Semicera Silicon Substrates ወደር የለሽ ጥራት እና ትክክለኛነትን በማቅረብ የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት የተነደፉ ናቸው። እነዚህ ንጣፎች ለተለያዩ አፕሊኬሽኖች አስተማማኝ መሠረት ይሰጣሉ, ከተዋሃዱ ወረዳዎች እስከ የፎቶቮልታይክ ሴሎች, ጥሩ አፈፃፀም እና ረጅም ጊዜ መኖርን ያረጋግጣሉ.
የሴሚሴራ ሲሊኮን ንጣፎች ከፍተኛ ንፅህና አነስተኛ ጉድለቶችን እና የላቀ የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ያረጋግጣል, ይህም ከፍተኛ ብቃት ያላቸውን ኤሌክትሮኒካዊ ክፍሎችን ለማምረት ወሳኝ ነው. ይህ የንጽህና ደረጃ የኃይል ብክነትን ለመቀነስ እና የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን አጠቃላይ ውጤታማነት ለማሻሻል ይረዳል.
ሴሚሴራ የሲሊኮን ንኡስ ምርቶችን ልዩ በሆነ ተመሳሳይነት እና ጠፍጣፋ ለማምረት ዘመናዊ የማምረቻ ቴክኒኮችን ይጠቀማል። ይህ ትክክለኛነት በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ ወጥነት ያለው ውጤት ለማግኘት በጣም አስፈላጊ ሲሆን ትንሽ ልዩነት እንኳን የመሳሪያውን አፈፃፀም እና ምርትን ሊጎዳ ይችላል።
በተለያዩ መጠኖች እና ዝርዝሮች ውስጥ ይገኛል ፣ሴሚሴራ ሲሊኮን ንኡስ መሥሪያ ቤቶች ብዙ የኢንዱስትሪ ፍላጎቶችን ያሟላሉ። በጣም የተሻሻሉ ማይክሮፕሮሰሰርዎችን ወይም የፀሐይ ፓነሎችን እየገነቡም ይሁኑ፣ እነዚህ ንኡስ ክፍሎች ለተለየ መተግበሪያዎ የሚያስፈልገውን ተለዋዋጭነት እና አስተማማኝነት ይሰጣሉ።
ሴሚሴራ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ፈጠራን እና ቅልጥፍናን ለመደገፍ ቁርጠኛ ነው። ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የሲሊኮን ንጣፎችን በማቅረብ, አምራቾች የቴክኖሎጂ ድንበሮችን እንዲገፉ, የገበያውን ፍላጎት የሚያሟሉ ምርቶችን እንዲያቀርቡ እናደርጋቸዋለን. ለቀጣዩ ትውልድ ኤሌክትሮኒክ እና የፎቶቮልታይክ መፍትሄዎች ሴሚሴራን እመኑ።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| መካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
