ግራፋይት ሱስሴፕተር ከሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን 8 ኢንች ዋፈር ተሸካሚ

ግራፋይት ተንጠልጣይ ከሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ጋር 8 ኢንች ዋፈር ተሸካሚ ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡-

Semicera's Graphite Susceptor with Silicon Carbide Coating for 8-inch Wafer Carrier ከፍተኛ አፈጻጸም ላለው ሴሚኮንዳክተር ፕሮሰሲንግ የተነደፈ ነው፣ ይህም እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ፣ ኬሚካላዊ የመቋቋም እና ረጅም ጊዜን ይሰጣል። የሲሊኮን ካርቦይድ ሽፋን ከኦክሳይድ እና ከመልበስ የላቀ ጥበቃን ያረጋግጣል, የሱሴክተሩን ህይወት ያሳድጋል. ለMOCVD፣ ሲቪዲ እና ሌሎች ከፍተኛ ሙቀት ላላቸው አፕሊኬሽኖች ተስማሚ የሆነ የሴሚሴራ ሱስሴፕተር አስተማማኝ አፈጻጸምን ያቀርባል፣ ይህም በሴሚኮንዳክተር እና በኤልዲ ማምረቻ ውስጥ ለተቀላጠፈ የዋፈር አያያዝ እና ሂደት ፍጹም መፍትሄ ያደርገዋል።

ኢሜይል ይላኩልን።

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

መግለጫ

የሲቪዲ-ሲሲ ሽፋንወጥ የሆነ መዋቅር ፣ የታመቀ ቁሳቁስ ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም ፣ ኦክሳይድ መቋቋም ፣ ከፍተኛ ንፅህና ፣ የአሲድ እና የአልካላይን መቋቋም እና ኦርጋኒክ ሬጀንት ፣ የተረጋጋ አካላዊ እና ኬሚካዊ ባህሪዎች አሉት።

ከከፍተኛ ንፅህና የግራፋይት ቁሶች ጋር ሲነፃፀር ግራፋይት በ 400C ኦክሳይድ ይጀምራል ፣ ይህም በኦክሳይድ ምክንያት የዱቄት መጥፋት ያስከትላል ፣ ይህም ወደ ተጓዳኝ መሳሪያዎች እና የቫኩም ክፍሎች የአካባቢ ብክለት ያስከትላል ፣ እና የከፍተኛ ንፅህና አከባቢን ቆሻሻዎች ይጨምራል።
ሆኖም፣የሲሲ ሽፋንበ 1600 ዲግሪ አካላዊ እና ኬሚካላዊ መረጋጋትን መጠበቅ ይችላል, በዘመናዊ ኢንዱስትሪ ውስጥ በተለይም በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል.

CFGNBHXF

SFGHBZSF

ዋና ዋና ባህሪያት

1. ከፍተኛ ንፅህና ሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት

2. የላቀ የሙቀት መቋቋም እና የሙቀት ተመሳሳይነት

3. ጥሩየሲሲ ክሪስታል የተሸፈነለስላሳ ሽፋን

4. በኬሚካል ማጽዳት ላይ ከፍተኛ ጥንካሬ

የCVD-SIC ሽፋን ዋና ዝርዝሮች፡-

ሲሲ-ሲቪዲ
ጥግግት	(ግ/ሲሲ)	3.21
ተለዋዋጭ ጥንካሬ	(ኤምፓ)	470
የሙቀት መስፋፋት	(10-6/ኪ)	4
የሙቀት መቆጣጠሪያ	(ወ/ኤምኬ)	300