ሴሚሴራSiC Cantilever Wafer መቅዘፊያዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረት ፍላጎቶችን ለማሟላት የተነደፈ ነው. ይህwafer መቅዘፊያከፍተኛ ሙቀት ባለው አካባቢ ውስጥ ቫፈርን ለመያዝ በጣም ጥሩ የሆነ የሜካኒካዊ ጥንካሬ እና የሙቀት መከላከያ ያቀርባል.
የSiC cantilever ንድፍ ትክክለኛ የዋፈር አቀማመጥ እንዲኖር ያስችላል፣በአያያዝ ጊዜ የመጎዳትን አደጋ ይቀንሳል። ከፍተኛ የሙቀት አማቂነት (thermal conductivity) የማምረት ቅልጥፍናን ለመጠበቅ ወሳኝ በሆነው በከባድ ሁኔታዎች ውስጥ እንኳን ቫፈር የተረጋጋ መሆኑን ያረጋግጣል።
ከመዋቅር ጥቅሞቹ በተጨማሪ ሴሚሴራSiC Cantilever Wafer መቅዘፊያእንዲሁም በክብደት እና በጥንካሬው ውስጥ ጥቅሞችን ይሰጣል። ቀላል ክብደት ያለው ግንባታ ወደ ነባር ስርዓቶች ለመያዝ እና ለማዋሃድ ቀላል ያደርገዋል, ከፍተኛ መጠን ያለው የሲሲሲ ቁሳቁስ በአስፈላጊ ሁኔታዎች ውስጥ ረጅም ጊዜ የመቆየትን ያረጋግጣል.
የ Recrystalized ሲሊኮን ካርቦይድ አካላዊ ባህሪያት | |
ንብረት | የተለመደ እሴት |
የሥራ ሙቀት (° ሴ) | 1600°ሴ (ከኦክሲጅን ጋር)፣ 1700°C (አካባቢን የሚቀንስ) |
የሲሲ ይዘት | > 99.96% |
ነፃ የሲ ይዘት | <0.1% |
የጅምላ እፍጋት | 2.60-2.70 ግ / ሴ.ሜ3 |
ግልጽ porosity | < 16% |
የመጨመቂያ ጥንካሬ | > 600 MPa |
ቀዝቃዛ መታጠፍ ጥንካሬ | 80-90 MPa (20°ሴ) |
ትኩስ መታጠፍ ጥንካሬ | 90-100 MPa (1400°ሴ) |
የሙቀት መስፋፋት @1500°C | 4.70 10-6/° ሴ |
Thermal conductivity @1200°C | 23 ወ/ሜ•ኬ |
የመለጠጥ ሞጁሎች | 240 ጂፒኤ |
የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም | እጅግ በጣም ጥሩ |