ዋፈር ተሸካሚዎች ከሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን ጋር

ዋፈር ተሸካሚዎችጋርየሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋንከሴሚሴራ በባለሙያ የተነደፉ ለከፍተኛ አፈፃፀም ኤፒታክሲያል እድገት ነው ፣ ይህም ጥሩ ውጤቶችን በማረጋገጥሲ ኤፒታክሲእናሲሲ ኤፒታክሲመተግበሪያዎች. የሴሚሴራ ትክክለኛነት-ምህንድስና ተሸካሚዎች በጣም አስቸጋሪ ሁኔታዎችን ለመቋቋም የተገነቡ ናቸው ፣ ይህም በMOCVD Susceptor ስርዓቶች ውስጥ ከፍተኛ ትክክለኛነት እና ረጅም ጊዜ ለሚፈልጉ ኢንዱስትሪዎች አስፈላጊ አካላት ያደርጋቸዋል።

እነዚህ የዋፈር ተሸካሚዎች እንደ መሳሪያ ያሉ ወሳኝ ሂደቶችን በመደገፍ ሁለገብ ናቸው።PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, እናRTP ተሸካሚ. የእነሱ ጠንካራ የሲሲ ሽፋን ለመሳሰሉት መተግበሪያዎች አፈጻጸምን ያሻሽላልLED EpitaxialSusceptor እና Monocrystalline Silicon, በሚፈለጉ አካባቢዎች ውስጥ እንኳን ተከታታይ ውጤቶችን በማረጋገጥ.

እንደ በርሜል ሱስሴፕተር እና የፓንኬክ ሱስሴፕተር ባሉ በርካታ አወቃቀሮች ውስጥ ይገኛሉ እነዚህ ተሸካሚዎች በፎቶቮልታይክ እና ሴሚኮንዳክተር ማምረቻዎች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ, የፎቶቮልቲክ ክፍሎችን ለማምረት እና በሲሲ ኤፒታክሲ ሂደቶች ላይ GaN ን ማመቻቸት. በከፍተኛ ዲዛይናቸው እነዚህ ተሸካሚዎች ከፍተኛ ቅልጥፍናን ለማምረት ለሚፈልጉ አምራቾች ቁልፍ ንብረቶች ናቸው.