የሴሚሴራ ሲኤን ሴራሚክስ ሜዳ ንጣፎች ለተለያዩ የኤሌክትሮኒክስ እና የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው መፍትሄ ይሰጣሉ። እጅግ በጣም ጥሩ በሆነ የሙቀት መቆጣጠሪያ እና በሜካኒካል ጥንካሬ የሚታወቁት እነዚህ ንጣፎች በሚያስፈልጋቸው አካባቢዎች ውስጥ አስተማማኝ ስራን ያረጋግጣሉ.
የእኛ የሲኤን (ሲሊኮን ኒትሪድ) ሴራሚክስ ከፍተኛ ሙቀትን እና ከፍተኛ ጭንቀትን ለመቆጣጠር የተነደፈ ሲሆን ይህም ለከፍተኛ ኃይል ኤሌክትሮኒክስ እና የላቀ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ተስማሚ ያደርገዋል. የእነሱ ጥንካሬ እና የሙቀት ድንጋጤ የመቋቋም ችሎታ አስተማማኝነት እና አፈፃፀም ወሳኝ በሆኑ መተግበሪያዎች ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ያደርጋቸዋል።
የሴሚሴራ ትክክለኛነት የማምረት ሂደቶች እያንዳንዱ ተራ ንጣፍ ጥብቅ የጥራት ደረጃዎችን ማሟላቱን ያረጋግጣል። ይህ በኤሌክትሮኒካዊ ስብሰባዎች እና ስርዓቶች ውስጥ ጥሩ አፈፃፀምን ለማግኘት አስፈላጊ የሆኑትን ወጥ የሆነ ውፍረት እና የገጽታ ጥራት ያላቸው ንጣፎችን ያስከትላል።
ከሙቀት እና ሜካኒካል ጥቅሞቻቸው በተጨማሪ የሲኤን ሴራሚክስ ሜዳ ንጣፎች በጣም ጥሩ የኤሌክትሪክ መከላከያ ባህሪያትን ያቀርባሉ. ይህ አነስተኛ የኤሌክትሪክ ጣልቃገብነት መኖሩን ያረጋግጣል እና ለኤሌክትሮኒካዊ አካላት አጠቃላይ መረጋጋት እና ቅልጥፍና አስተዋፅኦ ያደርጋል, የስራ ዘመናቸውን ያሳድጋል.
የሴሚሴራ ሲኤን ሴራሚክስ ሜዳ ንጣፎችን በመምረጥ የላቀ የቁስ ሳይንስን ከከፍተኛ ደረጃ ማምረት ጋር ያጣመረ ምርት እየመረጡ ነው። ለጥራት እና ለፈጠራ ያለን ቁርጠኝነት ከፍተኛውን የኢንዱስትሪ ደረጃዎችን የሚያሟሉ እና የላቀ የቴክኖሎጂ ፕሮጀክቶችዎን ስኬት የሚደግፉ ንጣፎችን እንደሚቀበሉ ዋስትና ይሰጣል።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| መካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
