ሰሚሴራየሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሽፋንእጅግ በጣም ጠንካራ እና የሚለብስ ከሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ቁሳቁስ የተሰራ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው መከላከያ ልባስ ነው። ሽፋኑ ብዙውን ጊዜ በሲቪዲ ወይም በ PVD ሂደት በንጣፉ ወለል ላይ ይቀመጣልየሲሊኮን ካርቦይድ ቅንጣቶች, እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል ዝገት የመቋቋም እና ከፍተኛ ሙቀት መረጋጋት በመስጠት. ስለዚህ, የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ቁልፍ ክፍሎች ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል.
በሴሚኮንዳክተር ማምረት ፣የሲሲ ሽፋንእጅግ በጣም ከፍተኛ ሙቀትን እስከ 1600 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ መቋቋም ይችላል, ስለዚህ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋን ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት ወይም በቆሸሸ አካባቢ ላይ ጉዳት እንዳይደርስ ለመከላከል ለመሳሪያዎች ወይም መሳሪያዎች እንደ መከላከያ ንብርብር ያገለግላል.
በተመሳሳይ ጊዜ.የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ሽፋንየአሲድ፣የአልካላይስ፣የኦክሳይድ እና ሌሎች ኬሚካላዊ ሪአጀንቶችን መሸርሸር መቋቋም የሚችል እና ለተለያዩ ኬሚካላዊ ነገሮች ከፍተኛ የዝገት መቋቋም ይችላል። ስለዚህ, ይህ ምርት በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ለተለያዩ ጎጂ አካባቢዎች ተስማሚ ነው.
በተጨማሪም, ከሌሎች የሴራሚክ እቃዎች ጋር ሲወዳደር, ሲሲ ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (thermal conductivity) ያለው እና ሙቀትን በተሳካ ሁኔታ ማካሄድ ይችላል. ይህ ባህሪ ትክክለኛ የሙቀት ቁጥጥር የሚያስፈልጋቸው ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ከፍተኛ የሙቀት አማቂ conductivity ይወስናልየሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ሽፋንሙቀትን በእኩል መጠን ለማሰራጨት ፣ የአካባቢ ሙቀትን ለመከላከል እና መሣሪያው በጥሩ የሙቀት መጠን መስራቱን ያረጋግጣል።
| የሲቪዲ ሲክ ሽፋን መሰረታዊ አካላዊ ባህሪያት | |
| ንብረት | የተለመደ እሴት |
| ክሪስታል መዋቅር | FCC β ደረጃ polycrystalline፣ በዋናነት (111) ተኮር |
| ጥግግት | 3.21 ግ/ሴሜ³ |
| ጥንካሬ | 2500 ቪከርስ ጠንካራነት (500 ግ ጭነት) |
| እህል SiZe | 2 ~ 10 ማይክሮን |
| የኬሚካል ንፅህና | 99.99995% |
| የሙቀት አቅም | 640 ኪ.ግ-1· ኬ-1 |
| Sublimation የሙቀት | 2700 ℃ |
| ተለዋዋጭ ጥንካሬ | 415 MPa RT 4-ነጥብ |
| የወጣት ሞዱሉስ | 430 ጂፒኤ 4 ፒት መታጠፍ፣ 1300 ℃ |
| የሙቀት መቆጣጠሪያ | 300 ዋ · ሜትር-1· ኬ-1 |
| የሙቀት መስፋፋት (ሲቲኢ) | 4.5×10-6K-1 |
