ለMOCVD በሲሲ የተሸፈኑ ግራፋይት ቤዝ ሱስሴፕተሮች

በሲሲ የተሸፈኑ ግራፋይት ቤዝ ሱስሴፕተሮችለMOCVD ከሴሚሴራ የተፈጠሩት በ epitaxial የእድገት ሂደቶች ውስጥ ልዩ አፈጻጸምን ለማቅረብ ነው። በግራፋይት መሠረት ላይ ያለው ከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሽፋን በ MOCVD (የብረት ኦርጋኒክ ኬሚካል የእንፋሎት ማጠራቀሚያ) ስራዎች መረጋጋትን, ጥንካሬን እና ጥሩ የሙቀት ምጣኔን ያረጋግጣል. የሴሚሴራ ፈጠራ ሱስሴፕተር ቴክኖሎጂን በመጠቀም የተሻሻለ ትክክለኛነትን እና ቅልጥፍናን ማግኘት ይችላሉሲ ኤፒታክሲእናሲሲ ኤፒታክሲመተግበሪያዎች.

እነዚህMOCVD Susceptorsእንደ የተለያዩ አስፈላጊ ሴሚኮንዳክተር ክፍሎችን ለመደገፍ የተነደፉ ናቸው።PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, እናRTP ተሸካሚለተለያዩ የማሳከክ እና ኤፒታክሲያል ስራዎች ሁለገብ ያደርጋቸዋል። ሴሚሴራ ለከፍተኛ ደረጃዎች ያለው ቁርጠኝነት እነዚህ ተጠርጣሪዎች የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ምርትን ጥብቅ ፍላጎቶች እንደሚያሟሉ ያረጋግጣል።

ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚLED EpitaxialSusceptor፣ Barrel Susceptor እና Monocrystalline Silicon ሂደቶች፣ እነዚህ ተጠርጣሪዎች የፓንኬክ ሱስሴፕተር ውቅሮችን ጨምሮ ለተለያዩ የዋፈር መጠኖች ሊበጁ ይችላሉ። በተጨማሪም የፎቶቮልታይክ ክፍሎችን በማስተናገድ ረገድ በጣም ውጤታማ ናቸው, ይህም ውጤታማ የፀሐይ ህዋሶችን ለማዳበር ወሳኝ አካል ያደርጋቸዋል.

በተጨማሪም፣ ለMOCVD SiC Coated Graphite Base Susceptors በሲሲ ኢፒታክሲ ላይ ለጋኤን የተመቻቹ ናቸው፣ ይህም ከላቁ ሴሚኮንዳክተር ቁሶች ጋር ተኳሃኝነትን ይሰጣል። ምርትን በማሻሻል ላይ ያተኮሩም ይሁኑ የኤፒታክሲያል እድገትን ጥራት ለማሳደግ ሴሚሴራ ሱስሴፕተሮች በከፍተኛ የቴክኖሎጂ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ ስኬታማ ለመሆን የሚያስፈልገውን አስተማማኝነት እና አፈጻጸም ያቀርባሉ።