ንጹህ ሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድ

ሲቪዲ የጅምላ ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ)

አጠቃላይ እይታ፡-ሲቪዲየጅምላ ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ)በፕላዝማ ኢቲንግ መሳሪያዎች ፣ ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ (RTP) አፕሊኬሽኖች እና ሌሎች ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ በጣም የሚፈለግ ቁሳቁስ ነው። ልዩ ሜካኒካል፣ ኬሚካላዊ እና የሙቀት ባህሪያቱ ከፍተኛ ትክክለኛነትን እና ረጅም ጊዜን ለሚፈልጉ ለላቁ የቴክኖሎጂ አፕሊኬሽኖች ጥሩ ቁሳቁስ ያደርጉታል።

የCVD Bulk SiC ማመልከቻዎች፡-የጅምላ ሲሲ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በተለይም በፕላዝማ ኢቲንግ ሲስተም ውስጥ ወሳኝ ነው፣ እንደ የትኩረት ቀለበቶች፣ የጋዝ መታጠቢያዎች፣ የጠርዝ ቀለበቶች እና ፕሌትኖች ያሉ ክፍሎች ከሲሲ የላቀ የዝገት መቋቋም እና የሙቀት መቆጣጠሪያ ተጠቃሚ ይሆናሉ። አጠቃቀሙ እስከ ይዘልቃልአርቲፒበሲሲሲው ምክንያት ከፍተኛ የሆነ መበላሸት ሳይኖር ፈጣን የሙቀት መለዋወጥን የመቋቋም ችሎታ ያላቸው ስርዓቶች.

ከመሳፍያ መሳሪያዎች በተጨማሪ ሲቪዲየጅምላ SiCከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና ለከባድ ኬሚካላዊ አካባቢዎች መቋቋም በሚያስፈልግበት ስርጭት እቶን እና ክሪስታል የእድገት ሂደቶች ውስጥ ተመራጭ ነው። እነዚህ ባህሪያት ከፍተኛ ሙቀቶችን እና እንደ ክሎሪን እና ፍሎራይን ላሉት የሚበላሹ ጋዞችን ለሚያካትቱ ከፍተኛ ፍላጎት ላላቸው አፕሊኬሽኖች SiCን ተመራጭ ያደርጉታል።

የሲቪዲ የጅምላ ሲሲ አካላት ጥቅሞች፡-

•ከፍተኛ ትፍገት;ከ3.2 ግ/ሴሜ³ ጥግግት ጋር፣ሲቪዲ የጅምላ ሲሲክፍሎች ለመልበስ እና ለሜካኒካዊ ተጽእኖ በጣም የሚቋቋሙ ናቸው.

•የላቀ የሙቀት ምግባር;የ 300 W/m·K የፍል conductivity ማቅረብ, የጅምላ SiC በብቃት ሙቀት ይቆጣጠራል, ይህም ለከፍተኛ የሙቀት ዑደቶች የተጋለጡ ክፍሎች ተስማሚ ያደርገዋል.

•ልዩ የኬሚካል መቋቋምበክሎሪን እና በፍሎራይን ላይ የተመሰረቱ ኬሚካሎችን ጨምሮ የሲሲ ዝቅተኛ ምላሽ ከሚሰጡ ጋዞች ጋር የተራዘመ የአካል ክፍሎችን ህይወት ያረጋግጣል።

•የሚስተካከለው የመቋቋም ችሎታ; ሲቪዲ የጅምላ SiCsየመቋቋም ችሎታ ከ10⁻²–10⁴ Ω-ሴሜ ባለው ክልል ውስጥ ሊበጅ ይችላል፣ይህም ለተወሰኑ የኢኬቲንግ እና ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፍላጎቶች ተስማሚ ያደርገዋል።

•የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት;በ4.8 x 10⁻⁶/°ሴ (25-1000°C) የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት ሲቪዲ የጅምላ ሲሲ የሙቀት ድንጋጤን ይቋቋማል፣ ፈጣን የማሞቅ እና የማቀዝቀዝ ዑደቶችን እንኳን ሳይቀር የመጠን መረጋጋትን ይጠብቃል።

•በፕላዝማ ውስጥ ዘላቂነት;ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ፕላዝማ እና ምላሽ ጋዞች መጋለጥ የማይቀር ነው, ነገር ግንሲቪዲ የጅምላ ሲሲየመተኪያ ድግግሞሽ እና አጠቃላይ የጥገና ወጪዎችን በመቀነስ ለመበስበስ እና ለመበስበስ የላቀ የመቋቋም ችሎታ ይሰጣል።

ቴክኒካዊ ዝርዝሮች፡

•ዲያሜትር፡ከ 305 ሚሊ ሜትር በላይ

•የመቋቋም ችሎታ;በ10⁻²–10⁴ Ω-ሴሜ ውስጥ የሚስተካከል

•ጥግግት፡3.2 ግ/ሴሜ³

•የሙቀት መቆጣጠሪያ;300 ዋ/ኤም·ኬ

•የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት;4.8 x 10⁻⁶/°ሴ (25–1000°ሴ)

ማበጀት እና ተለዋዋጭነት፡በሴሚሴራ ሴሚኮንዳክተርእያንዳንዱ ሴሚኮንዳክተር መተግበሪያ የተለያዩ ዝርዝሮችን ሊፈልግ እንደሚችል እንረዳለን። ለዚያም ነው የእኛ የሲቪዲ የጅምላ ሲሲ ክፍሎች ሙሉ ለሙሉ ሊበጁ የሚችሉ፣ በሚስተካከሉ የመቋቋም ችሎታ እና የተስተካከሉ ልኬቶች ከመሳሪያዎ ፍላጎት ጋር የሚስማማ። የእርስዎን የፕላዝማ ማሳመሪያ ስርዓቶች እያመቻቹ ወይም በRTP ወይም በስርጭት ሂደቶች ውስጥ ዘላቂ አካላትን እየፈለጉ ይሁን፣ የእኛ የሲቪዲ ጅምላ SiC ወደር የለሽ አፈጻጸም ያቀርባል።