ከሴሚሴራ የሚገኘው Solid SiC Focus Ring የላቀ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፍላጎቶችን ለማሟላት የተነደፈ ቆራጭ አካል ነው። ከከፍተኛ-ንፅህና የተሰራሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ), ይህ የትኩረት ቀለበት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ በተለይም በ ውስጥ ለብዙ አፕሊኬሽኖች ተስማሚ ነውየሲቪዲ ሲሲ ሂደቶች, የፕላዝማ ማሳከክ እናአይሲፒRIE (በኢንዱክቲቭ የተጣመረ ፕላዝማ ሪአክቲቭ ion Etching)። ለየት ያለ የመልበስ መቋቋም, ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና ንፅህና በመባል የሚታወቀው, ከፍተኛ ጭንቀት ባለባቸው አካባቢዎች ውስጥ ለረጅም ጊዜ የሚቆይ አፈፃፀምን ያረጋግጣል.
ሴሚኮንዳክተር ውስጥዋፈርማቀነባበር፣ Solid SiC Focus Rings በደረቅ ማሳከክ እና በዋፈር ማሳከክ ጊዜ ትክክለኛ ማሳከክን ለመጠበቅ ወሳኝ ናቸው። የሲሲ ትኩረት ቀለበት እንደ ፕላዝማ ኢቲንግ ማሽን ስራዎች ባሉ ሂደቶች ውስጥ ፕላዝማውን ለማተኮር ይረዳል፣ ይህም የሲሊኮን ዋይፈርን ለመቅረጽ አስፈላጊ ያደርገዋል። ጠንካራው የሲሲሲ ቁሳቁስ የአፈር መሸርሸርን ወደር የለሽ የመቋቋም ችሎታ ያቀርባል, የመሳሪያዎን ረጅም ጊዜ የመቆየት እና የመቀነስ ጊዜን ይቀንሳል, ይህም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ከፍተኛ ፍሰትን ለመጠበቅ አስፈላጊ ነው.
ከሴሚሴራ የመጣው የ Solid SiC Focus Ring ከፍተኛ ሙቀትን እና በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ የሚያጋጥሙትን ኃይለኛ ኬሚካሎችን ለመቋቋም የተነደፈ ነው። በተለይም እንደ ከፍተኛ ትክክለኛነት ስራዎች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ተዘጋጅቷልየሲቪዲ ሲሲ ሽፋኖች, ንጽህና እና ዘላቂነት በጣም አስፈላጊ የሆኑበት. ለሙቀት ድንጋጤ በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ፣ ይህ ምርት በጣም ከባድ በሆኑ ሁኔታዎች ውስጥ ወጥነት ያለው እና የተረጋጋ አፈፃፀምን ያረጋግጣል ፣ በዚህ ወቅት ለከፍተኛ ሙቀት መጋለጥን ጨምሮ።ዋፈርየማሳከክ ሂደቶች.
በሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ፣ ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ቁልፍ በሆኑበት፣ የ Solid SiC Focus Ring የማሳከክ ሂደቶችን አጠቃላይ ውጤታማነት በማሳደግ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል። ጠንካራ እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ንድፍ እጅግ በጣም አስቸጋሪ በሆኑ ሁኔታዎች ውስጥ ለሚሰሩ ከፍተኛ ንፅህና ክፍሎችን ለሚፈልጉ ኢንዱስትሪዎች ፍጹም ምርጫ ያደርገዋል። ውስጥ ጥቅም ላይ እንደዋለCVD SiC ቀለበትአፕሊኬሽኖች ወይም እንደ የፕላዝማ ማሳመር ሂደት አካል፣ ሴሚሴራ ድፍን ሲሲ ፎከስ ሪንግ የመሳሪያዎትን አፈጻጸም ለማመቻቸት ይረዳል፣ ይህም የምርት ሂደቶች የሚፈልገውን ረጅም ዕድሜ እና አስተማማኝነት ይሰጣል።
ቁልፍ ባህሪዎች
• የላቀ የመልበስ መቋቋም እና ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት
• ከፍተኛ-ንፅህና ጠንካራ የሲሲሲ ቁሳቁስ ለረጅም ጊዜ አገልግሎት
• ለፕላዝማ etching፣ ICP RIE፣ እና ለደረቅ ማሳከክ መተግበሪያዎች ተስማሚ
• ለ wafer etching ፍጹም፣ በተለይም በCVD SiC ሂደቶች
• በከባድ አካባቢዎች እና ከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አስተማማኝ አፈጻጸም
• የሲሊኮን ዌፈርዎችን በመቅረጽ ትክክለኛነትን እና ቅልጥፍናን ያረጋግጣል
መተግበሪያዎች፡-
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የሲቪዲ ሲሲ ሂደቶች
• የፕላዝማ ኢቲንግ እና ICP RIE ስርዓቶች
• የደረቁ ማሳከክ እና የማሳከክ ሂደቶች
• በፕላዝማ ማሽነሪ ማሽኖች ውስጥ ማሳከክ እና ማስቀመጥ
• የዋፈር ቀለበቶች እና የሲቪዲ ሲሲ ቀለበቶች ትክክለኛ ክፍሎች
የሲቪዲ ሲሲ ወለል በአጉሊ መነጽር
የሲቪዲ ሲሲ መስቀል-ክፍል በአጉሊ መነጽር
