SiC ሽፋን ግራፋይት Wafer Susceptor

የሲሲ ሽፋን ግራፋይት Wafer Susceptor ተለይቶ የቀረበ ምስል

አጭር መግለጫ፡-

ሰሚሴራ ሴሚኮንዳክተር ሲሲ ኮቲንግ ግራፋይት ዋፈር ሱስሴፕተር የላቀ የሙቀት አፈጻጸም እና ለዋፈር ማቀነባበሪያ ዘላቂነት ያቀርባል። በሴሚሴራ ላይ በሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ ቅልጥፍናን እና አስተማማኝነትን ለማጎልበት የተነደፉ የላቁ ሲሲ-የተሸፈኑ ተጎጂዎችን ይተማመኑ።

ኢሜይል ይላኩልን።

የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

መግለጫ

Semicorex's SiC Wafer Susceptors ለMOCVD (የብረት-ኦርጋኒክ ኬሚካላዊ ትነት ክምችት) የኢፒታክሲያል የማስቀመጫ ሂደቶችን ትክክለኛ ፍላጎቶች ለማሟላት የተነደፉ ናቸው። ከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) በመጠቀም, እነዚህ ተጠርጣሪዎች በከፍተኛ ሙቀት እና በቆሸሸ አካባቢዎች ውስጥ ወደር የለሽ ጥንካሬ እና አፈፃፀም ያቀርባሉ, ይህም የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን ትክክለኛ እና ቀልጣፋ እድገትን ያረጋግጣል.

ቁልፍ ባህሪዎች

1. የላቀ የቁሳቁስ ባህሪያትከከፍተኛ ደረጃ SiC የተገነቡ፣ የእኛ የዋፈር ተጠርጣሪዎች ልዩ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና ኬሚካላዊ የመቋቋም ችሎታ ያሳያሉ። እነዚህ ባህሪያት ከፍተኛ ሙቀትን እና የሚበላሹ ጋዞችን ጨምሮ የMOCVD ሂደቶችን እጅግ በጣም አስቸጋሪ ሁኔታዎችን እንዲቋቋሙ ያስችላቸዋል, ይህም ረጅም ዕድሜን እና አስተማማኝ አፈፃፀምን ያረጋግጣል.

2. በ Epitaxial Deposition ውስጥ ትክክለኛነትየእኛ SiC Wafer Susceptors ትክክለኛ ምህንድስና በ wafer ወለል ላይ ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭትን ያረጋግጣል፣ ተከታታይ እና ከፍተኛ ጥራት ያለው የኤፒታክሲያል ንብርብር እድገትን ያመቻቻል። ይህ ትክክለኛነት ሴሚኮንዳክተሮችን በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ ባህሪያት ለማምረት ወሳኝ ነው.

3. የተሻሻለ ዘላቂነትጠንካራው የሲሲ ቁሳቁስ ለመልበስ እና ለመበላሸት እጅግ በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ይሰጣል፣ ለከባድ ሂደት አካባቢዎች ቀጣይነት ያለው ተጋላጭነት እንኳን። ይህ ዘላቂነት የሱሴስተር መተኪያዎችን ድግግሞሽ ይቀንሳል, የእረፍት ጊዜን እና የሥራ ማስኬጃ ወጪዎችን ይቀንሳል.