድ የሂደቱን ትክክለኛነት እና የዋፈር ጥራትን ለመጠበቅ አስፈላጊ መሣሪያ ያደርገዋል።

ለጥራት እና ለፈጠራ ቁርጠኝነትበሴሚሴራ ከፍተኛውን የኢንዱስትሪ መስፈርቶች የሚያሟሉ ምርቶችን ለማቅረብ ቆርጠናል. የፒኤፍኤ ካሴትይህንን ቁርጠኝነት በምሳሌነት ያሳያል፣ ይህም ወደ የማምረቻ ሂደቶችዎ ያለችግር የተዋሃደ አስተማማኝ መፍትሄ ይሰጣል። እያንዳንዱ ካሴት ከሴሚሴራ የምትጠብቀውን የላቀ ደረጃ በማድረስ ጥብቅ የአፈጻጸም መስፈርቶቻችንን ማሟላቱን ለማረጋገጥ ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር ይደረግበታል።

እቃዎች

ማምረት

ምርምር

ዱሚ

ክሪስታል መለኪያዎች

ፖሊታይፕ

4H

የገጽታ አቀማመጥ ስህተት

<11-20 >4±0.15°

የኤሌክትሪክ መለኪያዎች

ዶፓንት

n-አይነት ናይትሮጅን

የመቋቋም ችሎታ

0.015-0.025ohm · ሴሜ

ሜካኒካል መለኪያዎች

ዲያሜትር

150.0 ± 0.2 ሚሜ

ውፍረት

350± 25 μm

የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ

[1-100]±5°

የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት

47.5 ± 1.5 ሚሜ

ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ

ምንም

ቲቲቪ

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ)

≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ)

≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ)

ቀስት

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

ዋርፕ

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም)

ራ≤0.2nm (5μm*5μm)

መዋቅር

የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

የብረታ ብረት ቆሻሻዎች

≤5E10አተም/ሴሜ 2

NA

ቢፒዲ

≤1500 ኢአ/ሴሜ 2

≤3000 ኢአ/ሴሜ 2

NA

TSD

≤500 ኢአ/ሴሜ 2

≤1000 ኢአ/ሴሜ 2

NA

የፊት ጥራት

ፊት ለፊት

Si

የገጽታ አጨራረስ

ሲ-ፊት ሲኤምፒ

ቅንጣቶች

≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm)

NA

ጭረቶች

≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር

ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር

NA

የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል

ምንም

NA

የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች

ምንም

የፖሊታይፕ ቦታዎች

ምንም

ድምር አካባቢ≤20%

ድምር አካባቢ≤30%

የፊት ሌዘር ምልክት

ምንም

የኋላ ጥራት

የኋላ አጨራረስ

ሲ-ፊት ሲኤምፒ

ጭረቶች

≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር

NA

የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ)

ምንም

የኋላ ሻካራነት

ራ≤0.2nm (5μm*5μm)

የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ

1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ)

ጠርዝ

ጠርዝ

ቻምፈር

ማሸግ

ማሸግ

Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር

ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ

*ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ።

ቴክ_1_2_መጠን
የሲሲ ዋፍሮች

  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡-