ሴሚሴራ የኢንዱስትሪ መሪውን ያቀርባልዋፈር ተሸካሚዎችእጅግ የላቀ ጥበቃ እና ለስላሳ ሴሚኮንዳክተር ዋፍሮች በተለያዩ የማምረቻ ሂደት ደረጃዎች ውስጥ ያለችግር ማጓጓዝ የሚያስችል ምህንድስና። የእኛዋፈር ተሸካሚዎችየዋፈርዎችዎ ትክክለኛነት እና ጥራት ሁል ጊዜ እንደተጠበቁ በማረጋገጥ የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፍላጎቶችን ለማሟላት በጥንቃቄ የተነደፉ ናቸው።
ቁልፍ ባህሪዎች
• የፕሪሚየም ቁሳቁስ ግንባታ፡-ረጅም ዕድሜን እና ረጅም ጊዜን የሚያረጋግጡ ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ብክለትን ከሚከላከሉ ቁሳቁሶች የተሰራ, ለንጹህ አከባቢዎች ተስማሚ ያደርጋቸዋል.
•ትክክለኛ ንድፍ;የዋፈር መንሸራተትን እና በአያያዝ እና በመጓጓዣ ጊዜ የሚደርስ ጉዳትን ለመከላከል ትክክለኛ የቦታ አሰላለፍ እና ደህንነቱ የተጠበቀ የመያዣ ዘዴዎችን ያሳያል።
•ሁለገብ ተኳኋኝነትለተለያዩ ሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ተለዋዋጭነትን በማቅረብ ሰፋ ያለ የዋፈር መጠን እና ውፍረትን ያስተናግዳል።
•Ergonomic አያያዝቀላል ክብደት ያለው እና ለተጠቃሚ ምቹ የሆነ ንድፍ በቀላሉ መጫን እና ማራገፍን ያመቻቻል፣ የስራ ቅልጥፍናን ያሳድጋል እና የአያያዝ ጊዜን ይቀንሳል።
•ሊበጁ የሚችሉ አማራጮች፡-የቁሳቁስ ምርጫን፣ የመጠን ማስተካከያዎችን እና ለተመቻቸ የስራ ፍሰት ውህደት መሰየሚያን ጨምሮ የተወሰኑ መስፈርቶችን ለማሟላት ማበጀትን ያቀርባል።
ሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደቱን በሴሚሴራ ያሳድጉዋፈር ተሸካሚዎች, ዋፍሮችዎን ከብክለት እና ከመካኒካዊ ጉዳት ለመጠበቅ ፍጹም መፍትሄ። ስራዎ በተቀላጠፈ እና በብቃት መሄዱን በማረጋገጥ የኢንደስትሪ ደረጃዎችን የሚያሟሉ ብቻ ሳይሆን የሚበልጡ ምርቶችን ለማቅረብ ለጥራት እና ለፈጠራ ባለን ቁርጠኝነት እመኑ።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| መካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
