የሲሊኮን ካርቦይድ ዱሚ ዋፈር በሴሚሴራ የተሰራው የዛሬውን ከፍተኛ ትክክለኛነት ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ፍላጎቶችን ለማሟላት ነው። በልዩ ጥንካሬው ፣ ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና የላቀ ንፅህና የታወቀ ነው።ዋፈርበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ለሙከራ፣ ለማስተካከል እና የጥራት ማረጋገጫ አስፈላጊ ነው። የሴሚሴራ ሲሊኮን ካርቦይድ ዱሚ ዋፈር ወደር የለሽ የመልበስ መከላከያ ይሰጣል፣ ይህም ሳይበላሽ ጥብቅ አጠቃቀምን መቋቋም የሚችል መሆኑን ያረጋግጣል፣ ይህም ለ R&D እና ለምርት አካባቢዎች ተስማሚ ያደርገዋል።
የተለያዩ መተግበሪያዎችን ለመደገፍ የተነደፈ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ዱሚ ዋፈር በሚያካትቱ ሂደቶች ውስጥ በተደጋጋሚ ጥቅም ላይ ይውላልሲ ዋፈር, SiC Substrate, SOI Wafer, የ Sin Substrate, እናኤፒ-ዋፈርቴክኖሎጂዎች. የላቁ የኤሌክትሮኒካዊ አካላትን እና መሳሪያዎችን በማምረት ረገድ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት እና መዋቅራዊ አቋሙ ለከፍተኛ ሙቀት ማቀነባበሪያ እና አያያዝ ጥሩ ምርጫ ያደርገዋል። በተጨማሪም የቫፈር ከፍተኛ ንፅህና የብክለት ስጋቶችን ይቀንሳል፣ ስሱ ሴሚኮንዳክተር ቁሶችን ጥራት ይጠብቃል።
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ ሲሊኮን ካርቦይድ ዱሚ ዋፈር ጋሊየም ኦክሳይድ Ga2O3 እና AlN Waferን ጨምሮ ለአዳዲስ የቁሳቁስ ሙከራ እንደ አስተማማኝ የማጣቀሻ ዋፈር ሆኖ ያገለግላል። እነዚህ ብቅ ያሉ ቁሳቁሶች በተለያዩ ሁኔታዎች ውስጥ መረጋጋት እና አፈፃፀማቸውን ለማረጋገጥ ጥንቃቄ የተሞላበት ትንተና እና ምርመራ ያስፈልጋቸዋል. የሴሚሴራ ዱሚ ዋፈርን በመጠቀም አምራቾች የአፈፃፀም ወጥነትን የሚጠብቅ፣ ለቀጣይ ትውልድ ቁሳቁሶች ለከፍተኛ ሃይል፣ RF እና ለከፍተኛ ድግግሞሽ አፕሊኬሽኖች በማገዝ የተረጋጋ መድረክ ያገኛሉ።
በኢንዱስትሪዎች ውስጥ ያሉ መተግበሪያዎች
• ሴሚኮንዳክተር ማምረት
SiC Dummy Wafers በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በተለይም በመጀመሪያዎቹ የምርት ደረጃዎች ውስጥ አስፈላጊ ናቸው። እንደ መከላከያ እንቅፋት ሆነው ያገለግላሉ, የሲሊኮን ቫውቸር ሊከሰቱ ከሚችሉ ጉዳቶች ይጠብቃሉ እና የሂደቱን ትክክለኛነት ያረጋግጣሉ.
•የጥራት ማረጋገጫ እና ሙከራ
በጥራት ማረጋገጫ፣ SiC Dummy Wafers ለማድረስ ቼኮች እና የሂደት ቅጾችን ለመገምገም ወሳኝ ናቸው። እንደ የፊልም ውፍረት፣ የግፊት መቋቋም እና የማንጸባረቅ ኢንዴክስ ያሉ ትክክለኛ መለኪያዎችን ያነቃሉ፣ ይህም ለምርት ሂደቶች ትክክለኛነት አስተዋጽኦ ያደርጋል።
•ሊቶግራፊ እና ስርዓተ-ጥለት ማረጋገጫ
በሊቶግራፊ ውስጥ፣ እነዚህ ዋፍሮች የስርዓተ-ጥለት መጠንን ለመለካት እና ጉድለትን ለመፈተሽ እንደ መለኪያ ሆነው ያገለግላሉ። የእነሱ ትክክለኛነት እና አስተማማኝነት ለሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ተግባራዊነት ወሳኝ የሆነውን የተፈለገውን የጂኦሜትሪክ ትክክለኛነት ለማሳካት ይረዳል.
•ምርምር እና ልማት
በR&D አካባቢዎች፣ የSiC Dummy Wafers ተለዋዋጭነት እና ዘላቂነት ሰፊ ሙከራዎችን ይደግፋሉ። ጥብቅ የፈተና ሁኔታዎችን የመቋቋም አቅማቸው አዳዲስ ሴሚኮንዳክተር ቴክኖሎጂዎችን ለማዳበር ጠቃሚ ያደርጋቸዋል።
