ሰሚሴራዋፈር ካሴትበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ወሳኝ አካል ነው፣ ስስ ሴሚኮንዳክተር ዋፍርዎችን ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ ለመያዝ እና ለማጓጓዝ የተነደፈ ነው። የዋፈር ካሴትልዩ ጥበቃ ይሰጣል፣ እያንዳንዱ ቫፈር በአያያዝ፣ በማከማቻ እና በመጓጓዣ ጊዜ ከብክለት እና ከአካል ጉዳት የጸዳ መሆኑን ያረጋግጣል።
በከፍተኛ ንጽህና, ኬሚካል-ተከላካይ ቁሳቁሶች, ሴሚሴራ የተገነባዋፈር ካሴትበእያንዳንዱ የምርት ደረጃ ላይ የቫፈርን ታማኝነት ለመጠበቅ አስፈላጊ የሆነውን ከፍተኛ የንጽህና እና ዘላቂነት ዋስትና ይሰጣል። የእነዚህ ካሴቶች ትክክለኛነት ኢንጂነሪንግ ከአውቶሜትድ አያያዝ ስርዓቶች ጋር ያልተቆራረጠ ውህደት እንዲኖር ያስችላል, ይህም የብክለት እና የሜካኒካዊ ጉዳት አደጋን ይቀንሳል.
የዋፈር ካሴትልዩ የአካባቢ ሁኔታዎችን ለሚፈልጉ ሂደቶች በጣም አስፈላጊ የሆነውን ጥሩ የአየር ፍሰት እና የሙቀት ቁጥጥርን ይደግፋል። በንፁህ ክፍሎች ውስጥም ሆነ በሙቀት ማቀነባበሪያ ወቅት, ሴሚሴራዋፈር ካሴትየማምረቻ ቅልጥፍናን እና የምርት ጥራትን ለማሳደግ አስተማማኝ እና ተከታታይ አፈፃፀም በመስጠት የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት የተነደፈ ነው።
| እቃዎች | ማምረት | ምርምር | ዱሚ |
| ክሪስታል መለኪያዎች | |||
| ፖሊታይፕ | 4H | ||
| የገጽታ አቀማመጥ ስህተት | <11-20 >4±0.15° | ||
| የኤሌክትሪክ መለኪያዎች | |||
| ዶፓንት | n-አይነት ናይትሮጅን | ||
| የመቋቋም ችሎታ | 0.015-0.025ohm · ሴሜ | ||
| መካኒካል መለኪያዎች | |||
| ዲያሜትር | 150.0 ± 0.2 ሚሜ | ||
| ውፍረት | 350± 25 μm | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ አቅጣጫ | [1-100]±5° | ||
| የመጀመሪያ ደረጃ ጠፍጣፋ ርዝመት | 47.5 ± 1.5 ሚሜ | ||
| ሁለተኛ ደረጃ አፓርታማ | ምንም | ||
| ቲቲቪ | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 ማይክሮን(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤5 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) | ≤10 μm(5ሚሜ*5ሚሜ) |
| ቀስት | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ዋርፕ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| የፊት (Si-ፊት) ሸካራነት (ኤኤፍኤም) | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| መዋቅር | |||
| የማይክሮ ፓይፕ ጥግግት | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| የብረታ ብረት ቆሻሻዎች | ≤5E10አተም/ሴሜ 2 | NA | |
| ቢፒዲ | ≤1500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤3000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| TSD | ≤500 ኢአ/ሴሜ 2 | ≤1000 ኢአ/ሴሜ 2 | NA |
| የፊት ጥራት | |||
| ፊት ለፊት | Si | ||
| የገጽታ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ቅንጣቶች | ≤60ea/ዋፈር (መጠን≥0.3μm) | NA | |
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ ድምር ርዝመት ≤ዲያሜትር | ድምር ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA |
| የብርቱካናማ ልጣጭ/ጉድጓዶች/ቆሻሻዎች/ስትሪትስ/ ስንጥቆች/መበከል | ምንም | NA | |
| የጠርዝ ቺፕስ/ኢንደንትስ/ስብራት/ሄክስ ሳህኖች | ምንም | ||
| የፖሊታይፕ ቦታዎች | ምንም | ድምር አካባቢ≤20% | ድምር አካባቢ≤30% |
| የፊት ሌዘር ምልክት | ምንም | ||
| የኋላ ጥራት | |||
| የኋላ አጨራረስ | ሲ-ፊት ሲኤምፒ | ||
| ጭረቶች | ≤5ea/ሚሜ፣የተጠራቀመ ርዝመት≤2*ዲያሜትር | NA | |
| የኋላ ጉድለቶች (የጫፍ ቺፕስ/ኢንደንትስ) | ምንም | ||
| የኋላ ሻካራነት | ራ≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| የኋላ ሌዘር ምልክት ማድረግ | 1 ሚሜ (ከላይኛው ጫፍ) | ||
| ጠርዝ | |||
| ጠርዝ | ቻምፈር | ||
| ማሸግ | |||
| ማሸግ | Epi-ዝግጁ ከቫኩም እሽግ ጋር ባለብዙ-ዋፈር ካሴት ማሸጊያ | ||
| *ማስታወሻዎች፡- "NA" ማለት ምንም አይነት ጥያቄ የለም ማለት ያልተጠቀሱ ነገሮች ሴሚ-STDን ሊያመለክቱ ይችላሉ። | |||
