CVD TaC ሽፋን

የ CVD TaC ሽፋን መግቢያ:

ሲቪዲ ታሲ ሽፋን የታንታለም ካርቦዳይድ (ታሲ) ሽፋን በንጣፍ ወለል ላይ ለማስቀመጥ የኬሚካል ትነት ክምችትን የሚጠቀም ቴክኖሎጂ ነው። ታንታለም ካርቦይድ ከፍተኛ አፈፃፀም ያለው የሴራሚክ ቁሳቁስ በጣም ጥሩ የሜካኒካል እና ኬሚካላዊ ባህሪያት ነው. የሲቪዲ ሂደቱ በጋዝ ምላሽ አማካኝነት በንጣፉ ወለል ላይ አንድ ወጥ የሆነ የ TaC ፊልም ይፈጥራል.

ዋና ባህሪያት:

በጣም ጥሩ ጥንካሬ እና የመቋቋም ችሎታታንታለም ካርቦዳይድ እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ አለው፣ እና ሲቪዲ ታሲ ሽፋን የንጥረቱን የመልበስ መቋቋም በእጅጉ ያሻሽላል። ይህ ሽፋኑን እንደ መቁረጫ መሳሪያዎች እና ሻጋታዎች ባሉ ከፍተኛ ልብስ በሚለብሱ አካባቢዎች ውስጥ ለመጠቀም ተስማሚ ያደርገዋል.

ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት: የ TaC ሽፋኖች ወሳኝ እቶን እና ሬአክተር ክፍሎችን እስከ 2200 ° ሴ በሚደርስ የሙቀት መጠን ይከላከላሉ, ጥሩ መረጋጋት ያሳያሉ. በከፍተኛ የሙቀት ሁኔታዎች ውስጥ የኬሚካላዊ እና ሜካኒካል መረጋጋትን ያቆያል, ይህም ለከፍተኛ ሙቀት ማቀነባበሪያ እና ከፍተኛ ሙቀት ባላቸው አካባቢዎች ውስጥ እንዲተገበር ያደርገዋል.

እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል መረጋጋትታንታለም ካርቦዳይድ ለአብዛኞቹ አሲዶች እና አልካላይስ የዝገት መቋቋም አቅም አለው፣ እና ሲቪዲ ታሲ ሽፋን በተበላሹ አከባቢዎች ውስጥ ባለው ንጥረ ነገር ላይ ጉዳት እንዳይደርስ መከላከል ይችላል።

ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ: ታንታለም ካርቦይድ ከፍተኛ የማቅለጫ ነጥብ (በግምት 3880 ዲግሪ ሴንቲ ግሬድ) አለው፣ ይህም ሲቪዲ ታሲ ኮቲንግ ሳይቀልጥ እና ሳይቀንስ በከፍተኛ የሙቀት ሁኔታዎች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ያስችላል።

እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቆጣጠሪያ: የ TaC ሽፋን ከፍተኛ የሙቀት ምጣኔ (thermal conductivity) አለው, ይህም በከፍተኛ ሙቀት ሂደቶች ውስጥ ሙቀትን በተሳካ ሁኔታ ለማስወገድ እና የአካባቢን ሙቀት ለመከላከል ይረዳል.

ሊሆኑ የሚችሉ መተግበሪያዎች:

• ጋሊየም ኒትሪድ (ጋኤን) እና የሲሊኮን ካርቦይድ ኤፒታክሲያል ሲቪዲ ሬአክተር አካላት ዋፈር ተሸካሚዎች፣ የሳተላይት ምግቦች፣ የገላ መታጠቢያ ገንዳዎች፣ ጣሪያዎች እና ሱስሴፕተሮችን ጨምሮ።

• ሲሊኮን ካርቦዳይድ፣ ጋሊየም ናይትራይድ እና አሉሚኒየም ናይትራይድ (አልኤን) ክሪስታል የእድገት ክፍሎች ክሩሺብልስ፣ ዘር መያዣዎች፣ የመመሪያ ቀለበቶች እና ማጣሪያዎች

• የኢንዱስትሪ ክፍሎች የመቋቋም ማሞቂያ ኤለመንቶችን፣ የመርፌ ፍንጮችን፣ መሸፈኛ ቀለበቶችን እና ብራዚንግ ጂግስን ጨምሮ

የመተግበሪያ ባህሪያት:

• የሙቀት መጠኑ ከ 2000 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በላይ የተረጋጋ ሲሆን ይህም በከፍተኛ የሙቀት መጠን እንዲሠራ ያስችላል
• ለሃይድሮጂን (ኸርዝ)፣ ለአሞኒያ (ኤንኤች 3)፣ ለሞኖሲላኔ (SiH4) እና ለሲሊኮን (ሲ) የሚቋቋም፣ በከባድ ኬሚካላዊ አካባቢዎች ጥበቃ ያደርጋል።
• የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም ፈጣን የስራ ዑደቶችን ያስችላል
• ግራፋይት ረጅም የአገልግሎት ዘመንን የሚያረጋግጥ ጠንካራ የማጣበቅ ችሎታ ያለው ሲሆን ምንም ሽፋን የሌለው ሽፋን የለውም።
• እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና አላስፈላጊ የሆኑ ቆሻሻዎችን ወይም ብክለቶችን ለማስወገድ
• ለጠባብ የመጠን መቻቻል ተስማሚ ሽፋን

ቴክኒካዊ ዝርዝሮች:

ጥቅጥቅ ያሉ የታንታለም ካርበይድ ሽፋኖችን በሲቪዲ ማዘጋጀት፦

የቲኤሲ ሽፋን ከከፍተኛ ክሪስታሊንነት እና በጣም ጥሩ ተመሳሳይነት ጋር;

CVD TAC ሽፋን ቴክኒካል መለኪያዎች_ሴሚሴራ፡

ከላይ ያሉት የተለመዱ እሴቶች ናቸው.